位于美國新墨西哥州的圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室(Sandia National Laboratories)對尺寸僅為10μm和20μm的微型車刀和銑刀進(jìn)行了切削實(shí)驗(yàn)與研究。

　　雖然“微加工(micro machining)”這一術(shù)語可用于表示在極小尺度范圍內(nèi)完成的各種加工操作后雷，但圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室的研究人員卻避免將他們進(jìn)行的微小尺度車削和銑削加工稱為“微加工”季惯。他們認(rèn)為，在“加工”一詞前面冠以“微(micro)”的前綴臀突，則表示用該加工方法可加工出尺寸小至1μm的工件形貌勉抓，而該實(shí)驗(yàn)室目前還做不到這一點(diǎn)——至少在車削和銑削加工上還達(dá)不到這一水平，目前他們研制的微型刀具能夠加工出的工件形貌尺寸最小可達(dá)到25μm候学。換句話說琳状，雖然他們已達(dá)到的加工尺度水平還不能稱為“微加工”，但已比幾乎任何其它金屬切削加工車間都更接近“微加工”的目標(biāo)承蠕。圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室的研究人員將這種尺度水平的加工稱為“亞微加工(meso-machining)”菜册。

　　亞微加工所用的微型銑刀和微型車刀是采用聚焦離子束對硬質(zhì)合金和高速鋼刀坯材料進(jìn)行雕蝕加工而成。用該方法制造的微型立銑刀的直徑可小至約20μm扳啃；微型車刀的寬度可小至約10μm蓄棘。這種微型刀具是實(shí)現(xiàn)亞微加工所必不可少的關(guān)鍵工藝因素贰宰，因?yàn)槟壳霸?a target="_blank" class="mmstipl2" >機(jī)床上使用這種微型刀具的適用加工技術(shù)已基本成熟。在圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室褥欺，雖然仍然需要全力開發(fā)亞微切削實(shí)驗(yàn)所用的微型刀具芍迫，但實(shí)驗(yàn)所用加工機(jī)床已完全具備了使用微型刀具的技術(shù)條件。研究人員利用市場上機(jī)床供貨商提供的精密加工機(jī)床盔鬼，即可有效地使用微型刀具進(jìn)行亞微切削加工哪趟。

　　美國開展亞微加工研究的一個(gè)主要原因與核武器有關(guān)。美國現(xiàn)存核武器上的某些零件需要經(jīng)常更換女饺，并且需要對這些零件的結(jié)構(gòu)形貌不斷進(jìn)行改進(jìn)纹怨。但是，因?yàn)楹宋淦魃系母鱾€(gè)零件與周圍其它零件之間都有不允許改變的裝配關(guān)系儒恋，所以每一個(gè)零件的尺寸和外形都必須保持固定不變善绎。因此，為了在零件上增加新的結(jié)構(gòu)形貌诫尽，惟一的途徑就是將更多結(jié)構(gòu)微縮于現(xiàn)有空間之中禀酱，而亞微加工可以成為實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的一種有效手段。

　　圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室通過大量實(shí)驗(yàn)研究牧嫉，已可在包括鋁剂跟、黃銅、4340鋼等材料上成功地銑削出寬度20～30μm的槽酣藻，典型切削深度為1μm曹洽。該實(shí)驗(yàn)室用一把φ22μm硬質(zhì)合金雙刃立銑刀進(jìn)行的切削實(shí)驗(yàn)表明，在切深1μm臊恋、轉(zhuǎn)速18000r/min的切削條件下加工鋁件時(shí)衣洁，微型立銑刀能以最大至50mm/min的進(jìn)給率進(jìn)行有效切削，刀具銑削時(shí)間超過6小時(shí)以上抖仅，且在整個(gè)進(jìn)給率變化范圍內(nèi)未發(fā)生刀具破損現(xiàn)象坊夫。

　　微型車刀的切削可靠性也已得到證實(shí)。典型的切削實(shí)驗(yàn)表明撤卢，一把寬度為13μm的微型車刀能夠在全長200mm的鋁件上切出深度為4μm的螺旋槽蛾藐。

　　微型車刀的幾何形狀與常規(guī)尺寸車刀類似，而微型銑刀的幾何形狀則與常規(guī)尺寸銑刀有所不同昂贷。由于用聚焦離子束對微型銑刀進(jìn)行成形加工時(shí)保懈，難以加工出典型的標(biāo)準(zhǔn)立銑刀帶有容屑槽的復(fù)雜幾何形狀，因此拆翘，亞微加工用微型立銑刀的刀體剖面幾何形狀較為簡單锉辫。

　　微型刀具的切削機(jī)理與常規(guī)尺寸刀具基本相同，可看作是常規(guī)刀具切削的“微縮版”囊脉。用光學(xué)顯微鏡對亞微銑削過程的觀測表明瑰兄，切屑可從銑刀附近快速排出狗悔。此外，用電子顯微鏡觀測表明锤距，銑削工件表面同樣出現(xiàn)了切削刀痕巡软。對亞微車削的觀測結(jié)果也清楚地表明，與常規(guī)尺寸車刀加工的常見現(xiàn)象一樣脸夜，用亞微車刀切削后菌劲，也經(jīng)常可以發(fā)現(xiàn)刀具上粘附有長條形切屑子姜。

