海德漢編碼器的核心部分是測量基準,通常是柵距為0.25μm到10μm的刻線。這些精確的刻線是由海德漢先進的工藝制作出來的(比如DIADUR或AURODUR工藝)淀祟,它們是影響海德漢編碼器精度的決定性因素。這些刻線存在于規(guī)定的細小間隔里决盔,它們的邊緣清晰度很高酌铺。而且刻線抵抗機械和化學(xué)影響的能力強散岩,抗震動和沖擊的能力也很強。有固定的熱膨脹性能辕洗。
相位光柵 |
特殊的制造工藝可以生產(chǎn)出有特定光學(xué)特性的三維柵格萌圣。這些柵格的寬度在幾個微米到四分之一微米之間。 |
SUPRADUR |
SUPRADUR工藝制造出來的柵格很像三維光柵趋亡,但它們只有平面結(jié)構(gòu)低海,所以抗污染能力很強。 |
MAGNODUR |
只有幾個微米的非常薄的磁性層上有很精細的磁柵傀铃。 |
DIADUR |
DIADUR精確刻線由基體上非常薄的鉻層構(gòu)成糕米,通常基體為玻璃或玻璃陶瓷茫经∠锊ǎ刻線的精度在微米和亞微米的氛圍內(nèi)。 |
AURODUR |
AURODUR刻線是由高反射率的被腐蝕的金線構(gòu)成卸伞。AURODUR刻線的基體通常是鋼抹镊。 |
METALLUR |
由于反射黃金層的特殊光學(xué)合成物, METALLUR刻線顯示為實際成面構(gòu)造荤傲。因此它們特別抗污染垮耳。 |
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