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工模具PVD涂層介紹

  1、真空涂層技術的發(fā)展

  真空涂層技術起步時間不長,國際上在上世紀六十年代才出現(xiàn)將CVD(化學氣相沉積)技術應用于硬質合金刀具上。由于該技術需在高溫下進行(工藝溫度高于1000℃)浓冒,涂層種類單一,局限性很大尖坤,因此稳懒,其發(fā)展初期未免差強人意。

  到了上世紀七十年代末慢味,開始出現(xiàn)PVD(物理氣相沉積)技術场梆,為真空涂層開創(chuàng)了一個充滿燦爛前景的新天地,之后在短短的二纯路、三十年間PVD涂層技術得到迅猛發(fā)展或油,究其原因,是因為其在真空密封的腔體內成膜驰唬,幾乎無任何環(huán)境污染問題顶岸,有利于環(huán)保;因為其能得到光亮叫编、華貴的表面拿酱,在顏色上,成熟的有七彩色那赘、銀色企恢、透明色、金黃色朦我、黑色弓聋、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色,可謂五彩繽紛涯翠,能夠滿足裝飾性的各種需要呼泪;又由于PVD技術妓付,可以輕松得到其他方法難以獲得的高硬度憔吉、高耐磨性的陶瓷涂層宗窗、復合涂層,應用在工裝肿讽、模具上面蛮埋,可以使壽命成倍提高,較好地實現(xiàn)了低成本找田、高收益的效果歌憨;此外,PVD涂層技術具有低溫墩衙、高能兩個特點务嫡,幾乎可以在任何基材上成膜,因此漆改,應用范圍十分廣闊心铃,其發(fā)展神速也就不足為奇。真空涂層技術發(fā)展到了今天還出現(xiàn)了PCVD(物理化學氣相沉積)挫剑、MT-CVD(中溫化學氣相沉積)等新技術去扣,各種涂層設備、各種涂層工藝層出不窮樊破,如今在這一領域中愉棱,已呈現(xiàn)出百花齊放,百家爭鳴的喜人景象哲戚。

  與此同時奔滑,我們還應該清醒地看到,真空涂層技術的發(fā)展又是嚴重不平衡的顺少。由于刀具舀美、模具的工作環(huán)境極其惡劣,對薄膜附著力的要求垃燃,遠高于裝飾涂層玉桅。因而,盡管裝飾涂層的廠家已遍布各地介然,但能夠生產工模涂層的廠家并不多掷锻。再加上刀具、模具涂層售后服務的欠缺盗晨,到目前為止蔑来,國內大多數(shù)涂層設備廠家都不能提供完整的刀具涂層工藝技術(包括前處理工藝、涂層工藝献鬼、涂后處理工藝澈虱、檢測技術帖豫、涂層刀具和模具的應用技術等),而且表牲,它還要求工藝技術人員镜伪,除了精通涂層的專業(yè)知識以外,還應具有扎實的金屬材料與熱處理知識想幻、工模涂層前表面預處理知識粱栖、刀具、模具涂層的合理選擇以及上機使用的技術要求等脏毯,如果任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題闹究,都會給使用者產生使用效果不理想這樣的結論。所有這些食店,都嚴重制約了該技術在刀具渣淤、模具上的應用。

  另一方面吉嫩,由于該技術是一門介乎材料學价认、物理學、電子率挣、化學等學科的新興邊緣學科刻伊,而國內將其應用于刀具、模具生產領域內的為數(shù)不多的幾個骨干廠家椒功,大多走的也是一條從國外引進先進設備和工藝技術的路子捶箱,尚需一個消化、吸收的過程硫舞,因此相脱,國內目前在該領域內的技術力量與其發(fā)展很不相稱,急需奮起直追铅惋。

  2. PVD涂層的基本概念及其特點

  PVD是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式绅拢,意思是物理氣相沉積。我們現(xiàn)在一般地把真空蒸鍍泪滥、濺射鍍膜濒聪、離子鍍等都稱為物理氣相沉積。

