精密、超精密加工是個(gè)相對(duì)概念真竖，而且隨著工藝水平的普遍提高，不同年代有著不同的劃分界限厌小，但并無嚴(yán)格統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)恢共。從目前機(jī)械加工的工藝水平來看，超精密加工一般指加工精度<0.3μm璧亚，表面粗糙度Ra值<0.03μm的加工柴炉。同時(shí)也包含加工尺寸在微米級(jí)的微細(xì)加工。

圖1a　超精密切削加工機(jī)床示例（圖為SHPERE-200超精密球面鏡機(jī)床）

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展价岭，特別是許多高新科技的發(fā)展青竹，使超精密加工的市場需求呈現(xiàn)出如下的特點(diǎn)：

要求超精密加工的機(jī)電產(chǎn)品元器件越來越多，不僅有傳統(tǒng)的光學(xué)零件冗吟、塊規(guī)等俱报，而且有現(xiàn)代IT中廣泛采用之大規(guī)模集成電路的各種芯片，計(jì)算機(jī)用的磁盤演侍、光盤哼狰，復(fù)印機(jī)用的磁鼓；核聚變用的激光反射鏡色递；導(dǎo)彈制導(dǎo)系統(tǒng)用的激光反射鏡痊追；導(dǎo)航用的陀螺儀腔體；氣浮和靜電陀螺儀的球狀支承寂贱；人造衛(wèi)星姿態(tài)控制用的過半球體褒堆；衛(wèi)星澡呼、航天器上各種儀器儀表用的真空無潤滑軸承滋饲；全球定位系統(tǒng)（GPS）和電子對(duì)抗技術(shù)中用的砷化鎵半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路；紅外夜視設(shè)備喊巍、大型天文望遠(yuǎn)鏡和太空望遠(yuǎn)鏡中用的球面和非球面光學(xué)透鏡屠缭，以及多種軍、民使用的高新科技產(chǎn)品中的精密零部件等崭参。

相同品名的元器件要求超精密加工的數(shù)量越來越大呵曹。例如有些品名，以前只是單件或小批生產(chǎn)何暮，用于實(shí)驗(yàn)性的產(chǎn)品上奄喂，現(xiàn)在則要求批量乃至大批量規(guī)模生產(chǎn)，用在軍海洼、民使用的高新科技產(chǎn)品上跨新，如大規(guī)模集成電路用的硅片富腊、磁盤、磁鼓等域帐，年需求量數(shù)以百萬赘被、千萬件計(jì)。

要求超精密加工的表面形狀越來越復(fù)雜赚朱，精度要求也越來越高砍篇。其中不僅有平面、圓柱面谁班，還有球面笛蛋、非球形曲面、拋物面等诊乐。其面形精度一般都要求控制在加工尺寸（用mm表示）的10%（用nm表示粘胧，實(shí)質(zhì)上是百萬分之一）以內(nèi)，也就是說赚懊，加工?100mm直徑的外圓時(shí)诅潮，加工圓度要求要控制在100×10%=10nm以內(nèi)。加工的表面粗糙度Ra值則在2nm~10nm之間你朝。

要求超精密加工的材料也越來越廣泛胜全；不僅有黑色金屬、有色金屬爪只、還有玻璃琅功、陶瓷和各種半導(dǎo)體材料，如硅先嬉、砷化鎵轧苫、碲鎘汞晶體等。

要求超精密加工的零件尺寸在向大型（?2m以上）和微型（微米疫蔓、納米級(jí)）兩極發(fā)展含懊。

總而言之，超精密加工的市場需求在迅速擴(kuò)大衅胀。目前雖無直接的數(shù)據(jù)說明岔乔，但有一些數(shù)據(jù)也可以作為佐證的。例如滚躯，目前以半導(dǎo)體IC為基礎(chǔ)的電子信息產(chǎn)品的世界貿(mào)易額已達(dá)到一萬億美元雏门，是世界第一大產(chǎn)業(yè)；2003年中國的電子電訊設(shè)備制造業(yè)的產(chǎn)值達(dá)14917.6億元人民幣掸掏。全球的IC有90%以上都要采用硅片茁影，而大規(guī)模和超大規(guī)模的IC芯片（主要為硅片）都要用超精密加工來進(jìn)行生產(chǎn)。美國為了部署戰(zhàn)略導(dǎo)彈防御系統(tǒng)和發(fā)展先進(jìn)武器，大大增加國防開支募闲；許多國家也為了自身的安全和防衛(wèi)而提高對(duì)高新科技研發(fā)的投入和國防費(fèi)用茄唐，所有這些將擴(kuò)大對(duì)超精密加工的市場需求。

