位移測(cè)量手段   

　　1881年Michelson 發(fā)明了干涉儀漩判。他后來(lái)在1907年為此獲得了諾貝爾物理獎(jiǎng)。Michelson 干涉儀用白光作光源，并用了固定和可移動(dòng)的反射鏡罪塔。Michelson 干涉儀通過(guò)計(jì)算干涉條紋一直被用來(lái)測(cè)量距離或比較距離角骤。隨著激光的發(fā)明隅忿，單頻的氦氖激光取代了白光作為光源，并用二個(gè)角錐棱鏡代替了平面鏡邦尊。   

　　單頻的氦氖激光束被一分束器分成二束光背桐，一半光束通過(guò)一可移動(dòng)的角錐棱鏡，另一半則反射到一固定的角錐棱鏡蝉揍。二反射光束回來(lái)時(shí)在分束器相遇链峭。將所有光路精密地調(diào)準(zhǔn)后，這二相遇的光束就相互干涉又沾，并產(chǎn)生干涉條紋弊仪。用一小面積的光電探測(cè)器計(jì)數(shù)條紋。每一周期的強(qiáng)度變化表示可移動(dòng)角錐棱鏡行程的半波長(zhǎng)巷科。假如已知激光的波長(zhǎng)系亭，那么可移動(dòng)角錐棱鏡行程也可精確地得到剿哪。單頻干涉儀的問(wèn)題是對(duì)于噪聲太敏感。因此晋合，從移動(dòng)中無(wú)法辨別電噪聲還是增益漂移主厅。   

　　雙頻的干涉儀使用一雙頻的氦氖激光器，將二個(gè)不同頻率光束混合后產(chǎn)生一載波頻率掐腕。因此咒祠，攜帶的距離信息是以交流波形式而不是直流波形式。雙頻干涉儀的問(wèn)題是需要笨重的永磁鐵以及精密的光學(xué)元件以穩(wěn)定激光頻率捺再，保持偏振萌琉，并使回到激光諧振腔的散射光減到最小。由于該系統(tǒng)體積笨重糜隶，并有大量的光學(xué)元件咧饭，因此測(cè)量時(shí)大部分機(jī)床需要打開機(jī)床罩。   

　　激光多普勒校準(zhǔn)系統(tǒng)   

　　激光多普勒校準(zhǔn)系統(tǒng)使用一激光多普勒位移測(cè)量?jī)x(LDDM)会激，該系統(tǒng)結(jié)合了微波雷達(dá)技術(shù)栏渺、多普勒效應(yīng)以及光學(xué)外差技術(shù)。LDDM采用了電光锐涯、光學(xué)外差工藝及相位解調(diào)器來(lái)得到移動(dòng)角錐的位置信息磕诊。   

　　LDDM是用一氦氖激光束照射一反射鏡來(lái)測(cè)量位移的。當(dāng)反射鏡移動(dòng)時(shí)被反射的激光束發(fā)生頻率變化纹腌。由于被反射激光束的相位正比于反射鏡的位置霎终，因此可以測(cè)量得到位置的變化。   

　　對(duì)于LDDM來(lái)說(shuō)升薯，偏振及彌散光不是一個(gè)問(wèn)題莱褒，也不需要精密的光學(xué)系統(tǒng)。鏡子可以隨意插入光路涎劈，簡(jiǎn)單的反射鏡就可以用來(lái)反射激光束到任意的角度广凸。   

　　如何使用激光多普勒校準(zhǔn)系統(tǒng)    

　　要校準(zhǔn)普通或者滾珠絲桿，在軸上放一刀片责语，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)絲桿觸發(fā)了位置傳感器。例如可以用四個(gè)位置傳感器來(lái)采集四套每轉(zhuǎn)的數(shù)據(jù)目派。位置傳感器送出一TTL脈沖到PCMCIA卡以觸發(fā)數(shù)據(jù)采集坤候。不間斷地采集數(shù)據(jù)的關(guān)鍵是外部觸發(fā)器和數(shù)據(jù)采集與TTL觸發(fā)脈沖同步，也即同時(shí)采集數(shù)據(jù)咧歪。用四個(gè)位置傳感器測(cè)得的典型的滾珠絲桿的螺距誤差是每轉(zhuǎn)0.2英寸投篇。因此在超過(guò)20英寸的絲桿上每英寸可以測(cè)20個(gè)數(shù)據(jù)。在這個(gè)例子中厦湘，熱膨脹誤差比螺距誤差小得多爸备。   

　　要校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床的一個(gè)軸讯策，將激光頭放置在床身上，反射鏡或者靶標(biāo)被安置在主軸上荤勤。將激光束與常規(guī)靜態(tài)的激光校準(zhǔn)一樣調(diào)整到平行與主軸购烹。但是與通常每走一步要停5秒鐘一直走到終點(diǎn)不同，現(xiàn)在將主軸調(diào)整到可以從開始一直連續(xù)移動(dòng)到終點(diǎn)而不需要任何停止鹉陪。

　　序言：常規(guī)測(cè)量數(shù)控機(jī)床位移誤差的方法是靜態(tài)的---在每次測(cè)量間隔機(jī)器要停幾秒鐘穩(wěn)定下來(lái)底教，然后采集定位數(shù)據(jù)。對(duì)于小間距或長(zhǎng)行程機(jī)床的測(cè)量戴悔，這意味著需要相當(dāng)可觀的停機(jī)時(shí)間扑澜。而同樣的測(cè)量，采用不間斷的同步數(shù)據(jù)采集俏汇，僅需幾分鐘鹿响。事實(shí)上，不間斷的同步數(shù)據(jù)采集還可以測(cè)量更多的點(diǎn)谷饿，提供更多的細(xì)節(jié)且省時(shí)間惶我。譬如，如果每25毫米間隔要停5秒鐘的話各墨，1,250毫米的軸長(zhǎng)以及5個(gè)來(lái)回的操作需要50分鐘以上的時(shí)間指孤。   

　　此外，靜態(tài)定位誤差通常是由于幾何尺寸贬堵、導(dǎo)軌以及結(jié)構(gòu)剛性引起的恃轩。而一般不測(cè)量的動(dòng)態(tài)定位誤差則是由伺服參數(shù)、諧振頻率以及加速度或減速度引起的黎做。換句話說(shuō)叉跛，因?yàn)闄C(jī)床在采集數(shù)據(jù)前停下來(lái)了，這就遺漏了伺服或動(dòng)態(tài)誤差蒸殿。理論上軌跡精度應(yīng)該可以用動(dòng)態(tài)位移誤差表來(lái)改進(jìn)筷厘，而不是靜態(tài)位移誤差表。對(duì)于模具制造商來(lái)說(shuō)宏所，這一點(diǎn)特別重要土汽，因?yàn)楸仨氁ＷC模具腔與多種表面組成的復(fù)雜幾何形狀完全一致。

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