  較為成熟的PVD方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式园凫。多弧鍍設備結構簡單砍没,容易操作。它的離子蒸發(fā)源靠電焊機電源供電即可工作十碗,其引弧的過程也與電焊類似鸥司,具體地說,在一定工藝氣壓下汉惫,引弧針與蒸發(fā)離子源短暫接觸培愁,斷開著摔,使氣體放電。由于多弧鍍的成因主要是借助于不斷移動的弧斑定续,在蒸發(fā)源表面上連續(xù)形成熔池谍咆,使金屬蒸發(fā)后,沉積在基體上而得到薄膜層的香罐,與磁控濺射相比卧波,它不但有靶材利用率高时肿,更具有金屬離子離化率高庇茫,薄膜與基體之間結合力強的優(yōu)點。此外螃成,多弧鍍涂層顏色較為穩(wěn)定旦签,尤其是在做TiN涂層時,每一批次均容易得到相同穩(wěn)定的金黃色寸宏,令磁控濺射法望塵莫及宁炫。多弧鍍的不足之處是,在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下氮凝,當涂層厚度達到0.3μm時羔巢,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難黎蠢。而且霹早,薄膜表面開始變朦。多弧鍍另一個不足之處是岔歼,由于金屬是熔后蒸發(fā)秋贤,因此沉積顆粒較大,致密度低帘既,耐磨性比磁控濺射法成膜差爬喝。

  可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優(yōu)劣顷敞,為了盡可能地發(fā)揮它們各自的優(yōu)越性程鸵,實現(xiàn)互補,將多弧技術與磁控技術合而為一的涂層機應運而生蒜吱。在工藝上出現(xiàn)了多弧鍍打底频僵,然后利用磁控濺射法增厚涂層,最后再利用多弧鍍達到最終穩(wěn)定的表面涂層顏色的新方法管书。

  大約在八十年代中后期享甸,出現(xiàn)了熱陰極電子槍蒸發(fā)離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜機梳侨,應用效果很好蛉威,使TiN涂層刀具很快得到普及性應用日丹。其中熱陰極電子槍蒸發(fā)離子鍍,利用銅坩堝加熱融化被鍍金屬材料蚯嫌,利用鉭燈絲給工件加熱哲虾、除氣,利用電子槍增強離化率择示,不但可以得到厚度3~5μm的TiN涂層束凑,而且其結合力、耐磨性均有不俗表現(xiàn)栅盲,甚至用打磨的方法都難以除去汪诉。但是這些設備都只適合于TiN涂層,或純金屬薄膜谈秫。對于多元涂層或復合涂層扒寄,則力不從心,難以適應高硬度材料高速切削以及模具應用多樣性的要求私免。

  目前木冈,一些發(fā)達國家(如德國CemeCon、英國ART-TEER檀抡、瑞士Platit)在傳統(tǒng)的磁控濺射原理基礎上演易,用非平衡磁場代替原先的平衡磁場、50KHz的中頻電源代替原來的直流電源园溃、脈沖電源取代以往的直流偏壓坝偶,采用輔助陽極技術等,使磁控濺射技術逐步成熟涨旨,已大批量應用在工模涂層上慰沸,現(xiàn)在已穩(wěn)定生產的涂層主要有TiAlN、AlTiN槽叮、TiB2磷像、DLC、CrN津贩,我國廣東邦匆、江蘇、貴州尝江、株洲等地也已陸續(xù)引進此種設備涉波,大有星火燎原之勢。

  3.現(xiàn)代涂層設備(均勻加熱技術炭序、溫度測量技術啤覆、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極技術惭聂、中頻電源窗声、脈沖技術)現(xiàn)代涂層設備主要由真空室相恃、真空獲得部分、真空測量部分笨觅、電源供給部分拦耐、工藝氣體輸入系統(tǒng)、機械傳動部分见剩、加熱及測溫部件杀糯、離子蒸發(fā)或濺射源、水冷系統(tǒng)等部分組成苍苞。

