多年來簸搞,典型的PVD涂層都是非常薄的超硬耐磨膜層,多數(shù)應(yīng)用在刀具上准潭,如鉆頭趁俊、銑刀、鉸刀完骑、刀片和滾刀等剩跛,也應(yīng)用在各種模具上。這種應(yīng)用的典型膜層厚度在1~5μm左右谢佩,當(dāng)然也有特殊應(yīng)用的膜層厚度接近10μm左右优狡。然而,在汽車制造業(yè)和航空航天領(lǐng)域上的特殊應(yīng)用膜層已經(jīng)遠遠超過5μm休贴。試驗已經(jīng)證明在這些領(lǐng)域里的特殊應(yīng)用膜層越厚角涯,耐磨性能和抗腐蝕性能更好。目前钥陪,有這種需要的超厚膜層可達到10~50μm左右腻区,有些膜層甚至更厚。
目前螟扮,80%的PVD超硬膜層都是通過電弧蒸發(fā)技術(shù)沉積形成的份良。通過電弧蒸發(fā)形成的涂層有很多卓越的優(yōu)點,如性價比高骏挎、質(zhì)量非常好汗忠;從材料和能源成本考慮,這種技術(shù)是投資最低兜叨、最有競爭力的涂層穿扳。另外,由于在真空狀態(tài)下電弧蒸發(fā)而形成的高度離子化国旷,這種技術(shù)還可以獲結(jié)合力最好和最致密的膜層矛物。
在過去的10年里茫死,Al基超硬涂層占據(jù)著特別重要的位置。如今履羞,大部涂層廠家均可提供各種鋁含量的涂層峦萎。另外,Cr基涂層也越來越多地被應(yīng)用忆首。所有這些涂層都是復(fù)合涂層爱榔。特別是復(fù)合涂層可以大大減少膜層的內(nèi)張力,以及降低膜層表面液滴尺寸糙及。另外详幽,這些膜層大部分都是納米結(jié)構(gòu)膜層,每個單層膜層只有20~50nm的厚度丁鹉。
今天妒潭,這種結(jié)構(gòu)的膜層已經(jīng)成為最先進的保護飛機發(fā)動機部件的涂層,例如渦輪葉片的耐磨損和防腐蝕涂層榆博。這種以Ti和TiN為基礎(chǔ)的軟硬交替的超厚膜層是第一代防腐蝕膜層仲及,可以為渦輪葉片提高2~3倍的使用壽命。目前這些涂層被廣泛應(yīng)用在非常惡劣的環(huán)境中侧焚,例如在沙漠中的直升飛機發(fā)動機锭偿,但是也越來越多地應(yīng)用在商用飛機發(fā)動機上。
在航空工業(yè)中的特殊耐磨和防腐蝕應(yīng)用中摆地,均需要超厚的PVD涂層TiN涂層的飛機發(fā)動機葉片(整體集成葉片)挂剪,膜層厚度為20μm。在沉積過程中增量,工藝溫度是影響葉片疲勞壽命的最具決定性的參數(shù)之一她打。目前這種TiN結(jié)構(gòu)的超厚涂層已經(jīng)成為最先進的飛機發(fā)動機葉片涂層。隨著涂層技術(shù)的發(fā)展童唧,Al基加厚涂層已經(jīng)成為第二代更優(yōu)秀的發(fā)動機葉片涂層栽埠。
綜上所述,在所有的PVD涂層工藝中镐胃,電弧沉積涂層技術(shù)已成為用于工業(yè)化生產(chǎn)的最經(jīng)濟耐磨镶骗、防腐蝕涂層。今天躲雅,世界上80%的PVD超硬涂層都是采用電弧沉積技術(shù)得到的鼎姊,事實也證明了PVD超厚涂層是可以以最經(jīng)濟的方式達到10~50μm左右。
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