超精密加工技術(shù)是適應現(xiàn)代高技術(shù)需要而發(fā)展起來的先進制造技術(shù)，它綜合應用了機械技術(shù)發(fā)展的新成果以及現(xiàn)代電子、傳感技術(shù)、光學和計算機等高新技術(shù)捺信，是高科技領域中的基礎技術(shù)，在國防科學技術(shù)現(xiàn)代化和國民經(jīng)濟建設中發(fā)揮著至關重要的作用欠痴，同時作為現(xiàn)代高科技的基礎技術(shù)和重要組成部分迄靠，它推動著半導體技術(shù)、光電技術(shù)喇辽、材料科學等多門技術(shù)的發(fā)展進步掌挚。超精密加工技術(shù)已成為國防工業(yè)研制現(xiàn)代化武器裝備的關鍵技術(shù)，也是衡量一個國家科學技術(shù)水平的重要標志菩咨。

　　1 從現(xiàn)代幾次戰(zhàn)爭的特點認識超精密加工技術(shù)的重要性

　　從上個世紀九十年代開始的幾次局部戰(zhàn)爭中吠式，包括第一次海灣戰(zhàn)爭(1992年)、科索沃戰(zhàn)爭(1996年)抽米、阿富汗戰(zhàn)爭(1999年)以及剛剛結(jié)束的第二次海灣戰(zhàn)爭(2003年)特占，世界各國已經(jīng)越來越清楚地認識到高科技對戰(zhàn)爭進程及最終結(jié)果的影響。如果說過去的戰(zhàn)爭主要靠“數(shù)量”和“速度”的話缨硝，現(xiàn)在高科技、智能化武器則起了決定作用罢低。高技術(shù)谎拴、智能化武器具有高能效、高精度等特點和月，武器的高精度必然要求其元部件的高精度呐品，從而必須具備高精度的制造技術(shù)才能生產(chǎn)出來。美國及其盟國正是由于多年來大力發(fā)展包括超精密加工技術(shù)在內(nèi)的先進制造技術(shù)，突破了制造技術(shù)中的許多關鍵使其發(fā)展到實用階段垒汉，才具備了生產(chǎn)精確制導辱滤、夜視設備等高技術(shù)武器的能力。

　　1.1 精確制導武器的大量使用和超視距攻擊能力的提高

　　剛剛結(jié)束的第二次海灣戰(zhàn)爭與第一次海灣戰(zhàn)爭盛闻、科索沃以及阿富汗戰(zhàn)爭相比沽贸，使用精確制導炸彈的比例已經(jīng)從6.8%、34%悼晨、66%上升到這次的接近100%抑昨，制導方式也由慣性制導(INS)向激光制導、數(shù)字景像匹配末端制導以及全球衛(wèi)星定位系統(tǒng)(GPS)制導方式發(fā)展蛙梆，其中應用最廣的激光制導中所用的許多激光元件如激光反射鏡赚铅、激光陀螺腔體、非球面透鏡等都要求非常高的精度和表面質(zhì)量扶踊，這些元件將直接影響到制導精度泄鹏。激光反射鏡的高精度高反射率的平面、數(shù)字景像匹配末端制導需用的紅外探測及接受秧耗、紅外成像(碲鎘汞)等要求的高表面質(zhì)量平面备籽，只能通過超精密研磨才能進行高質(zhì)量批量生產(chǎn)，而非球面反射鏡和透鏡可利用CNC 超精密車削绣版、磨削及拋光制成胶台。

　　機載雷達是空中超視距攻擊的關鍵，其中微波器件波導管的制造技術(shù)對雷達性能有重要影響杂抽，波導管的品質(zhì)因素與其表面粗糙度诈唬、精度有關，用超精密車削技術(shù)可以較容易地保證要求缩麸，從而最終保證雷達的性能铸磅。

