激光干涉儀可對機(jī)床张肾、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正妖坡，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測量各項(xiàng)參數(shù)敦间，如線形位置精度、重復(fù)定位精度娜亿、角度丽已、直線度、垂直度暇唾、平面度及平行度等促脉。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能策州，如自動螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)）瘸味，機(jī)床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定够挂，觸發(fā)脈沖輸入旁仿、輸出功能等。

　　激光干涉儀的功能有以下幾方面：

　∧跆恰①自動螺距誤差補(bǔ)償枯冈。激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)通信办悟，對誤差進(jìn)行自動補(bǔ)償尘奏。它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時間炊捻，同時可最大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到最佳精度瓣挂。

　≌４贰②回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定±嗦瘢回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置履字，以任意測量間隔進(jìn)行自動測量及補(bǔ)償。

　」谋病③機(jī)床動態(tài)特性測試與評估攀瘟。

　　4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能失跷。利用觸發(fā)脈沖輸入诉玲，可實(shí)現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實(shí)現(xiàn)類似于激光絲杠動態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動鏈精度檢查功能叔梆。利用觸發(fā)脈沖輸出钢婆，可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖，從而實(shí)現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能臂外。

　　⑤雙軸同步校準(zhǔn)系統(tǒng)喇颁。在某些機(jī)器中漏健，某一軸線運(yùn)動由雙驅(qū)動和雙反饋系統(tǒng)控制（如龍門銑床和大型龍門移動的機(jī)器等）。

　￠裒⑥其他用戶接口裝置蔫浆。

　　(9)球桿儀

　　目前國內(nèi)數(shù)控機(jī)床的精度檢測多采用試切試件質(zhì)量的方法，很難分析數(shù)控機(jī)床誤差產(chǎn)生的根源姐叁，其調(diào)試周期也較長瓦盛，這就嚴(yán)重影響了數(shù)控機(jī)床生產(chǎn)率和精度的提高。因此外潜，在機(jī)床的精度驗(yàn)收和維修診斷中推廣應(yīng)用球桿儀原环，對機(jī)床制造廠和用戶來說都是十分重要的。

　　球桿儀是一種能快速处窥、方便嘱吗、經(jīng)濟(jì)地檢測數(shù)控機(jī)床兩軸聯(lián)動性能的僅器，它與激光干涉儀互補(bǔ)使用滔驾，作為評價機(jī)床動態(tài)輪廓精度的精密儀器谒麦。

　　球桿儀的兩端均為精密球體，一端通過磁性架固定在機(jī)床的工作臺上采冕，另一端則固定在機(jī)床主軸上援愁，球桿和球座的連接方式能保證球桿沿任意角度轉(zhuǎn)動贫拭，球桿中靠近主軸一端帶有線性位移傳感器。球桿與機(jī)床工作臺和主軸之間均通過磁性連接径揭，然后編制程序耍叮，使機(jī)床作半徑等于球桿長度的任平面內(nèi)的圓形運(yùn)動；傳感器檢測出半徑方向的長度變化量高骑，再通過軟件對其進(jìn)行自動分析蝠盘，就可得到該平面內(nèi)機(jī)床各種誤差的數(shù)據(jù)，同時給出各種誤差優(yōu)化表辈殃。典型的誤差源包括輪廓綜合圓度誤差苔免、垂直度誤差、伺服增益不匹配誤差债案、滾珠絲杠周期誤差更启、爬行誤差、機(jī)床振動截型、垂直度誤差趴荸、光柵尺／編碼器誤差、間隙和其他換向誤差宦焦、直線度誤差发钝、反向躍沖等，而每一種典型誤差都有其特征波闹。下面以伺服增益不匹配誤差為例說明酝豪。

　　1)所測試的圖形特點(diǎn)假定機(jī)床r軸的伺服增益不匹配，則在平面內(nèi)精堕，沿順時針方向和逆時針方向檢測形狀孵淘。

　　2)產(chǎn)生原因由于兩軸的伺服回路增益不同，即其中一軸增益快于另一軸歹篓。

　　3)誤差產(chǎn)生的后果誤差會導(dǎo)致Xl‘平面內(nèi)加工的圓并非真圓瘫证。

　　4)解決辦法通過調(diào)整控制器來平衡丑、r軸的增益庄撮，或可使用低進(jìn)給率加工工件背捌。

　　實(shí)際數(shù)控機(jī)床可能同時存在多個誤差源，因此實(shí)測得到的運(yùn)動誤差弛镣，一般包含多種誤差源共同作用的結(jié)果和隨機(jī)噪聲的干擾凄在，但由于每個典型誤差源都有其特定的數(shù)學(xué)模型，因此钩裆，可通過計(jì)算機(jī)模式識別技術(shù)及誤差源分離技術(shù)舞懦，識別出所有的誤差源，并評定其影響的大小，為機(jī)床精度的調(diào)試和控制提供依據(jù)毕蕉。

　　由于球桿儀可陜速檢測機(jī)床精度蓬肢，診斷出誤差源，自動分析機(jī)床精度狀態(tài)乙笛，并標(biāo)出量化概念及解決辦法魂中，因此，在以下幾方面得到了廣泛的應(yīng)用刽室。

　　1)動／靜態(tài)檢測數(shù)控機(jī)床精度為方便機(jī)床驗(yàn)收檢驗(yàn)香题，可用球桿儀快速進(jìn)行機(jī)床的精度檢驗(yàn)。

　　2)機(jī)床動態(tài)特性測試和評怙酪律、分離故障源球桿儀可以快速找出并分析機(jī)床問題所在雌隅，主要可檢查反向差、背隙缸沃、垂直度恰起、直線度、周期誤差趾牧、伺服不匹配检盼、傳動鏈磨損等。

　　例如機(jī)床撞車事故后的檢測翘单，可用球桿儀快速告訴操作者機(jī)床是否可繼續(xù)使用吨枉；如不能繼續(xù)使用，也能通過機(jī)床誤差的自動分離哄芜，幫助維修工程師快速找到機(jī)床故障所在东羹，并集中精力去解決問題與故障。

　　3)機(jī)床切削參數(shù)的快速優(yōu)化在不同進(jìn)給率條件下忠烛，用球桿儀檢測機(jī)床，可采用滿足加工精度要求的機(jī)床進(jìn)給率進(jìn)行加工权逗，從而避免了廢品的產(chǎn)生美尸。

　　實(shí)現(xiàn)機(jī)床誤差趨勢分析廈預(yù)防性維護(hù)球桿儀可以揭示機(jī)床精度變化趨勢，這樣可提醒維修工程師注意機(jī)床已有及可能出現(xiàn)的問題僵馒，不致釀成大故障幼氏，可大大方便機(jī)床的保養(yǎng)和維護(hù)。

　　球桿儀系統(tǒng)在機(jī)床不拆卸的情況下绸秸，即可掌握機(jī)床現(xiàn)在運(yùn)行狀態(tài)的精度信息嬉拾，查明產(chǎn)生故障的部位和原因，或預(yù)知系統(tǒng)的異常和劣化的趨勢匠似，因此臊吓，在機(jī)床的精度驗(yàn)收、維修診斷以及維護(hù)保養(yǎng)中將發(fā)揮極大的作用暗沉。

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