微納器件與系統(tǒng)是利用微納和精密加工技術(shù)岂苏，集約電子、機(jī)械、材料摄凡、控制等新技術(shù)發(fā)展，針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)蚓曼、生物蘑慕、醫(yī)療、汽車(chē)价烘、機(jī)械制造等產(chǎn)業(yè)的需求蕊欣，研制能夠解決傳感、測(cè)量稻漏、驅(qū)動(dòng)愈秕、能源等問(wèn)題的器件、部件和系統(tǒng)睬毒。目標(biāo)是以批量制造技術(shù)生產(chǎn)低成本矿钩、高精度、高可靠性的微納器件遣株，拓展終端產(chǎn)品功能蛀家，提高終端產(chǎn)品性能，降低終端產(chǎn)品功耗和成本革哄。

　　微納器件與系統(tǒng)的主要特征：①微型化馅溉。器件特征結(jié)構(gòu)尺寸范圍0.1μm～1mm。②集成化庭叙。集微型機(jī)構(gòu)劲阎、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路鸠真、直至接口悯仙、通信和電源等于一體。③高性能吠卷。體積小锡垄、重量輕、耗能低祭隔、慣性小货岭、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短疾渴、性能穩(wěn)定千贯。④批量化。有利于大批量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本搔谴。

　　從20世紀(jì)80年代以來(lái)魁袜，以美國(guó)、日本已箫、西歐為代表的發(fā)達(dá)國(guó)家特別注重發(fā)展MEMS技術(shù)危晕。我國(guó)微納器件和系統(tǒng)的發(fā)展起源于20世紀(jì)90年代，從“九五”起蕴节，經(jīng)過(guò)三個(gè)五年計(jì)劃的支持，已經(jīng)在制造平臺(tái)建設(shè)和工藝研究挽沧、以慣性器件為主的器件研究贷弧、便攜式儀器研究、微流體器件和系統(tǒng)及以微納衛(wèi)星為代表的集成微系統(tǒng)等方面取得了一系列突破糙官。目前在整體技術(shù)水平上與國(guó)外尚有明顯差距窟潜，但在個(gè)別領(lǐng)域，已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)甚至領(lǐng)先水平鱼催。

　　未來(lái)20年翅栖，微納器件和系統(tǒng)將取得突破性的進(jìn)展，朝著微納結(jié)合见毒、集成化谅褪、儀器化、智能化的方向迅速發(fā)展吴攒。NEMS器件占微納傳感器件的份額將提高到50%以上张抄；黑硅材料成為光伏器件的主流，轉(zhuǎn)換效率達(dá)到50%以上洼怔；將有望用MEMS技術(shù)解決復(fù)明署惯、復(fù)聰?shù)葐?wèn)題。

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