　　1.2 夜戰(zhàn)能力的提高

　　夜戰(zhàn)是未來戰(zhàn)爭空襲的主要手段，它可以使許多不受電子干擾而使用光學瞄準系統(tǒng)的常規(guī)武器失效杭朱，從而減小攻擊方的傷亡阅仔。夜戰(zhàn)中可利用前視紅外探測器、激光測距器窑笑、微光夜視以及光柵電視等清楚的看到地面成像秕射。夜視設備的使用包含直升機、裝夾車輛综界、導彈瞎角、人員等。由于沙漠氣候炎熱贴祷，為了便于晚間作戰(zhàn)覆靖，這次海灣戰(zhàn)爭中美國為每個士兵都配備了高清晰度的夜視設備攒筛，而且與前幾次戰(zhàn)爭相比重量大大減輕(400g)，可以直接固定在頭盔上午禽，從而提高了士兵作戰(zhàn)的靈活性鸳辈。上述裝置中，紅外成像是關鍵技術(shù)绿锋，其中關鍵元件碲鎘汞晶體要求很高的表面質(zhì)量(低粗糙度崩旱、無劃痕、無變質(zhì)層)昼接，需要用特殊的超精密研磨(如非接觸研磨爽篷、機械化學研磨等)加工。夜視設備中同樣用到了非球面曲面光學元部件慢睡。

　　1.3 電子對抗技術(shù)的進步

　　第二次海灣戰(zhàn)爭美軍大量使用了電子干擾和反輻射導彈壓制了伊軍的通訊與雷達逐工，使伊軍徹底失去了指揮、預警等能力漂辐，由于各地駐軍失去了與指揮部的聯(lián)系泪喊，只能各自為戰(zhàn)，所以美軍的進展異常順利髓涯。電子對抗中本方的電子裝備必須具有極好的抗干擾能力與快速反應能力袒啼，利用砷化鎵半導體制成的大規(guī)模集成電路與傳統(tǒng)的半導體硅相比，具有速度快纬纪、工作可靠蚓再、抗輻射能力強等特點。砷化鎵半導體器件的制造需要一整套超精密磨削包各、研磨摘仅、拋光工藝以及刻劃等外延設備。此外问畅，美國軍用大規(guī)模集成電路的刻劃必須要有一整套超精密加工及微細加工設備谍益。

　　1.4 軍用衛(wèi)星系統(tǒng)的發(fā)展

　　現(xiàn)代戰(zhàn)爭已經(jīng)不能離開各種衛(wèi)星，如偵查用間諜衛(wèi)星款萎、GPS 用的衛(wèi)星網(wǎng)等逐点。目前世界上正在運行的衛(wèi)星導航定位系統(tǒng)有美國的全球定位系統(tǒng)(GPS) 和俄羅斯的G23N4SS，二者都提供軍碼和民碼兩種信號饭里，主要用于戰(zhàn)機及作戰(zhàn)部隊的導航定位辞垦、精確制導以及救援服務等用途，與第一次海灣戰(zhàn)爭相比健乾，GPS 制導占精確制導的比例已由10%提高到這次海灣戰(zhàn)爭的90%怎棋，而且與激光制導相比，GPS 制導具有精度更高具椒，不受氣候條件等外界因素干擾等優(yōu)點坎扰。但美、俄目前GPS 開放的僅僅是民碼斧壮，如果不盡快發(fā)展本國的衛(wèi)星導航定位系統(tǒng)物虑，勢必在未來戰(zhàn)爭中受制于人，處于被動挨打的局面蔬咬，我國近年來也開始研制導航定位衛(wèi)星正是在努力改變這種局面鲤遥。

　　衛(wèi)星上的姿態(tài)控制極為重要，必須有超精密的真空無潤滑軸承林艘，其孔軸幾何精度為毫微米級盖奈，表面粗糙度為納米級，必須用超精密磨削與研磨才能達到狐援。此外對于偵查用的間諜衛(wèi)星钢坦，必須裝備先進的光學望遠系統(tǒng)、高分辨率電視攝像系統(tǒng)啥酱、高靈敏度紅外成像系統(tǒng)等爹凹，這其中高精度非球面透鏡、高分辨率電視中的光柵镶殷、紅外成像的碲鎘汞半導體元件等都必須用超精密加工技術(shù)才能制造出來禾酱。GPS系統(tǒng)中也要求具有抗干擾、反應快等特點绘趋，同樣也離不開砷化鎵半導體制成的大規(guī)模集成電路颤陶。

