最新表面處理技術(shù)概述及其發(fā)展趨勢簡介如下：

　　一贮喧、技術(shù)概述

 　   新型表面功能覆層技術(shù)勉徘，包括低溫化學表面涂層技術(shù)及超深層表面改性技術(shù)构胰，它運用物理涉佑、化學或物理化學等技術(shù)手段來改變“材料及其制件表面成份和組織結(jié)構(gòu)”加梁，其特點是保持基體材料固有的特征顶质，又賦予表面化所要求的各種性能，從而適應各種技術(shù)和服役環(huán)境對材料的特殊要求融蹂，因而它是制造和材料學科最為活躍的技術(shù)領(lǐng)域旺订，又是涉及表面處理與涂層技術(shù)的交叉學科。其最大的優(yōu)勢在于能以極少的材料和能源消耗制備出基體材料難以甚至無法獲得的性能優(yōu)異的表面薄層超燃，從而獲得最大的經(jīng)濟效益区拳，它是一種優(yōu)質(zhì)高效的表面改性與涂層技術(shù)。優(yōu)質(zhì)意乓、高效的表面改性與涂層技術(shù)其范圍廣闊：如熱化學表面技術(shù);物理氣相沉積;化學氣相沉積;物理化學氣相沉積技術(shù);高能等離體表面涂層技術(shù);金剛石薄膜涂層;多元多層復合涂層技術(shù);表面改性及涂層性能預測及剪栽技術(shù);性能測試與壽命評估等等樱调。

 　   新型低溫化學氣相沉積技術(shù)引入等離子體增強技術(shù)，使其溫度降至600度以下届良，獲得硬質(zhì)耐磨涂層新工藝笆凌，所生產(chǎn)的高強度、高性能的涂層工藝士葫，在高速乞而、重負荷、難加工領(lǐng)域中有其特殊的作用慢显。超深層表面改性技術(shù)可應用于絕大多數(shù)熱處理件和表面處理件爪模，可替代高頻淬火，碳氮共滲荚藻，離子滲氮等工藝叮褐，得到更深的滲層，更高的耐磨性硬碳，產(chǎn)品壽命劇增炕常，可產(chǎn)生突破性的功能變化。

 　   二台筷、現(xiàn)狀及國內(nèi)外發(fā)展趨勢

 　   隨著基礎(chǔ)工業(yè)及高新技術(shù)產(chǎn)品的發(fā)展挥棒，對優(yōu)質(zhì)、高效表面改性及涂層技術(shù)的需求向縱深延伸售微，國內(nèi)外在該領(lǐng)域與相關(guān)學科相互促進的局勢下芭惠，在諸如“熱化學表面改性”、“高能等離子體表面涂層”甩腻、“金剛石薄膜涂層技術(shù)”以及“表面改性與涂層工藝模擬和性能預測”等方面都有著突破的進展弦离。

 　   1.熱化學表面改性技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

  　  國外近年來重視對“可控氣氛條件和真空條件下的滲碳，碳氮共滲等技術(shù)的研究昭仲，并已實現(xiàn)工業(yè)化棵章。而在我國應用很少，相關(guān)的技術(shù)研究工作亦不夠』航Γ可控氣氛滲碳和真空滲碳技術(shù)是顯著縮短生產(chǎn)周期蛇损，節(jié)能、省時坛怪，同時可提高工件質(zhì)量淤齐，不氧化、不脫碳袜匿，保證零件表面耐腐蝕和抗疲勞性更啄，并減少熱處理后機加工余量及清理工時。

 　   目前國際上碳勢控制和監(jiān)測居灯，滲層布型控制等方面的研究成果已應用于實際生產(chǎn)祭务，并用計算機進行在線動態(tài)控制。

 　   2.PVD怪嫌、CVD义锥、PCVD技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

　    各種氣相沉積是當前世界上著名研究機構(gòu)和大學競相開展的具有挑戰(zhàn)的性的研究課題。目前該技術(shù)在信息喇勋、計算機缨该、半導體、光學儀器等產(chǎn)業(yè)及電子元器件判逊、光電子器件饿遏、太陽能電池、傳感器件等制造中應用十分廣泛殊纫，在機械工業(yè)中替熊，制作硬質(zhì)耐磨鍍層、耐腐蝕鍍層厌哈、熱障鍍層及固體潤滑鍍層等方面也有較多的研究和應用掘顾，其中TiN等鍍膜刀具的普及已引起切削領(lǐng)域中的一場革命，金剛石薄膜钟肴、立方氮化硼薄膜的研究也十分火熱累踱，并已向?qū)嵱没矫嫱七M。

　    在不同PVD苏狠、CVD工藝的基礎(chǔ)上惫借，通過發(fā)展和復合很多新的工藝和設(shè)備，如IBAD钻宠、PCVD與空心最新表面處理技術(shù)概述及其發(fā)展趨勢堰洛。  

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