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激光打孔的技術(shù)及激光打微孔的簡述

  激光打孔主要應(yīng)用在航空航天齐梆、汽車制造坝贿、電子儀表、化工等行業(yè)舷咆。激光打孔的迅速發(fā)展爬搓,主要體現(xiàn)在打孔用YAG激光器的平均輸出功率已由5年前的400w提高到了800w至1000w啰价。國內(nèi)目前比較成熟的激光打孔的應(yīng)用是在人造金剛石和天然金剛石拉絲模的生產(chǎn)及鐘表和儀表的寶石軸承、飛機(jī)葉片聂映、多層印刷線路板等行業(yè)的生產(chǎn)中起便。   

  目前使用的激光器多以YAG激光器、CO2激光器為主窖维,也有一些準(zhǔn)分子激光器榆综、同位素激光器和半導(dǎo)體泵浦激光器。   

  激光束打孔機(jī)一般由固體激光器铸史、電氣系統(tǒng)鼻疮、光學(xué)系統(tǒng)和三坐標(biāo)移動(dòng)工作臺等四大部分組成。   

 ×战巍1)固體激光器工作原理   

  當(dāng)激光工作物質(zhì)釔鋁石榴石受到光泵(激勵(lì)脈沖氙燈)的激發(fā)后判沟,吸收具有特定波長的光,在一定條件下可導(dǎo)致工作物質(zhì)中的亞穩(wěn)態(tài)粒子數(shù)大于低能級粒子數(shù)崭篡,這種現(xiàn)象稱為粒子數(shù)反轉(zhuǎn)挪哄。一旦有少量激發(fā)粒子產(chǎn)生受激輻射躍遷,就會(huì)造成光放大琉闪,再通過諧振腔內(nèi)的全反射鏡和部分反射鏡的反饋?zhàn)饔卯a(chǎn)生振蕩迹炼,最后由諧振腔的一端輸出激光。激光通過透鏡聚焦形成高能光束照射在工件表面上颠毙,即可進(jìn)行加工斯入。

  2)電氣系統(tǒng)包括對激光器供給能量的電源和控制激光輸出方式(脈沖式或連續(xù)式等)的控制系統(tǒng)芳窟。在后者中有時(shí)還包括根據(jù)加工要求驅(qū)動(dòng)工作臺的自動(dòng)控制裝置万僚。   

  3)光學(xué)系統(tǒng)的功能是將激光束精確地聚焦到工件的加工部位上抬爷。為此或祖,它至少含有激光聚焦裝置和觀察瞄準(zhǔn)裝置兩個(gè)部分。   

 〔〈选4)投影系統(tǒng)用來顯示工件背面情況贰漱,在比較完善的激光束打孔機(jī)中配備。   

 〖舔健5)工作臺由人工控制或采用數(shù)控裝置控制簸悟,在三坐標(biāo)方向移動(dòng),方便又準(zhǔn)確地調(diào)整工件位置杨朴。工作臺上加工區(qū)的臺面用玻璃制成明青,因?yàn)椴煌腹獾慕饘倥_面會(huì)給檢測帶來不便,而且臺面會(huì)在工件被打穿后遭受破壞挑乓。工作臺上方的聚焦物鏡下設(shè)有吸女责、吹氣裝置漆枚,以保持工作表面和聚焦物鏡的清潔。

  激光打微孔簡述

  在元件上開個(gè)小孔是件很常見的事抵知。但是墙基,如果要求在堅(jiān)硬的材料上,比如在硬質(zhì)合金上打大量0.1毫米到幾微米直徑的小孔刷喜,用普通的機(jī)械加工工具怕是不容易辦到残制,即使能夠做,加工成本也會(huì)很高∫创現(xiàn)有的機(jī)械加工技術(shù)在材料上打微型小孔是采用每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)或者幾十萬轉(zhuǎn)的高速旋轉(zhuǎn)小鉆頭加工的初茶,用這個(gè)辦法一般也只能加工孔徑大于0.25毫米的小孔。在今天的工業(yè)生產(chǎn)中往往是要求加工直徑比這還小的孔浊闪。比如在電子工業(yè)生產(chǎn)中恼布,多層印刷電路板的生產(chǎn),就要求在板上鉆成千上萬個(gè)直徑約為0.1~0.3毫米的小孔搁宾。顯然折汞,采用剛才說的鉆頭來加工,遇到的困難就比較大妥抬,加工質(zhì)量不容易保證蛆器,加工成本不低。早在本世紀(jì)60年代后蔓摇,科學(xué)家在實(shí)驗(yàn)室就用激光在鋼質(zhì)刀片上打出微小孔,經(jīng)過近30年的改進(jìn)和發(fā)展固鹏,如今用激光在材料上打微小直徑的小孔已無困難崩绑,而且加工質(zhì)量好。打出的小孔孔壁規(guī)整鹰个,沒有什么毛刺寂疏。打孔速度又很快,大約千分之一秒的時(shí)間就可以打出一個(gè)孔骏拱。   