　　1.5 軍用微型武器系統(tǒng)是未來的發(fā)展趨勢

　　微小型武器是20世紀90年代美國等先進工業(yè)國家開始發(fā)展的新概念武器，它不但在基礎理論静冯、設計肿功、制造與計量測試技術(shù)等方面是革命性創(chuàng)新，而且對21世紀戰(zhàn)爭的模式將會帶來變革性的影響造蒋”巴校基于微米、納米篱辫、微機電系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展起來的微小型武器技術(shù)的內(nèi)涵是:根據(jù)微小型武器特殊功能和特性势粱，應用微機電系統(tǒng)(MEMS)、計算機彪珍、感知食土、控制等先進技術(shù)，通過軟屿拴、硬件接口医熊，綜合集成為微小型武器系統(tǒng)的光機電一體化技術(shù)。

　　微小型武器的種類主要包括微型飛行器笤茴、微小型水下無人潛器蚯唱、微小型軍用機器人技術(shù)文宜、微小型偵察傳感器系統(tǒng)。微小型武器具有以下重大作用:微小型無人武器由于體積小哗蜈、隱蔽性好前标、快速反應、機動性好距潘、生存能力強炼列、成本低等特點，特別適用于城市和惡劣環(huán)境下(如核音比、生俭尖、化戰(zhàn)場等)的局部戰(zhàn)爭。

　　由于微小型武器系統(tǒng)的發(fā)展洞翩，許多非硅材料以及其他結(jié)構(gòu)材料的應用稽犁，只靠傳統(tǒng)的(光刻掩模、電鑄骚亿、LIGA等)MEMS加工工藝已經(jīng)無法滿足要求缭付，而普通精密加工又無法滿足尺度及精度的要求，所以可以利用超精密加工技術(shù)的特點循未，對一些非硅結(jié)構(gòu)材料進行加工陷猫，滿足使用要求。

　　2 超精密加工技術(shù)的發(fā)展思路及面臨的任務

　　2.1 超精密加工技術(shù)的發(fā)展思路

　　對于超精密加工技術(shù)來說岩哥，最大的需求就是國防軍事工業(yè)在轮。我國的超精密加工技術(shù)與國外，特別是美复罕、俄等發(fā)達國家相比铣碴，落后較多，面臨的最大任務是根據(jù)目前的需求如何在較短的時間內(nèi)盡快提高超精密加工技術(shù)(包括設備及工藝)的水平塑业，使之能夠適應應用要求箱仰。主要包括以下幾個方面:

　　重視超精密加工工藝和特種超精密加工設備的研究

　　美國、俄羅斯在超精密加工技術(shù)的研究上發(fā)展思路完全不同低柑。美國充分利用其科技優(yōu)勢屁膝，研制了一系列先進的超精密加工設備和超精密檢測儀器，利用這些先進的設備加工出高精度的零件汉统。而俄羅斯則很少有非常先進的超精密加工設備穷歹，但是同樣能夠加工出所需的高精度零件，原因在于它掌握著先進的工藝暂畴。例如從有關資料分析俄羅斯研磨機的性能指標并不先進段直，甚至不如國內(nèi)某些實驗室設備，但是他們有自己獨特的工裝夾具以及研磨工藝溶诞，最終加工零件的精度及其穩(wěn)定性卻優(yōu)于國內(nèi)鸯檬。所以根據(jù)我國的國情决侈，盲目地靠引進先進設備和儀器只能受制于人，況且許多超精密加工設備儀器禁運喧务。而在一定時期內(nèi)要靠自行研制所有超精密加工設備和儀器也不現(xiàn)實颜及，所以應該走俄羅斯的路子，即重視超精密加工工藝的研究蹂楣。

　　國內(nèi)目前還有進口了先進設備，卻由于工藝不過關無法加工出合格的產(chǎn)品的例子讯蒲，如Nanoform250非球面超精密加工設備國內(nèi)引進了有多臺痊土，但只有某家研究所由于有以前的工藝經(jīng)驗而使用效率以及使用效果較好。

