日前越匕,湖南大學(xué)突破我國半導(dǎo)體材料切割加工技術(shù)瓶頸,成功研發(fā)一臺XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床缩笤。這標(biāo)志著我國已成為全球少數(shù)幾個掌握高檔數(shù)控多線切割機(jī)床制造技術(shù)的國家之一煎敢,將有利打破打瑞士、日本等國外進(jìn)口同類設(shè)備長期壟斷國內(nèi)市場的局面殿恤。
該項(xiàng)目由湖南大學(xué)與湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司共同研發(fā)盲趟,填補(bǔ)了我國在制造此類設(shè)備方面的空白,其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士慎陵、日本同類產(chǎn)品眼虱,價格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30%―40%席纽。該項(xiàng)目具有多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán)捏悬,整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平撞蚕,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國際領(lǐng)先水平邮破。目前國內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購了此機(jī)床诈豌。
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動把磨料帶入加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料同時切割為多片薄片的新型切割加工方法抒和,數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割矫渔,成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士摧莽、日本等國能制造數(shù)控多線切割機(jī)床庙洼。
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