真空泵的選型(1)
1诚摹、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求显蝌。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度当叭,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg属圃。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)轻调。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)叉砰。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍皮匪,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)众抽,泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化涮观,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而尺桅,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)梳让,而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作裂瘤,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好喻名。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下薇雳,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量疚筋。
4、正確地組合真空泵足绅。由于真空泵有選擇性抽氣捷绑,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求氢妈,需要幾種泵組合起來粹污,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求段多。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦厕怜,而三極型濺射離子泵衩匣,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來粥航,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度琅捏。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作递雀,需要預(yù)真空柄延;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵缀程,故都需要把泵組合起來使用搜吧。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求裤狱。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)乒踢,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵殃秽、分子篩吸附泵捡霹、濺射離子泵、低溫泵等瞬拆。如果要求不嚴(yán)格卧袄,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施削父,如加冷阱纸谤、障板、擋油阱等朗夺,也能達(dá)到清潔真空要求讲稀。
6、了解被抽氣體成分背哎,氣體中含不含可凝蒸氣葱峡,有無顆粒灰塵婚陪,有無腐蝕性等族沃。選擇真空泵時(shí)频祝,需要知道氣體成分泌参,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣常空、顆粒沽一、及腐蝕性氣體盖溺,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器铣缠、除塵器等.
7烘嘱、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染蝗蛙,可以選無油真空泵蝇庭,或者把油蒸氣排到室外
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響捡硅。若工藝過程不允許哮内,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施
9、真空泵的價(jià)格讶瘩、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用达植。
水環(huán)式真空泵的選擇
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