　　對于一些特殊要求零件的加工墨林，可以在現(xiàn)有成熟的超精密元部件如超精密主軸赁酝、高精度導軌等基礎上，并利用模塊化技術(shù)旭等，研制一些特種超精密加工設備酌呆，這樣既能縮短研制周期，又能降低研制成本明疮。

　　注重降低超精密加工技術(shù)研究成本忱脆，擴展超精密加工技術(shù)的應用范圍

　　由于超精密加工技術(shù)的研究需要潔凈的環(huán)境、嚴格的溫度控制儡矫、昂貴的加工設備及檢測設備圈蔬，這一切都需要高投入，這在一定程度上限制了其研究和應用角殃「宋剑可以通過各種途徑，例如應用模塊化技術(shù)降低超精密加工設備研制成本险丧，采用局部小環(huán)境控制技術(shù)降低對整體環(huán)境的控制成本等歼虽。在此基礎上，可以將先進的超精密加工技術(shù)應用于某些民用行業(yè)愧鹊，取得較好的經(jīng)濟效益而灸。

　　在國防預研的基礎上，加強應用性以及可靠性惩赊、快速響應性的研究

　　我國在八五队魏、九五期間，在國防預研上取得了一些具有先進水平的成果万搔，但是目前這些成果還局限于實驗室胡桨，離實際工程應用還有一定距離，或者說其加工效率以及穩(wěn)定性還有待提高瞬雹。所以在繼續(xù)重視先進技術(shù)預研的同時昧谊，更重要的是加強成果的應用刽虹，使之能夠及時服務于先進武器裝備系統(tǒng)和其它民用行業(yè)。

　　需求為牽引呢诬，強強聯(lián)合

　　由于超精密加工技術(shù)的研究是一項需要高投入的項目涌哲，所以國內(nèi)各單位不能各自為戰(zhàn)，應當充分發(fā)揮國家重點實驗室的龍頭作用尚镰，聯(lián)合行業(yè)內(nèi)的人力阀圾、物力努力提高我國的超精密加工水平。此外在現(xiàn)階段狗唉，根據(jù)我國的實際情況初烘，進行超精密加工技術(shù)的研究應該強調(diào)以需求為牽引，這樣可以爭取更大的投資音哟，也才可能更快地取得成果貌授，直接應用于武器型號任務。

　　2.2 超精密加工技術(shù)目前面臨的研究任務

　　超精密加工設備及工藝的研究

　　經(jīng)過多年的努力犯渣，國內(nèi)超精密加工設備的研制已經(jīng)初具規(guī)模势嫁，包括非球面曲面復合加工系統(tǒng)在內(nèi)的許多設備的指標已經(jīng)達到或接近世界先進水平，但是從設備的可靠性甥轿、可操作性等方面來看還有一定的差距水芍，如何更好地發(fā)揮設備的作用，需要進一步的人力绿相、物力投入脆携。例如，本實驗室的nanosys-300非球面曲面復合加工設備2003 年5 月交付用戶后豌魏，一直在生產(chǎn)一線服務瞭核，已經(jīng)加工了多批型號任務零件，從加工精度等方面來說完全能滿足用戶要求唉私，但是從其他方面绎蒙，例如可操作性、可靠性等方面還有許多改善余地捻爷。所以應加強超精密加工技術(shù)可靠性辈灼、實用性技術(shù)的研究。

　　隨著科技的發(fā)展也榄，將有更多先進的新型功能材料及結(jié)構(gòu)材料得到應用巡莹，包括新型高強度、高硬度材料甜紫、智能材料降宅、新型半導體材料等，首先要解決的是其加工問題。例如在衛(wèi)星相機上用的SiC 增強復合材料的加工工藝的研究腰根，紅外材料諸如鍺激才、單晶硅、氟化鈣玻璃的超精密車削工藝研究额嘿，KDP 晶體(激光核聚變)飛切加工工藝的研究等瘸恼。

　　復雜曲面超精密加工及檢測技術(shù)研究

　　非球面零件的應用十分廣泛，它可以減輕光學系統(tǒng)重量册养，提高成像質(zhì)量东帅，提高系統(tǒng)的可靠性。特別是非軸對成非球面曲面的應用修梭，更是將整個系統(tǒng)的性能大大提升茴茁，目前國內(nèi)還不能加工此類曲面。

