微細(xì)形狀加工刀具
加工光盤拾波鏡片模具的UPC刀具
用UPC刀具對模具進(jìn)行超精密切削加工正朝著高精度和更加微的加工方向發(fā)展鳄砸。從CD到CD-ROM、MD、DVD荞驴,不斷發(fā)展的光盤種類所需要的拾波鏡片模具也不斷精密化,因此贯城,加工此類模具的UPC刀具也在不斷改進(jìn)熊楼。
隨著拾波用非球面鏡片塑料化和高精度化的進(jìn)展,要求加工模具(非電解鍍鎳材料)的刀具切削刃的輪廓精度(不圓度)必須具有非常高的精度∧芊福現(xiàn)在已開始出一種UPC-R刀具鲫骗,其圓弧切削刃的輪廓精度為50nm(0.05μm,工作范圍90°)踩晶。這種車刀是為超精密切削加工開發(fā)的專用刀具挎峦,配用于CNC多軸超精密車床香追。
隨著光盤制品不斷向小形化發(fā)展,鏡片也日趨小型化危葵,曲率也日益減小带漆。UPC刀具的刀尖圓弧半徑也由R1.0mm減小至R0.1mm,為獲得鋒利的切削刃蠢缚,刀尖角也降至40°以下狐绽。
刀尖圓弧半徑為R5μm的UPC-R車刀
隨著DVD的問世,為了生產(chǎn)DVD和CD可共用的零件锐校,光學(xué)系統(tǒng)更加復(fù)雜躺冕,鏡片也更加微小,包含鏡片在內(nèi)的光學(xué)元件數(shù)量隨之減少矮按。為了將復(fù)雜的光學(xué)元件功能集中在1個光學(xué)元件上畔怎,便產(chǎn)生了利用衍射效應(yīng)的全息元件。
DVD和CD(含CD-ROM)盤面信號的位置各不相同膨泄,因此者妆,用來讀出信號的激光的焦點聚焦位置也不同,通過鏡片將不同位置的兩個焦點聚集在一起段丸。具有此種功能的鏡片叫做雙焦點全息鏡片喘疹,其中,在非球面鏡片位置聚焦一個焦點饰及,通過該非球面鏡片上刻制的衍射柵所生成的衍射光蔗坯,聚焦另一個焦點。加工這種鏡片模具的刀具必須具有高精度圓弧切削刃燎含,以便在使用該模具加工非球面鏡片時宾濒,能夠保持極高的輪廓精度。加工微細(xì)全息衍射柵時屏箍,要求刀具必須具有非常鋒利的切削刃《κ蓿現(xiàn)在已開發(fā)出能夠滿足此種要求的UPC-R刀具,其刀尖圓弧半徑為R5μm铣除。當(dāng)UPC-R刀具刀尖圓弧半徑較大谚咬,在加工微米級衍射柵時,衍射柵溝槽部位呈現(xiàn)出圓弧形尚粘,其光學(xué)性能將大為減弱择卦;當(dāng)?shù)都鈭A弧半徑減小至5μm時,加工出的衍射柵溝槽便非常精密郎嫁,其光學(xué)性能大為提高秉继。另外,R5μm的圓弧切削刃輪廓精度達(dá)到50nm源相,這種高精度切削刃通過超高精度機(jī)床折司,可加工出精度極高的非球面形狀横罪,其光學(xué)性能完全能夠達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)所要求的水平。如要進(jìn)一步提高雙焦鏡片的光學(xué)性能耿把,則應(yīng)開發(fā)出刀尖圓弧更小(如R1μm)的刀具蚂悯。
加工5μm溝槽的UPC-T車刀
DVD這類產(chǎn)品不僅要求雙焦點,而且要求圖象舍仙、信息高密度化和高精度化蒜薇,正向著小型化、多功能化發(fā)展云钻,因此脯堂,其光學(xué)系統(tǒng)也更加復(fù)雜。此種將復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)集成化的元件稱為HOE(Holographic Optical Element)聋寻。
在HOE上刻制有許多微米級間隔的細(xì)槽颤与,利用光衍射現(xiàn)象,將10余個鏡片等光學(xué)元件的功能集成在一個HOE上坠狡。變更間距和深度继找,便可自由進(jìn)行光的分度、偏轉(zhuǎn)和形狀的變換擦秽。
這些光學(xué)元件的加工,過去大都用半導(dǎo)體加工時所采用的光刻蝕技術(shù)漩勤,但光刻技術(shù)所加工出的溝槽底部為圓形感挥,深槽則要分?jǐn)?shù)次刻蝕,因此越败,常常出現(xiàn)刻蝕不均勻情況触幼,這將降低光的利用率。為解決這一難題究飞,現(xiàn)已開發(fā)出一種UPC-T車刀置谦,這種刀具可進(jìn)行微米級超細(xì)溝槽的精密切削加工。
刃尖寬度為5μm的UPC-T車刀亿傅,其矩形部位的切深可達(dá)10μm媒峡。用這種刀具可加工間距為5μm的平行槽。加工時刀具固定葵擎,規(guī)定切深谅阿,工件沿單一方向作直線運(yùn)動即可完成加工。加工條件為:被加工材料:非電解鍍鎳模具某蛆;機(jī)床:超精密CNC車床碴秽;刀具:長度8~35L,刃寬5μm诸跳;工藝參數(shù):進(jìn)給速度:1m/min承叫,切削深度:1μm蔫沐,切削液:電加工用潤滑油(霧狀冷卻)。在這樣的條件下织鳖,采用UPC刀具加工矩形槽激点,可獲得刻蝕加工無法達(dá)到的矩形槽精度。另外愤凭,利用UPC刀具加工的模具所生產(chǎn)的塑料光學(xué)元件窥窜,具有優(yōu)異的光學(xué)性能。
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