為提高產(chǎn)品加工的生產(chǎn)效率，降低加工成本涣母，三菱電機開發(fā)出了能夠一次將一塊多晶碳化硅(SiC)錠切割成40片SiC晶片的多點放電線切割技術(shù)附垒。

    　據(jù)介紹，多點放電線切割技術(shù)是將直徑為0.1mm的鐵類材料制成的金屬線以0.6mm的間隔纏繞在導(dǎo)輪上，同時在40處實施放電加工测垛，一次就將SiC錠切割成40片SiC晶片捏膨。通過獨立控制對每個切割部位的供電，使各切割部位的加工速度實現(xiàn)均一化食侮，從而一次可切割出多片晶片号涯。

   　 三菱電機驅(qū)動控制系統(tǒng)技術(shù)部長真柄卓司介紹說：“通過獨立控制使各個供電部分的放電量實現(xiàn)均一化是很難辦到的。其他公司無法簡單模仿”锯七。該技術(shù)的加工速度為0.08mm/min链快，能夠在20多個小時內(nèi)切割完一塊截面為4英寸見方的SiC錠。

   　 SiC作為功率半導(dǎo)體用材料眉尸，近年來需求不斷擴大域蜗。SiC晶片加工方面，目前最常見的是使用磨粒線鋸進行多線切割的接觸式機械加工噪猾，磨粒線鋸砥粒式線鋸的直徑較大霉祸，為0.2mm左右，切割面的表面粗糙度也比放電線切割加工粗袱蜡。此外丝蹭，SiC硬度較高，需要使用昂貴的金剛石作為磨粒吞瘸。而此次開發(fā)的放電線切割加工技術(shù)的線間距僅為0.6mm左右蝌购，比磨粒線鋸的一般間距(約0.8mm)窄，而且切割下料的寬度也很窄械与，因此切割同樣大小的晶錠可得到的晶片數(shù)量(收獲量)也要多出約3成铅阎。

    　另外，放電線切割加工使用的金屬線無需使用特殊材料唆蕾。三菱電機今后將對該技術(shù)進行定量性成本評估潭拖，估計該技術(shù)能夠憑借收獲量的增加以及金屬線的低成本化削減加工成本赫丈。今后該公司將提高該技術(shù)的加工可靠性和穩(wěn)定性衡辨，并通過自動化來提高易用性，力爭2015年度推出產(chǎn)品官溜。

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