  3.1真空室

  涂層設備主要有連續(xù)涂層生產線及單室涂層機兩種形式固翰,由于工模涂層對加熱及機械傳動部分有較高要求,而且工模形狀茸汇、尺寸千差萬別品糯,連續(xù)涂層生產線通常難以滿足要求荒鳖,須采用單室涂層機居饵。

  3.2真空獲得部分

  在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分末昂。由于工模件涂層高附著力的要求减严,其涂層工藝開始前背景真空度最好高于6mPa,涂層工藝結束后真空度甚至可達0.06mPa以上二蚓,因此合理選擇真空獲得設備肮碗,實現(xiàn)高真空度至關重要。

  就目前來說停就,還沒有一種泵能從大氣壓一直工作到接近超高真空始踪。因此,真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的颈癌,必須將幾種泵聯(lián)合使用洁糟,如機械泵、分子泵系統(tǒng)等猖败。

  3.3真空測量部分

  真空系統(tǒng)的真空測量部分速缆,就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣恩闻,沒有一種真空計能測量整個真空范圍艺糜,人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計。#p#分頁標題#e#

  3.4電源供給部分

  靶電源主要有直流電源(如MDX)幢尚、中頻電源(如美國AE公司生產的PE破停、PEII、PINACAL)尉剩;工件本身通常需加直流電源(如MDX)真慢、脈沖電源(如美國AE公司生產的PINACAL+)犁嗅、或射頻電源(RF)。

  3.5工藝氣體輸入系統(tǒng)

  工藝氣體晤碘,如氬氣(Ar)褂微、氪氣(Kr)、氮氣(N2)园爷、乙炔(C2H2)宠蚂、甲烷(CH4)、氫氣(H2)卷芜、氧氣(O2)等夷朽,一般均由氣瓶供應,經(jīng)氣體減壓閥元粹、氣體截止閥熄朴、管路、氣體流量計勺激、電磁閥雾鸠、壓電閥,然后通入真空室捎滴。這種氣體輸入系統(tǒng)的優(yōu)點是纪娄,管路簡捷、明快悉契,維修或更換氣瓶容易启毁。各涂層機之間互不影響。也有多臺涂層機共用一組氣瓶的情況憔辞,這種情況在一些規(guī)模較大的涂層車間可能有機會看到页衙。它的好處是,減少氣瓶占用量阴绢,統(tǒng)一規(guī)劃店乐、統(tǒng)一布局。缺點是旱函,由于接頭增多响巢,使漏氣機會增加。而且棒妨,各涂層機之間會互相干擾踪古,一臺涂層機的管路漏氣,有可能會影響到其他涂層機的產品質量券腔。此外伏穆,更換氣瓶時,必須保證所有主機都處于非用氣狀態(tài)。

  3.6機械傳動部分刀具涂層要求周邊必須厚度均勻一致枕扫,因此陪腌,在涂層過程中須有三個轉動量才能滿足要求。即在要求大工件臺轉動(I)的同時燥颠,小的工件承載臺也轉動(II),并且工件本身還能同時自轉(III)叼稍。

  在機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪睛赁,周圍是一些小的星行輪與之嚙合闻荠,再用撥叉撥動工件自轉。當然徙祥,在做模具涂層時藻拟,一般有兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須大大增強廉贤。

  3.7加熱及測溫部分

  做工模涂層的時候卑聚,如何保證被鍍工件均勻加熱比裝飾涂層加熱要重要得多。工模涂層設備一般均有前后兩個加熱器卧蒂,用熱電偶測控溫度纽秽。但是,由于熱電偶裝夾的為置不同更假,因而监灌,溫度讀數(shù)不可能是工件的真實溫度。要想測得工件的真實溫度击胜,有很多方法,這里介紹一種簡便易行的表面溫度計法(Surface Thermomeer)役纹。該溫度計的工作原理是偶摔,當溫度計受熱,底部的彈簧將受熱膨脹促脉,使指針推動定位指針旋轉辰斋,直到最高溫度。降溫的時候瘸味,彈簧收縮宫仗,指針反向旋轉,但定位指針維持在最高溫度位置不動旁仿,開門后藕夫,讀取定位指針指示的溫度,即為真空室內加熱時枯冈,表面溫度計放置位置所曾達到的最高溫度值毅贮。