　　大中型非球面曲面超精密加工設備及工藝研究

　　目前國外對于非球面的加工設備已經(jīng)部分解禁澳敞，如Nanoform250 國內(nèi)已經(jīng)進口了幾臺，但是對于加工口徑在300mm 以上的非球面加工設備嚴格禁運硫薇，但是這部分零件數(shù)量在某些行業(yè)占有相當大的比例宴宠，所以盡快研制中大型非球面曲面超精密加工設備已經(jīng)成為當務之急。包括實驗室在內(nèi)的國內(nèi)幾家單位對非球面曲面超精密加工設備及加工工藝的研究已經(jīng)有了一定的技術(shù)積累但治，應在此基礎上聯(lián)合力量集中攻關碾危。

　　非軸對稱光學曲面加工設備的研制(五軸CNC超精密加工中心)

　　非軸對稱光學曲面的性能比軸對稱非球面曲面更加優(yōu)越，目前只有美國习诬、俄羅斯能夠加工此類產(chǎn)品丛铅。國內(nèi)雖有不少大專院校進行了非軸對稱光學曲面各種加工工藝的研究，如用數(shù)控拋光零短、超精密車削等方法壤趴，但是還不能真正加工出產(chǎn)品。所以國內(nèi)應加緊研制五軸CNC 超精密加工中心瑞侮，并在此基礎上進行非軸對稱光學曲面加工工藝的研究的圆。

　　非球面曲面超精密檢測技術(shù)研究

　　非球面檢測技術(shù)是光學非球面加工首先要解決的關鍵問題，特別是針對我國的國情半火，至少在目前還只能靠人工輔助研磨加工光學非球面越妈，測量問題顯得更為突出。只有準確钮糖、快速測量出加工過程中零件的誤差梅掠，工人才有可能相應研磨從而獲得高精度的非球面光學零件。相對于非球面加工技術(shù)來說店归，其測量技術(shù)與國外相比落后更多阎抒。光學非球面檢測技術(shù)應當具備能在鏡面加工過程中迅速判斷面型誤差狀況，隨機反饋給出進一步修正指令，又要解決零件的終了檢驗挠蛉。

　　目前非球面面型測量應用最多的方法是光波的干涉測量法祭示，具有較高的測量精度和較好的空間分辨率。它可以快速進行整個表面的測量谴古，最高分辨率可達到亞納米級质涛。但是對于不同的光學非球面，必須準備相應的光學模板才能進行測量少镇，這套測量系統(tǒng)通常結(jié)構(gòu)非常復雜胯炊。

　　利用全息干涉法可以測量非球面，但是無論是采用標準非球面還是采用計算機生成(CGH)都必須制作一張全息片效荷，而且對于不同方程的非球面就必須有相應的全息片回东。但是直到目前為止國內(nèi)制作全息片的工藝還只局限于一些傳統(tǒng)的工藝，對于非球面超精密測量所需的全息片基本上依賴于進口密士，這極大地限制了光學非球面零件的測試及加工成吓。目前進口一張非球面超精密測量用的全息片大約需要一萬多美金，而且需要告訴對方非球面的方程孙般，對于型號任務這就牽涉到保密等問題切咸。特別是對于一些預研或在研以及沒有定型的項目，由于牽涉到非球面的種類和數(shù)量較大谊蚣，所需經(jīng)費十分可觀玲崩，所以自行研制非球面測量用的全息片已經(jīng)成為當務之急。

　　國外目前最先進的工藝是采用計算機直接生成測量非球面用全息片(Computer generated Hologram)并采用激光直接刻劃技術(shù)(Laser Writing System)制作全息片职鸟，不僅大大降低了制作成本盟步，而且還縮短了制作周期。最典型的樣機德國斯圖加特大學研制的Laserplotter CLWS 300激光刻劃系統(tǒng)躏结，激光記錄點直徑為0.5μm却盘， 徑向坐標定位精度為0.08μm(RMS)，角方向定位精度為0.1s"(RMS)媳拴。

　　高精度激光刻劃系統(tǒng)主要包括以下幾個方面:

