微機(jī)械加工是MEMS以及微光機(jī)電系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)恤鞭。微機(jī)械加工可分為體微機(jī)械加工和表面微機(jī)械加工兩種類型且警。體微加工技術(shù)是指利用蝕刻工藝對塊狀硅進(jìn)行準(zhǔn)三維機(jī)構(gòu)的微加工借宵，分為蝕刻和停止蝕刻兩項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)橘荠。表面加工技術(shù)不蝕刻掉大部分的硅材料乞贡，而是在硅片上采用不同的蝕刻和薄膜淀積方法，在硅表面上形成較薄的結(jié)構(gòu)克酿。蝕刻技術(shù)的主要代表為犧牲層技術(shù)（表面微機(jī)械加工以硅片微基體颅唇，通過多層膜淀積和圖形加工制備三維微機(jī)械結(jié)構(gòu)。硅片本身不被加工限匕，器件的結(jié)構(gòu)部分由淀積的薄膜層加工而成西练，結(jié)構(gòu)與基體之間的空隙應(yīng)用犧牲層技術(shù)）。主要薄膜淀積技術(shù)有蒸鍍困荤、濺射然板、化學(xué)氣相淀積等，主要蝕刻方法是選擇性濕法蝕刻和干法等離子蝕刻捎鹤。

　　全球共有250家MEMS器件生產(chǎn)企業(yè)秃标，產(chǎn)品主要用于滿足自身終端消費(fèi)電子產(chǎn)品的需要。MEMS應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛亡荞，單個細(xì)分市場規(guī)模很窄篡话，一家公司以幾億美元規(guī)模就能占據(jù)1至2個產(chǎn)品龍頭地位。例如水孩，德州儀器占據(jù)DLP市場镰矿，惠普占據(jù)打印機(jī)噴墨頭市場，安華高科技占據(jù)濾波器市場俘种，ADI秤标、ST、飛思卡爾和美新占據(jù)加速度計(jì)市場宙刘，樓氏占據(jù)麥克風(fēng)市場苍姜。為了降低成本、壟斷市場荐类，國際大公司都加大了8英寸MEMS生產(chǎn)線的建設(shè)怖现。意法半導(dǎo)體2006年將MEMS生產(chǎn)線升級到8英寸，歐姆龍玉罐、飛思卡爾也開始籌建8英寸生產(chǎn)線屈嗤。

　　國內(nèi)MEMS加工產(chǎn)業(yè)還處于導(dǎo)入期，北京青鳥元芯及無錫美新半導(dǎo)體占據(jù)領(lǐng)先地位吊输。青鳥元芯依托北京大學(xué)微電子研究院饶号，成為國內(nèi)第一家批量生產(chǎn)MEMS微型傳感器的高新技術(shù)企業(yè)，月產(chǎn)MEMS傳感器達(dá)10萬只季蚂。無錫美新半導(dǎo)體是全球第一家使用標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝对轴、單芯片上集成混合信號處理的熱對流MEMS慣性傳感器公司；設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力為1500萬片/月肥刻，加速計(jì)產(chǎn)品500萬片/月亮史，在無錫第二家CMOS-MEMS工廠已經(jīng)投產(chǎn)，每月可生產(chǎn)1000萬個加速計(jì)。但不可否認(rèn)哩敞，國內(nèi)MEMS制造商的平均生產(chǎn)能力較弱椭集，多數(shù)仍采用4到 5英寸的中低端生產(chǎn)線。青鳥元芯就是利用早期從福特公司買來一條二手生產(chǎn)線制造MEMS傳感器点级。

　　無錫近鄰蘇州有昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地咳龄。該基地作為我國唯一生產(chǎn)傳感器的國家級產(chǎn)業(yè)基地，形成了以自主知識產(chǎn)權(quán)的硅壓阻式MEMS傳感器和變送器為核心的產(chǎn)業(yè)鏈宽缴，擁有總投資18億元的30家傳感器生產(chǎn)企業(yè)迎反。國內(nèi)MEMS壓力傳感器的龍頭企業(yè)—雙橋測控傳感器有限公司與敏芯（蘇州）微電子企業(yè)都名列其中。

　　名詞解釋：MEMS

　　MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫趾迈。MEMS是美國的叫法旷似，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)乔煞，它是指可批量制作的徒坡，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器瘤缩、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路喇完、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)剥啤。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的锦溪，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化府怯。

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