先進(jìn)濺射技術(shù)
                     HIPAC 

    用于先進(jìn)涂層的高離子化等離子技術(shù)

Metaplas 獨(dú)自開發(fā)的

高功率脈沖濺射技術(shù)

■ 高脈沖靶材功率介于0.5 - 2MW
■ 濺射材料離化率達(dá)到 90%!

HIPAC技術(shù)優(yōu)勢:

■ 非常高的等離子密度
■ 致密光滑的涂層
■ 高靶材利用率
■ 非常低的基體溫度
■復(fù)雜形狀基體上涂層厚度均勻
■ 高縱橫比的管內(nèi)或溝槽區(qū)域涂層
■ 可對涂層結(jié)構(gòu)組分及特性進(jìn)行設(shè)計(jì)

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