  3.8離子蒸發(fā)及濺射源

  多弧鍍的蒸發(fā)源一般為圓餅形,俗稱圓餅靶,近幾年也出現(xiàn)了長方形的多弧靶炊捻,但未見有明顯效果鸦呆。圓餅靶裝在銅靶座(陰極座)上面,兩者為羅紋連接眨捶。靶座中裝有磁鐵畔香,通過前后移動磁鐵,改變磁場強度履字,可調整弧斑移動速度及軌跡毫蚁。為了降低靶及靶座的溫度,要給靶座不斷通入冷卻水雳址。為了保證靶與靶座之間的高導電析深、導熱性,還可以在靶與靶座之間加錫(Sn)墊片敌痘。

  3.9水冷系統(tǒng)

  因為工模涂層時咨锐,為了提高金屬原子的離化率,各個陰極靶座都盡可能地采用大的功率輸出钢婆,需要充分冷卻系馁;而且,工模涂層中的許多種涂層窟扑,加熱溫度為400~500℃喇颁,因此,對真空室壁嚎货、對各個密封面的冷卻也很重要橘霎,所以冷卻水最好采用18~20℃左右的冷水機供水。

  為了防止開門后殖属,低溫的真空室壁姐叁、陰極靶與熱的空氣接觸析出水珠,在開門前10分鐘左右洗显,水冷系統(tǒng)應有能力切換到供熱水狀態(tài)外潜,熱水溫度約為40~45℃。

  4.工模具PVD的工作步驟

  工模具PVD基本工藝流程可簡述為:IQC→前處理→PVD→FQC挠唆,分別介紹如后处窥。

  4.1 IQC

  IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規(guī)的清點數(shù)量,檢查圖紙與實物是否相符外玄组,還須仔細檢查工件表面滔驾,特別是刃口部位有無裂紋等缺陷。有時對于一些刀具功跑、刀粒的刃口乞哀,在體式顯微鏡下觀察谤变,更方便發(fā)現(xiàn)問題;另外趣情,IQC的人員還要注意檢查待鍍膜件有無塑膠适系、低熔點的焊料等,這些東西如果因漏檢而混入鍍膜程序纺辟,則將在真空室內嚴重放氣高骑,輕者造成整批產品脫涂層,重者使原本OK的產品報廢脾仁,后果不堪設想辈殃。

  4.2前處理工藝(蒸汽 槍、噴砂秕栓、拋光债案、清洗)

  前處理的目的是凈化或粗化工件表面。凈化就是要去除各種表面玷污物邢入,制備潔凈表面截型。通常使用各種凈化劑,借助機械儒溉、物理或化學的方法進行凈化宦焦。

  粗化與光蝕相反,其目的在于制備粗糙的表面以提高噴涂層或涂料裝飾的結構強度顿涣。

  我們現(xiàn)在已有的前處理主要方法為:高溫蒸洗波闹、清洗、噴砂涛碑、打磨精堕、拋光等方法。

  4.2.1高溫蒸洗

  目前锌唾,PVD車間常用的高溫蒸洗設備是蒸汽 槍锄码。它的最大工作溫度可達145℃,氣壓在3~5巴左右晌涕。由于模具中經(jīng)常帶有一些細小孔、螺紋孔痛悯,孔內中常常有油污余黎、殘余冷卻液等雜質,用常規(guī)清洗的方法難以除去凄在。此時才擒,高溫蒸洗設備便可最大程度的發(fā)揮它的優(yōu)越性。

  4.2.2清洗

  各廠工模涂層前清洗程序大致如下:

 ∥枧场①超聲波除蠟→②過水→③超聲波除油→④過水→⑤超聲波自換→⑥過水→⑦過純水→⑧強風干燥

  具體實施時善瞧,與我們所熟悉的裝飾涂層前的清洗又有許多不同。這是因為裝飾涂層的底材大多為不銹鋼或鈦合金,不容易生銹蓬肢。此外企著,裝飾涂層對水印、點痣等缺陷是絕對不允許的魂中。因此冒溜,裝飾涂層對純水的水質要求極高,甚至要達到15MΩ以上香题。要保證清洗的高質量饶辆,可以通過反復清洗,并在高質量的純水加超聲波中長時間浸泡來得到雌隅。但是翻默,工模的清洗就不同,尤其是一些熱做模具鋼恰起,如果像裝飾涂層那樣去清洗修械,就會銹得一塌糊涂。

  由于工模涂層的原始表面狀態(tài)村缸,除了一些高標準的鏡面模具以外祠肥,一般較裝飾涂層要粗糙,因而梯皿,對涂層后的表面狀態(tài)的要求也不象裝飾涂層那樣高仇箱,這就允許我們采取快速過水,用干燥东羹、無油的壓縮空氣吹干剂桥,然后對工模強風干燥的方法來處理。而那些高標準的鏡面模具属提,一般均為136等不銹鋼权逗,可以借用裝飾涂層的清洗法。

  總而言之冤议,工模涂層前的清洗方法因工模所使用的材料的不同而不同僵馒,因工模涂層前的表面狀態(tài)的不同而不同,且不可千篇一律粪畔。下面是幾種材料生銹由難到易的排序绸秸,供參考:

  不銹鋼、硬質合金支际、金屬陶瓷合金匠似、DC53、高速鋼蟹嫁、8407有一種自動清洗機型號為CR288暗沉,產自德國英谢。該機一次最大清洗量為80KG,主要用于清洗刀具里淡、小型零部件刃伞、或小尺寸的模具。它共有三個清洗缸榔汤,里面的溶液分別為自來水+清洗劑栽斑、自來水、去離子水残炮。除了常見的超聲波韭赘、大水沖洗、噴淋势就、擺動泉瞻、熱風干燥等功能外,該機另外一個優(yōu)點是最后設有抽真空步驟苞冯,可以使水分盡快揮發(fā)掉袖牙。#p#分頁標題#e#

  自動清洗機內存十種工藝,均由供方預先設定舅锄。一至九可分別用于不同類型的產品鞭达、不同的表面狀態(tài)的凈化處理。第十種用于加注清洗劑皇忿。

  4.2.3噴砂

  噴砂法是借助壓縮空氣使磨料強力沖刷工件表面畴蹭,從而去除銹蝕、積碳鳍烁、焊渣叨襟、氧化皮、殘鹽羞条、舊漆層等表面缺陷慌缨。按磨料使用條件,噴砂分為干噴砂與濕噴砂兩類资妇。

  噴砂的工藝參數(shù)主要有槍距娱背、傾角、裝夾臺旋轉速度水矢、移動速度创靴、行程、往返次數(shù)烈拉、噴砂時間、噴砂氣壓辣候。我們已使用過的參數(shù)有槍距:30~70mm;傾角30~70°;裝夾臺旋轉速度10~30牛拭;往返次數(shù)3~9次嘹谎;噴砂氣壓:1.8~3.5巴等。具體操作時割扬,根據(jù)工件表面臟污程度囤恶,工件硬度,工件表面幾何形狀等因素窘游,選取上下限唠椭。我們在干噴砂機中所選用的磨料為玻璃珠,適合噴一些硬度介中的材料忍饰,如油鋼贪嫂、模具等;在液體噴砂機中所選用的磨料為氧化鋁艾蓝,硬度較高力崇,適合噴一些硬度高的材料,如硬質合金材料赢织。對于工模涂層而言亮靴,噴砂所使用的磨料粒度也很重要。如果磨料粒度過大于置,則工件表面太粗糙茧吊;如果磨料粒度太小,又會降低打擊力度八毯,甚至嵌在工件表面搓侄,清洗難以去除,從而使工件涂層附著力降低舶酒。為此装魁,歐洲一些國家,對工模涂層前噴砂所用磨料粒度做過仔細研究缰橘,嚴格到必須保證85%以上的晶粒度在中A逐程、B兩點范圍內才能使用。相比之下赞拼,我國磨料的供應商還缺乏這方面的共識飒自,我們也很少有做這方面的檢驗。