實(shí)現(xiàn)超精密加工基本條件

為了能實(shí)現(xiàn)超精密加工并獲得預(yù)期的加工效果膳庵，必須具備下述基本條件：

被加工工件的材質(zhì)要密實(shí)辐芍；各向的同一性要好（最好為單晶）；表層硬度和彈性模量要恒定一致描休；可加工性要好掷戚；材料的化學(xué)成份與機(jī)械物理性能對(duì)標(biāo)準(zhǔn)值的偏差不應(yīng)超過0.1%。

選用的超精密加工工藝方法要與被加工材料相匹配肥册。例如弃理，有色金屬材料（如銅蹋盆、鋁合金）宜用單點(diǎn)金剛石刀具進(jìn)行車削或銑削加工动院；黑色金屬材料（如鋼等）則宜選磨削與研汪请、拋等工藝，否則得不到預(yù)期的加工效果等啼康。

加工環(huán)境要嚴(yán)格恒溫厅揍、隔振和凈化。恒溫室（第一分隔區(qū)）中的溫度波動(dòng)不得大于±0.1°C凑逗；加工區(qū)（第二分隔區(qū)）中則不應(yīng)超過±0.01°C弹惦；環(huán)境的相對(duì)濕度要保持在40%±10%以內(nèi)；大氣壓力（如用激光測量儀時(shí)）應(yīng)保持1MPa±0.1%悄但；機(jī)床地基的隔振系統(tǒng)固有頻率<2Hz棠隐；加工區(qū)的凈化度應(yīng)為每立方英尺中大于0.1μm的微粒含量應(yīng)不多于10顆。

具有能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)（1nm ~10nm）增量進(jìn)給的機(jī)床和分辨力優(yōu)于0.1nm的測量設(shè)備檐嚣，如激光干涉儀助泽，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。

超精密加工的工藝方法

根據(jù)被加工件的材料和形面的不同嚎京，常用的超精密加工工藝方法主要分三大類：切削加工法嗡贺、磨削加工（含研、拋）法和電物理加工法挖藏。

切削加工法

切削加工法主要是采用優(yōu)質(zhì)的天然金剛石作刀具的切削刃暑刃，對(duì)有色金屬厢漩、玻璃或陶瓷工件進(jìn)行車削和銑削加工膜眠，可以加工端面、球面和拋物面等曲面（圖1b）溜嗜。

圖1b　超精密切削加工形面示例（圖為各種鏡面切削加工的形面）

超精密車削加工中宵膨，金剛石刀具的刃磨是關(guān)鍵。刀尖的圓弧半徑應(yīng)為被加工表面要求值的五分之一左右，一般γc小于10nm兔憨，用鑄鐵研具進(jìn)行研拋時(shí)盛媚，可獲得γc=3~5nm。再小的γc值則要用離子束加工來獲得扶楣。實(shí)踐證明撤忆，采用這樣的刀具，便于切削速度在很大（V=120~3600m/min）的范圍內(nèi)變化睬毒，而不影響被加工表面的粗糙度值矿钩。

常選的切削用量是：加工有色金屬時(shí)V=120~4000m/min，加工玻璃或陶瓷時(shí)V=15~120m/min遣株；根據(jù)刀尖圓弧末徑γc值的不同蛀家，進(jìn)給量可在0.1~10μm/r的范圍內(nèi)選取，切削深度則為t=0.05~0.1μm革哄。

在用霧化酒精或溫度可控的礦物潤滑油冷卻的情況下馅溉，高質(zhì)量的單晶金剛石刀具的耐用度（用一次刃磨後切刃可以有效地進(jìn)行切削的長度來衡量）可達(dá)1500km。

