精密與超精密加工和制造自動化是先進制造技術(shù)的兩大領(lǐng)域讨便。當(dāng)代的精密工程榄陆、微細工程和納米技術(shù)是現(xiàn)代制造技術(shù)的前沿筝妥、未來技術(shù)的基礎(chǔ)蚀稻。

　　通常將加工精度在0.1~1μm骗早，加工表面粗糙度Ra在0.02~0.1μm之間的加工方法稱為精密加工，而將加工精度高于0.1μm府塘，加工表面粗糙度Ra小于0.01μm的加工方法稱為超精密加工爪撤。

　　當(dāng)前各種加工方法所能達到的精度及其發(fā)展趨勢如圖2-1所示。

　　天然金剛石刀具是精密與超精密加工的基本刀具棚疏。金剛石刀具的超精密加工技術(shù)主要應(yīng)用于兩個方面网燃，即單件大型超精密零件的切削加工和大量生產(chǎn)中的中小型超精密零件加工。

　　一继溯、超精密加工的難點

　　超微量去除技術(shù)是實現(xiàn)超階級精密加工的關(guān)鍵雄炕。這是因為在這種情況下：

　　①工具和工件表面微觀的彈性變形和塑性變形是隨機的身堡，精度難以控制；

　∨睦稹②工藝系統(tǒng)的剛度和熱變形對加工精度有很大影響贴谎；

　　③去除層越薄季稳，被加工表面所受的切應(yīng)力越大擅这，材料就越不易被去除澈魄。

　　④當(dāng)去除厚度在1μm以下時仲翎，材料被去除的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的切應(yīng)力急劇增大痹扇。因為當(dāng)晶粒的尺寸為數(shù)微米時，加工就需在晶粒內(nèi)進行溯香，即把晶粒當(dāng)作一個個不連續(xù)體進行切削鲫构。在晶粒內(nèi)部，大約1μm左右的間隙內(nèi)就有一個位錯缺陷玫坛。

　　二结笨、超精密加工的方法

　　⑴超精密加工按加工方式不同可以分為切削加工傅慈、磨料加工(分固結(jié)磨料和游離磨料加工)蹦虏、特種加工和復(fù)合加工四類。

　〉馓浴⑵根據(jù)加工方法的機理和特點刮血，最基本的超精密加工方法還可分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類惰采。

　∷瘫蕖⑶超精密加工還可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工褒述。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工牢米、固結(jié)磨料和游離磨料加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能逃窜、磁能郊舅、聲能、光能止骨、化學(xué)能席赂、核能等對材料進行加工和處理；復(fù)合加工是指多種加工方法的復(fù)合时迫。目前颅停，在制造業(yè)中以切削、磨削和研磨為代表的傳統(tǒng)加工方法仍占主要地位掠拳。

　　三癞揉、超精密加工的實現(xiàn)條件

　　超精密加工是一門多學(xué)科交叉的綜合性高新技術(shù)，已從單純的技術(shù)方法發(fā)展成精密加工系統(tǒng)工程溺欧。該系統(tǒng)主要包括以下幾個方面：

　『笆臁①超精密加工的機理與工藝方法；

　　②超精密加工工藝裝備芥牌；

　》澄丁③超精密加工工具；

　”诶④超精密加工中的工件材料谬俄；

　　⑤精密測量及誤差補償技術(shù)弃理；

　≡糌摇⑥超精密加工工作環(huán)境、條件等桑趴。

　　在超精密加工的中盟拨，必須綜合考慮以上因素。

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