　　光學部分:包括激光器谷炸、聲光調(diào)制器、自動聚焦系統(tǒng)以及光路總體設計及布置等禀挫；

　　機械部分:高精度空氣軸承旬陡、高精度運動導軌、隔振平臺等语婴；

　　電控部分:高精度機械系統(tǒng)的運動及定位控制描孟，激光器、調(diào)制器以及自動聚焦的控制砰左，同時包括機械匿醒、光學系統(tǒng)的協(xié)調(diào)控制场航；

　　軟件部分:機械、光學系統(tǒng)的控制軟件抢妈、計算機生成非球面測量用全息片的軟件呼笨。

　　非硅材料三維微小型零件超精密加工技術(shù)的研究

　　MEMS加工技術(shù)主要有從半導體加工工藝中發(fā)展起來的硅平面工藝和體硅工藝。八十年代中期以后利用X射線光刻栖俐、電鑄肪吁、及注塑的LIGA技術(shù)誕生，形成了MEMS加工的另一個體系肥寺。MEMS的加工技術(shù)可包括硅表面加工和體加工的硅微細加工获踏、LIGA加工和利用紫外光刻的準LIGA加工、微細電火花加工(EDM)糯敢、超聲波加工行贤、等離子體加工、激光加工瞎弥、離子束加工播瓦、電子束加工、立體光刻成形等祝鞍。

　　但是構(gòu)成這些微型機械的零件是各種各樣而紛繁復雜的众琼，要想使微型機械性能真正地過關并達到實用的程度，必須要盡快地提高微型機械零件的制造工藝與設備的水平搅窿。目前微型機械零件的制造工藝最為成熟的技術(shù)就是光刻嘁酿，許多經(jīng)典的微型機械零件制造的成果隙券，基本上都是采用光刻或電鑄技術(shù)完成的男应。然而這些成熟的工藝方法所加工的微型機械零件只能是二維的(或準三維)，而實際真正的三維形狀零件用光刻技術(shù)是完成不了的娱仔。在微型機械中沐飘，存在著許多三維的微小零件，如微型模具牲迫、直徑為70μm的微小螺紋耐朴、微型齒條、直徑為50μm的銷子盹憎、各段直徑分別為200μm筛峭、100μm、50μm的階梯軸陪每、外徑為300μm的旋轉(zhuǎn)拋物面等影晓，這些典型的三維微小零件的加工，不僅用光刻檩禾、三束加工等工藝方法實現(xiàn)不了捉瘟，用傳統(tǒng)的機械制造系統(tǒng)也是不可能實現(xiàn)的。因此，必須針對三維微小機器的特點铲锭，開發(fā)和研制微型制造系統(tǒng)职菜，在這種新概念制造系統(tǒng)中實現(xiàn)微小機器零件的加工、檢測和裝配欲华。由微小型設備組成的制造微小型機器的系統(tǒng)稱為微型制造系統(tǒng)兰险，其中技術(shù)難題包括微小型機器零件的加工、檢測和裝配等仇韩，關于這方面的研究工作主要集中在日本和美國睁衰。日本在這方面首先提出了微型桌面工廠的概念。

　　但是加工微機械零件不一定非要用微型加工機床塌纯，例如加工儀表零件機床的特點并不是其體積有多小蝴趾，而是與普通機床相比精度較高。所以微機械零件的機械加工設備的最關鍵指標是機床的精度隆肪，況且一味地追求減小機床體積只能加大成本愿味。超精密加工技術(shù)由于其加工精度高、切削力小等特點怀樟，特別適合進行微機械零件的加工功偿，這也將為微機械零件的加工開辟了一條新的途徑。

　　超精密加工技術(shù)的最大的需求是先進的武器裝備系統(tǒng)往堡，軍事需求直接推動著超精密加工技術(shù)的發(fā)展械荷。針對我國目前超精密加工技術(shù)領域的發(fā)展狀況，應根據(jù)國情加大對超精密加工工藝以及特種超精密加工設備的研究虑灰，并力圖降低超精密加工技術(shù)的成本吨瞎，拓寬超精密加工技術(shù)的應用領域。

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