激光技術自誕生以來菇存，受到了廣泛的關注，并逐步拓展了其應用領域狰域。激光技術給制造業(yè)帶來了根本性變化：在航天工業(yè)中媳拴，鋁合金用激光焊接的成功應用是飛機制造業(yè)的一次技術大革命。在汽車工業(yè)中兆览，激光加工技術優(yōu)化了汽車結構禀挫，提高了汽車性能，降低了耗油量拓颓。激光精加工和微加工不但促進了微電子工業(yè)的發(fā)展语婴，也為半導體制造行業(yè)提供了有利條件。激光加工技術屬于非接觸性加工方式驶睦，所以不產生機械擠壓或機械應力砰左，特別符合半導體行業(yè)的加工要求。由于激光加工技術的高效率场航、無污染缠导、高精度、熱影響區(qū)小呼笨，因此在半導體工業(yè)中得到廣泛應用恋晃。 

　　激光加工技術在劃片和割圓方面的應用
　　激光加工技術在劃片方面有著廣泛應用。目前行業(yè)內最多的激光劃片技術都是由激光直接作用于晶圓切割道的表面肪吁，激光的能量使得被作用表面的物質脫離陷立，從而達到去除和切割的目的。近期日本推出的全新概念的激光劃片機摒棄了傳統(tǒng)的表面直接作用的做法获踏，而采取作用于硅基底內的硅晶體柱炼，破壞其單晶結構的技術，在硅基底內產生易分離的變形層行贤，然后通過后續(xù)的崩片工藝使芯片間相互分離痒脊。從而達到了無應力、無崩邊播瓦、無熱損傷驮觅、無污染祝鞍、無水化的切割效果。

　　隨著科技的不斷發(fā)展闯捎，激光加工技術還被一些廠家應用到晶片割圓工序搅窿，加上成熟的軟件控制，可以在一個晶片上加工出很多小直徑晶片隙券。較傳統(tǒng)的割圓加工方法而言男应，這樣操作對晶片造成的損傷較小，出片量相對較多娱仔。

　　即將在2011年3月15-17日于上海新國際博覽中心召開的慕尼黑上海激光沐飘、光電展上，E3牲迫、E4館的激光加工設備展區(qū)將呈現(xiàn)具有一定規(guī)模的激光加工產業(yè)群耐朴，行業(yè)內各大高端產品如通快TruMicro，TruPulse盹憎，羅芬Micro-精密加工事業(yè)群筛峭，華工半導體晶圓激光劃片機，德龍激光皮秒激光精細微加工設備陪每，蘇州天弘晶圓激光劃片機和紅外激光劃片機等都將引領行業(yè)內前沿技術影晓。

　　激光打標技術在晶片加工中的應用
　　激光打標是一種非接觸、無污染檩禾、無磨損的新標記工藝捉瘟。在晶片加工過程中，為了有效增強晶片的可追溯性蔑誓，也為生產管理提供一定的方便铲锭，可以在晶片的特定位置制作激光標識碼，這種技術已經(jīng)成為一種潛在的行業(yè)標準誉梳，被廣泛地應用于硅材料欲华、鍺材料。

　　激光打標領軍企業(yè)通快TruMark骇俏，羅芬Marking-打標技術事業(yè)群天殉，華工光纖激光打標機，沈陽新松機器人光纖激光打標機用牲，德龍激光紫外激光精細微加工設備塌纯，蘇州天弘紫外激光打標機等將引領國內激光微加工產品的前進希望蝴趾。

　　激光測試技術
　　激光測試技術主要有激光三角測量術和顆粒測試勋酿。在激光三角檢測術中，用一精細聚焦的激光束來掃描圓片表面愿味，光學系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測器博个。在檢測微凸點的形貌時怀樟，3D激光三角檢測術在精度、速度和可檢測性等方面具有明顯的優(yōu)勢盆佣。在顆粒測試中往堡，顆料控制是加工晶片過程和制造器件過程中重要環(huán)節(jié)，而顆粒的監(jiān)測也就顯得十分重要共耍。顆粒測試設備的工作原理有兩種虑灰，一種為光散射法；另一種為消光法痹兜。

　　3月份慕尼黑上海激光穆咐、光電展特別開辟了“測量測試技術”專區(qū)，領軍企業(yè)PI字旭、海洋光學对湃、必達泰克、愛萬提斯等皆將在明春3月在慕尼黑上海激光遗淳、光電展爭相競技拍柒，一展各家之所長。

　　激光的獨特優(yōu)勢決定了其在半導體技術中的廣泛應用止既。過去10年來中國半導體產業(yè)跌宕起伏柔朽，激光技術的運用為半導體制造行業(yè)注入了新的活力，對其回暖和復蘇起著功不可沒的作用核瘤。隨著集成電路技術的快速發(fā)展．激光的應用范圍還會進一步拓展和延伸墅失。

　　關于慕尼黑上海激光、光電展
　　作為中國領先的激光揭轰、光學筑渴、光電展，慕尼黑上海激光少炎、光電展(LASER World of PHOTONICS CHINA)自2006年起每年在中國上海舉辦磕阱，展會匯聚行業(yè)領袖與技術精英，全方位展示業(yè)內各種設計新穎峡审、科技領先的創(chuàng)新產品情澈、全新有效的解決方案和緊跟潮流的應用技術，短短五年已迅速成長為中國激光和光電領域的頂級展會拨聚。2011年盛會將有近350家來自激光生產工程瘤琐、激光器及光導發(fā)光原件、光學和光學生產技術丑瞧、光信息與通信技術柑土、機器視覺、測試測量等激光、光學等領域的國內外知名企業(yè)參展稽屏，展示面積達到23,000平方米扮宠。預計將吸引28,000名觀眾前來參觀。德國狐榔、日本等國家展團也將再度隆重獻演LASER World of PHOTONICS CHINA坛增。詳情見：(暫不可見)

　　德國慕尼黑國際博覽集團簡介
　　慕尼黑國際博覽集團是世界領先的展覽公司之一，每年在全球范圍內舉辦近40個博覽會薄腻，涉及行業(yè)包括資本貨物收捣、消費品和高科技。每年有100多個國家的30,000多家企業(yè)來到慕尼黑參展庵楷，觀眾遍及全球200多個國家和地區(qū)坏晦，總人數(shù)超過200萬。此外嫁乘，集團還在亞洲昆婿、俄羅斯、南北美洲舉辦各類專業(yè)博覽會永努。慕尼黑在全球89個國家擁有6家子公司和66個代表處贞倒，集團網(wǎng)絡覆蓋全球。
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