切削加工法所能達(dá)到的最高水平：面形精度為0.025μm庭叙、表面粗糙度為Ra=2~4nm劲阎。

磨削加工法

磨削加工法是采用精細(xì)磨粒的砂輪或砂帶進(jìn)行磨削和研、拋的加工鸠真。此法多用于硬度較高的黑色金屬材料加工哪工，也可用于玻璃及陶瓷等非金屬材料的加工。它可以加工比用切削法加工更大的工件表面――平面弧哎、圓柱面雁比、球面和非球面。

圓柱形鏡面通常用磨削方法加工撤嫩，磨削速度選V=25~35m/s偎捎，粗磨時(shí)t=0.02~0.07mm，精磨時(shí)t=3~10μm序攘；當(dāng)用油石研茴她、拋時(shí)，V=10~50m/min程奠，材料的去除速度為0.1μm~1μm/min丈牢。超精磨削可達(dá)到0.01μm的圓度和Ra 0.002μm的表面粗糙度。

球形鏡面研瞄沙、拋時(shí)要求研具保持在被加工表面的法向上已箫，有兩種保證方法（如圖2a所示）：一是通過研具（1）本身的自定位機(jī)構(gòu)來達(dá)到；二是通過采用數(shù)控系統(tǒng)使研磨頭（2）傾斜一φ角來實(shí)現(xiàn)坟荤。

球形鏡面的磨拋加工法是建立在借助激光干涉儀（4）進(jìn)行表面（3）的誤差測量的基礎(chǔ)上（圖2b）蕴节。測量時(shí)饼尾，激光干涉儀沿X和Y坐標(biāo)移動(dòng)，或沿X贷弧，Y中之一的方向移動(dòng)和工作臺(tái)（5）轉(zhuǎn)動(dòng)谐昌，鏡面誤差的測量結(jié)果被記錄在模擬量或數(shù)字量的記憶裝置中，然後進(jìn)行處理窟潜。根據(jù)來自數(shù)控系統(tǒng)的指令磨頭（研具）被移動(dòng)到標(biāo)有對(duì)給定面形誤差最大的偏差處并磨除材料筒啄。之後表面被重新檢測和重復(fù)加工工序。就這樣以逐步趨近的方法去達(dá)到所要求的面形精度翅栖。

平面形鏡面的加工主要采用磨削和研拋工藝方法來加工伴零，目前此法所能達(dá)到的最高平面度<0.2μm/300mm，表面粗糙度Ra<1nm区膨。

電物理加工法

電物理加工的方法有多種感桌，其中獲得最廣泛應(yīng)用的是電磨料拋光和離子束表面加工。前者的實(shí)質(zhì)是使電解加工過程中所產(chǎn)生并留下的氧化膜由磨料從被加工表面上去掉以獲得鏡面馋袜；後者則是借助離子發(fā)生器射出的離子束對(duì)表面進(jìn)行研男旗、拋。

離子束表面加工法如圖3所示：經(jīng)過預(yù)磨削加工的工件（2）被放置入真空度保持在1.33×10-3Pa的真空室（1）中欣鳖，離子發(fā)生器（8）射出的離子束以高達(dá)30K電子伏的強(qiáng)度作用在被加工的表面上察皇，并以1μm ~5μm/h的速率去除表層材料，從而達(dá)到10nm乃至更高的形狀精度泽台。

在工作過程中什荣，離子發(fā)生器（8）射出的離子束打在工件上的強(qiáng)度和加工過程均由計(jì)算機(jī)（6）及程序軟件（5）來實(shí)現(xiàn)，而根據(jù)激光干涉儀（9）對(duì)被加工表面形狀的檢測結(jié)果怀酷，借助驅(qū)動(dòng)裝置（12）來調(diào)節(jié)光欄（掩蓋物）（11）改變離子束強(qiáng)度稻爬，通過控制器（7）控制離子發(fā)生器（8），通過驅(qū)裝置（3）和（4）控制工件位置蜕依，并由傳感器（10）來測量和控制真空室（1）中的溫度桅锄，使之保持恒定。

