1 引言

　　隨著儀器儀表工業(yè)的發(fā)展挚性，對具有良好表面完整性的超精密零件的需求日益增加纲盟。超精密切削加工零件不但應具有很高的幾何尺寸及形位尺寸精度砂沛，還應具有極好的穩(wěn)定性，以保證整機的可靠性曙求。

　　近年來碍庵，超精密切削加工技術(shù)得到迅速發(fā)展，對某些有色金屬材料的超精密切削加工精度已接近理論極限精度悟狱。但是怎抛，目前人們對超精密加工的微觀切削機理和切削表面完整性的研究尚不夠深入，加工表面質(zhì)量成為影響超精密零件可靠性的主要因素之一芽淡。工件的加工表面質(zhì)量主要通過表面粗糙度马绝、表面顯微硬度、表面殘余應力等指標來反映挣菲。在普通切削加工中富稻，由于加工硬化、表面殘余應力等表面質(zhì)量問題引起的形位尺寸變化相對于零件的尺寸精度要求一般可忽略不計白胀。但在超精密切削加工中椭赋，由于零件精度要求極高，因此任何表面參數(shù)的變化都會增加零件的不穩(wěn)定性或杠。

　　天然單晶金剛石刀具(簡稱SPD刀具)是一種單點刀具哪怔，用于超精密切削可獲得理想的加工精度，但因材料稀缺赵溢，因此價格昂貴夷硅。人造聚晶金剛石刀具(簡稱PCD刀具)為多點刀具，與SPD刀具相比價格低廉歧余。以前我們曾對PCD刀具的刃磨及獲得超精加工要求的表面粗糙度的機理進行了研究氢滋，本文則對PCD刀具與SPD刀具在超精密加工中工件表面質(zhì)量的實現(xiàn)進行了對比試驗研究。

　　2 試驗條件

　　1.刀具幾何參數(shù)

　　超精切削加工為微細加工跟努，切削區(qū)集中于刃口附近的微小區(qū)域价忙，刀具的鋒利程度對工件已加工表面質(zhì)量具有舉足輕重的影響。因此垛撬，對于超精切削刀具皮围，除宏觀幾何參數(shù)外，反映刀具鋒利度的刃口圓弧半徑是最重要的關(guān)鍵參數(shù)达快。

　　2.切削條件

　　試驗機床：超精密車床

　　試驗刀具：PCD刀具捏裂，SPD刀具(超精加工用刀具)

　　工件材料：無氧銅   

　　切削速度：v=1000r/min   

　　進給量：(分別取不同值)   

　　切削深度：ap=5μm   

　　環(huán)境溫度控制：20 ± 0.1℃   

　　冷卻方式：烴基冷卻液噴霧冷卻

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