  激光在材料上鉆出小孔的道理很簡單(激光鉆孔)忱徙,做法也不復(fù)雜。激光有很好的相干性难圣,用光學(xué)系統(tǒng)可以把它聚焦成直徑很微小的光點(diǎn)(小于1微米)缭慈,這相當(dāng)于用來鉆孔的“微型鉆頭”。其次们豌,激光的亮度很高涯捻,在聚焦的焦點(diǎn)上的激光能量密度(平均每平方厘米面積上的能量)會(huì)很高,普通一臺激光器輸出的激光望迎,產(chǎn)生的能量就可以高達(dá)109焦耳/厘米2障癌,足可以讓材料發(fā)生熔化并汽化凌外,在材料上留下一個(gè)小孔,和用鉆頭鉆出來的一個(gè)樣涛浙。   

  怎樣用好激光“鉆頭”康辑,激光科學(xué)工作者也做了許多研究工作。他們發(fā)現(xiàn)轿亮,用每秒發(fā)射許多個(gè)光脈沖(通常叫高重復(fù)率激光脈沖)做“鉆頭”晾捏,打出來的小孔質(zhì)量比用單個(gè)光脈沖,或每秒時(shí)間內(nèi)少數(shù)幾個(gè)光脈沖打出來的孔好哀托。道理大概是這樣:在用每秒一個(gè)光脈沖或少數(shù)幾個(gè)脈沖打孔時(shí)惦辛,對每個(gè)光脈沖的激光能量要求比較高,讓材料能被加熱至熔化才能打出孔仓手。但是胖齐,融熔了的材料沒有辦法充分汽化,卻把在它附近的材料加熱和使它們汽化董纺,結(jié)果茎冒,被打出來的小孔在形狀大小上就不那么規(guī)整。如果使用的是高重復(fù)率激光器輸出的光脈沖吆律,這時(shí)每個(gè)光脈沖平均的能量并不很高宠璧,但由于光脈沖的寬度窄,功率水平卻不低妈务。于是每個(gè)激光脈沖在材料上形成的融熔體不多姊黍,主要是發(fā)生汽化。由于使小孔附近的材料加熱時(shí)融熔體很少钓宗,因而也就不出現(xiàn)在用單脈沖打孔時(shí)出現(xiàn)的事沃铣。打出的小孔形狀和大小就規(guī)整得多了。   

  要使打出的小孔質(zhì)量高构胰,還需要注意激光焦點(diǎn)位置的選擇暴彻。選擇焦點(diǎn)位置的原則大致是這樣:對于比較厚的材料,激光束焦點(diǎn)位置應(yīng)位于工件的內(nèi)部莱衍,如果材料比較薄冬魏,激光束焦點(diǎn)需放在工件表面的上方。這樣的安排會(huì)讓打出來的小孔上下大小基本上一致乍狐,不出現(xiàn)“桶狀”的小孔赠摇。   

  用激光在材料上鉆孔,鉆出的小孔質(zhì)量不僅非常好澜躺,特別是在打大量同樣的小孔時(shí)蝉稳,還能保證多個(gè)小孔的尺寸形狀統(tǒng)一,而且鉆孔速度快掘鄙,生產(chǎn)效率高耘戚。所以嗡髓,除在電子工業(yè)生產(chǎn)中用激光打孔外,其他許多工業(yè)生產(chǎn)部門都在采用收津,比如普通香煙過濾嘴上的小孔饿这、噴霧器閥門上的小孔,也在采用激光加工撞秋。


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