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國防科大超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收

  1納米是一根頭發(fā)絲的8萬分之一揍丘,而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國精度”惊橱,有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創(chuàng)新突破局荚,3年來為國家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益2億多元。近日钞澳,該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收怠惶。

     超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進(jìn)制造技術(shù),納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠轧粟,西方發(fā)達(dá)國家將其視為戰(zhàn)略資源策治,嚴(yán)格限制出口。面對中國光學(xué)零件制造水平的窘境础辉,國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在李圣怡教授率領(lǐng)下肄埠,跳過一、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù)知狂,直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開展攻關(guān)搓胯,在國內(nèi)首次研制出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備啰痒,創(chuàng)造了中國光學(xué)零件加工亞納米的“中國精度”奇跡臂沽,使中國光學(xué)自動化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平,成為繼美锥拖、德之后第三個掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國家橡戈,也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國家。

     近3年來榨厚,該團(tuán)隊與中科院桐装、中國航天科技集團(tuán)、中國航空工業(yè)集團(tuán)等合作蒂禽,推動中國空間光學(xué)、高端裝備制造發(fā)展旅急,自主研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機(jī)床逢勾,為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等3個國家重大科技專項提供技術(shù)保障和裝備支撐牡整,解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術(shù)難題。團(tuán)隊先后獲得科技部重大科技專項頒發(fā)的“突出貢獻(xiàn)獎”和“突出成果獎”溺拱。


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