　　上述亞微銑削實(shí)驗(yàn)是在一臺上世紀(jì)九十年代購進(jìn)的Boston Digital加工中心上進(jìn)行的祟绊。該機(jī)床的位移分辨率達(dá)到1μm，因此可以利用在手動銑床加工中常用的“觸發(fā)(touching off)”對刀方式來實(shí)現(xiàn)微型銑刀相對于工件的定位闲询。研究人員采用手動方式久免，以每次1μm的步距持續(xù)緩慢地微動進(jìn)刀浅辙，直至通過顯微鏡觀察到出現(xiàn)了一點(diǎn)切屑扭弧，即表明此時(shí)銑刀已剛好與工件接觸。

　　最近记舆，圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室又在一臺Willemin-Macodel公司的精密加工中心上進(jìn)行了亞微銑削的實(shí)驗(yàn)研究鸽捻。亞微車削實(shí)驗(yàn)則是在一臺Moore Tool公司的金剛石車床上進(jìn)行的(雖然使用的微型車刀材料并不是金剛石)。該實(shí)驗(yàn)室還在Agie公司的線切割機(jī)和電火花成形機(jī)上進(jìn)行了亞微放電加工(EDM)的實(shí)驗(yàn)研究泽腮。此外御蒲，亞微激光加工也是該實(shí)驗(yàn)室亞微加工研究的另一重要領(lǐng)域。

　　目前诊赊，亞微車削比亞微銑削更具實(shí)用性厚满。對于亞微銑削而言，制約其應(yīng)用的因素除了亞微刀具制造工藝難以復(fù)制出傳統(tǒng)立銑刀的復(fù)雜幾何形狀外楚餐，另一個(gè)原因是很難將安裝在刀夾中的微型銑刀的徑向跳動減小至一把直徑僅20μm的刀具可以容許的誤差范圍內(nèi)斤卒。另一個(gè)問題是目前對亞微銑削的需求還不多。圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室的用戶迄今提出的研制要求是需要直徑小于130μm的銑刀撇扯。對于某些工件形貌囚誓，例如微型外齒輪的輪齒，實(shí)驗(yàn)室趨向于采用線切割機(jī)進(jìn)行放電加工(EDM)见撵。不過启孔，如果需要加工微型內(nèi)齒輪的輪齒，則可能需要采用亞微銑削薪尉。

　　雖然存在上述問題键羡，對各種亞微加工方法(包括亞微銑削)的實(shí)驗(yàn)研究仍在繼續(xù)進(jìn)行。為了避免因銑刀夾持及與此相關(guān)的銑刀徑跳引起的問題凡加，圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室正在對一種可帶動刀具旋轉(zhuǎn)而不需要刀具夾頭的專用主軸進(jìn)行實(shí)驗(yàn)慰奉，這種由佛羅里達(dá)大學(xué)開發(fā)的主軸轉(zhuǎn)速可高達(dá)500000r/min嘴父。

　　影響亞微切削加工的另一個(gè)常見問題是使用亞微刀具需要較高的專業(yè)知識水平。亞微切削加工與常規(guī)切削加工的要求不同营稼。在常規(guī)切削中企悦，刀具、工件和加工程序可在不同的機(jī)床之間替換使用宏赘；而亞微切削則要求操作者必須了解在不同的加工環(huán)境下微小誤差的疊加規(guī)律有何不同绒北，以及選擇的特定切削參數(shù)(如切削速度、進(jìn)給率等)是如何影響特定機(jī)床的加工精度的察署。要成為一個(gè)熟練的亞微切削操作者闷游，可能需要好多個(gè)月的時(shí)間不斷進(jìn)行學(xué)習(xí)和實(shí)踐，以正確掌握亞微切削的技術(shù)知識和操作要領(lǐng)贴汪。這種較高的技術(shù)要求大大限制了亞微切削技術(shù)的推廣應(yīng)用脐往。即使在圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室的五、六十名技術(shù)精湛的機(jī)械技師中扳埂，也只有少數(shù)幾人能夠熟練掌握此項(xiàng)操作技術(shù)业簿。

　　亞微加工技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀可總結(jié)如下：

　　1) 聚焦離子束工藝(用于制造亞微刀具)：可加工最小形貌尺寸：200nm，公差20nm阳懂；材料去除率：0.5μm3/sec梅尤；可加工材料：任何材料。

　　2) 亞微銑削岩调、亞微車削：可加工最小形貌尺寸：25μm(車削可達(dá)10μm)巷燥，公差2μm；材料去除率：10400μm3/sec沛狱；可加工材料：鋁的闹，黃銅，低碳鋼尤乎，PMMA塑料翼养。

　　3) 亞微放電加工(EDM)：可加工最小形貌尺寸：25μm，公差3μm促奇；材料去除率：25×106μm3/sec瞭阔；可加工材料：導(dǎo)電材料。

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