  4.3 PVD涂層工藝(加熱璃锻、離子清洗秘驻、涂層、冷卻玫葡、工藝氣體戳明、氣壓、溫度碴穴、濺射功率)

  4.4 FQC

  FQC的英文全拼為:“Function Quality Control”赋焕,意思是功能質量控制参歹,它有別與一般意義上的OQC(Out Quality Control)。FQC的內容主要包括外觀檢查隆判、層深檢查犬庇、附著力檢查、耐磨性檢查侨嘀、抗蝕性檢查臭挽、模擬性測試等方法。我廠目前應用的主要有外觀檢查咬腕、層深檢查和附著力檢查欢峰。

  由于我們所接觸的產品大多都是不允許做破壞性檢查的,因而我們在鍍膜時郎汪,每批都會放進隨批試樣赤赊。做層深檢查和附著力檢查的時候,大多數(shù)情況下煞赢,實際上是對隨批試樣進行檢查抛计。因為試樣與產品在原材料、熱處理狀態(tài)照筑、裝夾位置等方面都難于一致嫡澄,所以這樣檢測出的結果,與產品實際值會有一定的誤差诽矩。有時可能還會有相當大的誤差改擂,只能做參考使用。當然租触,必要的時候胶棕,我們也可以通過制作模擬件,達到準確測量的目的蔽宜。

  4.4.1外觀檢查

  對于開門取件后的產品水亮,應仔細檢查表面有無裂紋、掉涂層苫颤、疏松等缺陷枢菇。對于刀具、刀粒俯坐,還需在顯微鏡下仔細檢查它們的刃口狀態(tài)噩拼。

  4.4.2層深檢查

  層深檢查有切片金相觀察法、X-ray檢查法寺晌、用單色光做光源的光學測試法世吨、球磨儀測試法等多種方法。工模涂層的層深檢查是在球磨儀上進行的。方法是先用直徑為10mm的鋼球與測試表面滾磨另假,然后在顯微鏡下測量磨痕的有關數(shù)據(jù)像屋,帶入公式中,即可方便算出層深边篮。

  這種層深檢查法的特點是:方便適用,誤差稍大奏甫。但這種誤差應用于工模上面影響不會太大戈轿。有興趣的同事還可參閱有關的說明書。

  附著力的檢查方法有很多阵子,各個廠根據(jù)自己產品的特點思杯,都制定了相應的檢測方法。其中挠进,比較權威的方法有兩種色乾,一種是在洛氏硬度計上,以圓錐型金剛石壓頭做壓痕試驗皇驼,在顯微鏡下觀察圾框,以壓痕周邊裂紋的多少來判斷涂層附著力的高低。該方法對金剛石壓頭的形狀要求很高畦怒,不但嚴格要求中心點在圓的中心残团,而且金剛石圓錐的圓度必須十分規(guī)則。遺憾的是桶邑,目前画眯,我國還沒有它的國家或行業(yè)標準;另一種方法是劃痕法务囤,我國有些涂層發(fā)起較早的科研部門灌当,也是采用的該方法,有專門的國家行業(yè)標準可供查詢幅挂。

  5.工裝夾具的處理

  6.涂后處理工藝(噴砂京球、涂脂技術)

  7.檢測技術(結合力的檢測、層深的檢測现蹂、酸蝕)

  8.涂層剝離技術(TiN/TiAlN的剝離技術筏拢、CrN/DLC/CrAlTiN的剝離技術、硬質合金的表面涂層剝離技術)

  9.涂層刀具的應用技術(涂層的正確選擇凑懂、涂層刀具的正確使用)

  涂層對刀具的優(yōu)化非常大煤痕,由于高速切削加工比傳統(tǒng)切削加工所產生的溫度要高,應用涂層接谨,可以發(fā)揮其耐高溫摆碉、抗氧化及加硬材質等作用。例如,氮化鉻(CrN)涂層可降低磨擦系數(shù)巷帝,改善光潔度及排屑情況忌卤。


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