除上述方法之外样眠，還有其他的超精密復(fù)合加工方法友瘤，如電火花成形加工後繼而采用的流體拋光法、電化學(xué)拋光法肩蹬、超聲化學(xué)拋光法虏向、動(dòng)力懸浮研磨法、磁流體研磨法以及采用ELID技術(shù)的磨削法等深酗。采用ELID技術(shù)進(jìn)行光學(xué)玻璃非球面透鏡加工時(shí)面形精度可達(dá)0.2μm皇腮，表面粗糙度則達(dá)Ra=20nm。

超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)與制造

超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)與制造的關(guān)鍵與核心問題是保證超精密加工工藝和目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)姚继。因此赊蚁，超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)和制造的基本原則和要求是：消除或減少機(jī)床上的熱源和振源窟诈；提高機(jī)床的結(jié)構(gòu)剛度和幾何精度几馁；減少機(jī)床的變形（含溫度變形和力變形）對(duì)機(jī)床加工精度的影響等某尘。為了實(shí)現(xiàn)這些基本原則和要求，超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)時(shí)钙阐，經(jīng)常采取的一些原則措施有：

首先是盡量不用或少用摩擦發(fā)熱量大的傳動(dòng)裝置（如機(jī)械無級(jí)調(diào)速器）厦鸠，并把工作過程中發(fā)熱量大的熱源（如電機(jī)、冷卻潤滑油箱等）與機(jī)床本體結(jié)構(gòu)分離或隔熱颁吭，以避免熱量落入機(jī)床本體引起機(jī)床結(jié)構(gòu)的熱變形塘坛。

表1　可用作超精密加工機(jī)床重要零部件的材料

選用熱脹系數(shù)α和導(dǎo)熱系數(shù)λ值低的材料作機(jī)床的重要零部件材料。這樣的材料如表1所示殃恒。與此同時(shí)也要盡量采用熱物理特性相同或相近的材料來制造機(jī)床的構(gòu)件和零部件植旧。

零部件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)力求熱對(duì)稱，而且應(yīng)考慮采取強(qiáng)迫的風(fēng)冷或液體冷卻并預(yù)留相應(yīng)的冷卻液循環(huán)流動(dòng)通道离唐。當(dāng)冷卻的尺寸范圍在200mm~1500mm時(shí)病附，風(fēng)的流量應(yīng)為（3~10）m3/s或液體的通量為（1~10）L/s，從而可分別保持溫度波動(dòng)為±0.05°C和±0.02°C亥鬓。對(duì)個(gè)別強(qiáng)熱源處（如主軸軸承）所產(chǎn)生的熱量完沪，必要時(shí)可采用專門的熱管帶走。

超精密加工機(jī)床不僅要考慮安裝和工作在恒溫室里嵌戈，而且在極高精度要求的情況下覆积，還應(yīng)考慮控制機(jī)床工作在溫度
±0.01°C的油淋浴的恒溫箱中，因此熟呛，機(jī)床的工作過程必須是完全自動(dòng)或遙控的宽档，不能有人在現(xiàn)場，以免人的活動(dòng)和體溫對(duì)環(huán)境條件產(chǎn)生影響庵朝。

為了避免振動(dòng)影響加工精度雌贱，除了機(jī)床必須安裝在由空氣支承、彈簧支承或其他有效的隔振器支承的地基上外搜栽，機(jī)床上的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)件也要嚴(yán)格進(jìn)行動(dòng)平衡爸桨，殘馀不平衡量應(yīng)小于0.5~1g.mm。與此同時(shí)贱供，為了消除和減少機(jī)床本身內(nèi)部振源评梁，要盡量采用運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)的傳動(dòng)系統(tǒng)，如非接觸的氣動(dòng)和液體傳動(dòng)犁鹤，禁止或避免采用帶有沖擊力的傳動(dòng)责肯，如有間隙的換向機(jī)構(gòu)等。

通過振源振動(dòng)頻率的調(diào)整（如改變轉(zhuǎn)速）或通過對(duì)機(jī)床工藝系統(tǒng)的質(zhì)量（m）和彈簧剛度（k）等動(dòng)力參數(shù)的選擇使振源的振動(dòng)頻率與機(jī)床工藝系統(tǒng)的固有頻率相互遠(yuǎn)離舞轧，避開共振區(qū)诬翩，減少振動(dòng)對(duì)機(jī)床工作的影響使宽。

