用PVD工藝涂覆的Al2O3涂層具有卓越的粘結性恕孙、穩(wěn)定的化學性能坠诈、在溫度高達1100℃時優(yōu)異的抗氧化能力、良好的抗月牙洼磨損能力和很高的韌性帘缤。這種新的涂層系統(tǒng)采用了混合涂層技術來實現涂層的沉積扯氯。該技術將陰極電弧蒸發(fā)與電子管磁控濺射結合在同一工藝過程中。電弧蒸發(fā)沉積的TiAlN涂層在涂層系統(tǒng)中起到粘結層的作用憋屑，并（或）為涂層系統(tǒng)提供所需的抗磨損能力烟内；Al2O3涂層則為系統(tǒng)提供高溫穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性。

工藝過程說明

    在一個典型的混合涂層系統(tǒng)中汽后，安裝了幾個電弧和磁控電子管濺射陰極蛀埂。在進行沉積之前，將工件加熱到工作溫度解瀑，系統(tǒng)壓力降至基壓盾轮。工件經過氬氣等離子清洗或金屬離子浸蝕處理后，進行等離子電弧沉積涂層蛛蒙，并在該涂層之上用PVD法通過置于氬－氧混合氣體中的金屬靶濺射沉積Al2O3涂層糙箍。此外，Al2O3涂層也可以無需基層而作為單獨涂層應用于一些特殊加工場合牵祟。Al2O3涂層是采用Hauzer公司的T模式沉積技術進行沉積的深夯。T模式技術的特色在于獨特的濺射陰極設計與最優(yōu)化的氣體分配系統(tǒng)相結合。環(huán)繞在基體周圍诺苹、由電磁線圈產生的封閉磁場提供了等離子體的高電離化——這是獲得要求的涂層性能所必需的咕晋。這項新技術的優(yōu)勢在于工藝易于控制，沉積過程具有很高的穩(wěn)定性和再現性收奔。此外掌呜，其沉積速度（≥0.5微米/小時）完全可以滿足工業(yè)化經濟生產的工藝周期要求滓玖。

涂層的應用

    Al2O3涂層廣泛應用于硬質合金刀片，它的優(yōu)勢（如優(yōu)異的抗月牙洼磨損和抗熱裂性能）已廣為人知质蕉。通常采用CVD工藝在硬質合金刀片上沉積Al2O3涂層势篡。由于CVD工藝較高的沉積溫度會使硬質合金中的碳化物變脆，導致刀片在金屬切削加工（主要是銑削加工）中的應用受到限制模暗。在對切削刃的韌性要求較高的加工應用中禁悠，這種新的PVD Al2O3涂層工藝能以其較低的沉積溫度為用戶提供新的加工可能性。尤其在銑削不銹鋼或難加工材料時沽票，與傳統(tǒng)的PVD涂層相比撤筐，新的Al2O3涂層系統(tǒng)的性能可提高2倍。

加工現場測試結果

    最早的切削試驗結果發(fā)表在Hauzer For You 10雜志上憋考，當時Performa AlOx-H在EMO 2005展覽會上首次亮相知祠。接著與其他主要工具制造商一起合作完成了更多的測試工作。下面介紹用Al2O3涂層刀具加工X5CrNi1810和42CrMo4V工件材料的試驗結果及涂層照片肝羊。

    試驗1：工件材料：X5CrNi1810；刀具：硬質合金涂層刀片伪浅；切削參數：vc=251.32m/min子特，f=0.15mm，ap=2.5 mm惕衩，ae=24mm挨伯；切削長度：600mm。

    由PVD涂層刀片Performa Alox-H與傳統(tǒng)涂層刀片的壽命對比可見协超，PVD涂層刀片Performa Alox-H的壽命提高了2倍履绎。

    試驗2：工件材料：42CrMo4V（DIN 1.7225）；刀具：硬質合金涂層刀片雕什；切削參數：vc=200m/min缠俺，f=0.25mm，ap=2.5mm贷岸，ae=20mm壹士。

    由PVD涂層刀片Performa Alox-H與傳統(tǒng)涂層刀片銑削42CrMo4V工件時刀片后刀面平均磨損量的對比情況可知，當銑削長度為4000mm時偿警，PVD涂層刀片Performa Alox-H的后刀面磨損比傳統(tǒng)涂層刀片顯著降低躏救。 
 
 

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