離子滲氮法是由德國(guó)人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。該法是在0.1～10Torr（Torr = 133.3 Pa）的含氮?dú)夥罩姓恍遥誀t體為陽(yáng)極脯燃，被處理工件為陰極，在陰陽(yáng)極間加上數(shù)百伏的直流電壓议慰，由于輝光放電現(xiàn)象便會(huì)產(chǎn)生象霓紅燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面蠢古。此時(shí)，已離子化了的氣體成分被電場(chǎng)加速别凹，撞擊被處理工件表面而使其加熱草讶。同時(shí)依靠濺射及離子化作用等進(jìn)行氮化處理。

　　離子氮化法與以往的靠分解氨氣或使用氰化物來(lái)進(jìn)行氮化的方法截然不同炉菲，作為一種全新的氮化方法堕战，現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于汽車、機(jī)械拍霜、精密儀器嘱丢、擠壓成型機(jī)、模具等許多領(lǐng)域祠饺，而且其應(yīng)用范圍仍在日益擴(kuò)大腔益。

　　離子氮化法具有以下一些優(yōu)點(diǎn)：

　　①由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用络峦，而是利用離子化了的含氮?dú)怏w進(jìn)行氮化處理舰打，所以工作環(huán)境十分清潔而無(wú)需防止公害的特別設(shè)備。因而蒋巡，離子氮化法也被稱作二十一世紀(jì)的“綠色”氮化法叙傅。

　≈谛隆②由于離子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而與以往的氮化處理相比熊赐，可顯著的縮短處理時(shí)間（離子滲氮的時(shí)間僅為普通氣體滲氮時(shí)間的1/3～1/5）弄袜。

　　③由于離子氮化法利用輝光放電直接對(duì)工件進(jìn)行加熱汛滩，也無(wú)需特別的加熱和保溫設(shè)備女溺，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上函绊，達(dá)到節(jié)能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40～70％）敛竭。

　　④由于離子氮化是在真空中進(jìn)行阁最，因而可獲得無(wú)氧化的加工表面戒祠，也不會(huì)損害被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進(jìn)行處理速种，被處理工件的變形量極小姜盈，處理后無(wú)需再行加工，極適合于成品的處理配阵。

　×笏獭⑤通過(guò)調(diào)節(jié)氮、氫及其他（如碳棋傍、氧救拉、硫等）氣氛的比例，可自由地調(diào)節(jié)化合物層的相組成瘫拣，從而獲得預(yù)期的機(jī)械性能亿絮。

　　⑥離子氮化從380℃起即可進(jìn)行氮化處理麸拄，此外壹无，對(duì)鈦等特殊材料也可在850℃的高溫下進(jìn)行氮化處理，因而適應(yīng)范圍十分廣泛实射。

　∑糁小⑦由于離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進(jìn)行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾）磺伍，可大大降低處理成本疯食。

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