選用具有高內(nèi)阻尼系數(shù)的材料，如天然大理石贫巴、人造大理石厦嘹、陶瓷等或采用不清砂的雙層壁鑄鐵件作為機(jī)床的結(jié)構(gòu)件，以保證高度衰減內(nèi)部產(chǎn)生和外部傳來的振動(dòng)炕婶，因?yàn)檎駝?dòng)衰減的效果正比于阻尼系數(shù)（即衰減指數(shù)）姐赡。正常情況下，鑄鐵的衰減指數(shù)為0.006~0.008柠掂，而天然大理石和人造大理石的衰減指數(shù)則分別為0.02~0.04和0.06~0.08项滑；不清砂的雙層壁鑄件可以大大增加結(jié)構(gòu)的內(nèi)阻尼，因而可大大提高衰減振動(dòng)的效果涯贞。

主軸部件設(shè)計(jì)的關(guān)鍵指標(biāo)是回轉(zhuǎn)精度和剛度枪狂，為此優(yōu)先采用帶有溫控的低噪音主軸電機(jī)并通過扭矩或各種電磁的和薄膜的聯(lián)軸節(jié)與主軸聯(lián)接進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，主軸軸承則采用具有自定位功能的球面氣浮或液體靜壓軸承結(jié)構(gòu)宋渔。用此結(jié)構(gòu)的主軸精度（徑向和軸向跳動(dòng)）可達(dá)0.01μm州疾。當(dāng)工作壓力為0.3MPa~0.6MPa時(shí)，氣浮軸承的平均剛度為200N~400N/μm傻谁，液體靜壓軸承則為600N~1000N/μm孝治。但為了主軸跳動(dòng)不超過0.05μm，供油壓力的波動(dòng)值不應(yīng)大于0.01MPa审磁，油溫波動(dòng)也不應(yīng)大于0.05°C谈飒。

進(jìn)給傳動(dòng)的設(shè)計(jì)主要要求是：保證能有效進(jìn)行誤差動(dòng)態(tài)補(bǔ)償?shù)膿Q向精度；可實(shí)現(xiàn)最小5nm的脈沖位移态蒂；采用修正系統(tǒng)後具有2nm的高定位精度隅昌。為此，可供選擇的進(jìn)給傳動(dòng)方式有以下幾種：

－滾珠絲杠副赤蚜。特點(diǎn)是剛度大琼护，可實(shí)現(xiàn)的增量位移為100nm（即0.1μm）。

－摩擦傳動(dòng)屁爵。傳動(dòng)剛度為50N~100N/μm菌熬，拉力達(dá)100N，可實(shí)現(xiàn)的移動(dòng)增量為5nm晚神。缺點(diǎn)是壽命低炊撕，不夠靈敏。

－條（帶）傳動(dòng)饮协。僅適合在小型機(jī)床上用秦物。

－壓電和磁致伸縮傳動(dòng)。移動(dòng)量可小于5nm啰价，但總的行程量很小猿文，只有100~200μm聂映，故多數(shù)情況下它是與其它傳動(dòng)方式（如滾珠絲杠副）組合使用。

－自定位靜壓絲杠副棚贾。特點(diǎn)是由于齒形角薪盐（只有10°），故剛度大（達(dá)100N~1000N/μm）和可實(shí)現(xiàn)微小的增量位移鸟悴。缺點(diǎn)是保證油溫和油壓穩(wěn)定的系統(tǒng)較復(fù)雜陈辱。

－增量式液壓傳動(dòng)奖年。剛度可達(dá)600N/μm细诸，位移增量80nm，但供油系統(tǒng)復(fù)雜陋守。

－電磁絲杠副傳動(dòng)震贵。它是由涂有稀有材料的磁性混合物的絲杠與帶有線圈的螺母相互作用來實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)∷溃可實(shí)現(xiàn)微小的增量位移猩系，但剛度過低，只有10N/μm中燥。

導(dǎo)軌設(shè)計(jì)寇甸。導(dǎo)軌是超精密加工機(jī)床上保證實(shí)現(xiàn)精密微量進(jìn)給的重要要素之一，雖有多種形式可供選擇疗涉，但采用得最為廣泛的是液體靜壓導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌稀渊。前者的剛度可達(dá)6KN~8KN/μm，并能保證位移精度0.02μm~0.04μm/400mm行程图漓；後者的剛度為1KN~2KN/μm铐跷，當(dāng)氣膜厚度為4μm~8μm時(shí)，也能保證與液體靜壓導(dǎo)軌一樣的位移精度肄朵。液體靜壓和氣浮導(dǎo)軌的直線性均可高達(dá)0.02μm/100mm涧兜。

在總體布局設(shè)計(jì)上，超精密加工機(jī)床的結(jié)構(gòu)應(yīng)分成承載部分和計(jì)量部分贰漱。此時(shí)筹飒，機(jī)床所能實(shí)現(xiàn)的精度在很大程度上取決于測量系統(tǒng)的有效性。因此簸悟，一般采用像激光干涉儀這樣的高精度葡债、高分辨率的儀器作測量裝置，并將其單獨(dú)安裝在氣浮支承的計(jì)量支架上提甚，而且不僅安裝測量裝置時(shí)要遵守阿貝原理飞灰，在更廣義理解上，也要遵守阿貝原理褪储。阿貝原理要求卵渴，測量軸要接近于刀尖慧域，以便消除按杠桿原理放大誤差的可能性。從這一立場出發(fā)浪读，導(dǎo)軌和測量裝置應(yīng)位于同一水平面上昔榴，在機(jī)床的承載系統(tǒng)中要避開采用懸伸和剛度不恒定的構(gòu)件。

在機(jī)床整體和各部件所完成的功能分配方面碘橘，在多數(shù)情況下互订，一臺(tái)機(jī)床只實(shí)現(xiàn)一種加工方法，每個(gè)部件也只完成一個(gè)固定的功能運(yùn)動(dòng)痘拆。這樣做的目的是簡化機(jī)床結(jié)構(gòu)和更易于根據(jù)精度指標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化仰禽，而無需采取妥協(xié)（折衷）的辦法。――這一點(diǎn)是與目前一般機(jī)床的設(shè)計(jì)發(fā)展趨勢――復(fù)合化纺蛆，擴(kuò)大工藝可能性――是不一樣的吐葵，或者說是正好相反的。

為了保證超精密加工的目標(biāo)順利實(shí)現(xiàn)桥氏，超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)必須考慮采用主動(dòng)控制的隔振系統(tǒng)和在線的誤差自動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)温峭。這是因?yàn)楹茈y保證所要求的零件制造精度，同時(shí)也很難完全消除振動(dòng)和熱因素帶來的負(fù)面影響蛆器。

結(jié)束語

超精密加工是為適應(yīng)現(xiàn)代高新科技發(fā)展的要求而發(fā)展起來的先進(jìn)制造技術(shù)芍惦，它的成功實(shí)現(xiàn)，不僅取決于機(jī)床和植、刀具和工藝方法固鹏，也還取決于測量和控制技術(shù)，即含機(jī)章慌、光逼税、電、傳感技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)等恳繁。它是多種學(xué)科新技術(shù)成果的綜合應(yīng)用惜选，但也對(duì)許多高新科技的發(fā)展與進(jìn)步起著推動(dòng)的作用。因此超精密加工已成為發(fā)展現(xiàn)代高新技術(shù)擎骄，特別是發(fā)展現(xiàn)代武器裝備的基礎(chǔ)技術(shù)且仔，也是衡量一個(gè)國家科技水平的重要標(biāo)志之一。與美俄相比隔屠，中國在這方面還有不少差距凹蜂，如非軸對(duì)稱的光學(xué)曲面加工工藝的可靠性和可操作性等方面。為使中國超精密加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展和提高阁危，除繼續(xù)加強(qiáng)超精密加工工藝和裝備的研究外玛痊，還必須加強(qiáng)測量和控制，特別是對(duì)非軸對(duì)稱的非球曲面等復(fù)雜曲面的測量與控制（如五軸超精密CNC系統(tǒng)）的研究；加強(qiáng)工藝可靠性和可操作性的研究等擂煞。而且開發(fā)研究工作需要跨學(xué)科混弥，跨部門來協(xié)同組織進(jìn)行，以便集中力量（包括人对省、財(cái)蝗拿、物）解決問題。

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