近日，三菱電機(jī)宣布夹勾，開(kāi)發(fā)出了能夠一次將一塊多晶碳化硅(SiC)錠切割成40片SiC晶片的多點(diǎn)放電線切割技術(shù)川愤。據(jù)悉，該技術(shù)有望提高SiC晶片加工的生產(chǎn)效率雪隧，降低加工成本西轩。

　　據(jù)介紹，多點(diǎn)放電線切割技術(shù)是將直徑為0.1mm的鐵類(lèi)材料制成的金屬線以0.6mm的間隔纏繞在導(dǎo)輪上脑沿，同時(shí)在40處實(shí)施放電加工藕畔，一次就將SiC錠切割成40片SiC晶片。通過(guò)獨(dú)立控制對(duì)每個(gè)切割部位的供電庄拇，使各切割部位的加工速度實(shí)現(xiàn)均一化注服，從而一次可切割出多片晶片。

　　三菱電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)技術(shù)部長(zhǎng)真柄卓司介紹說(shuō)：“通過(guò)獨(dú)立控制使各個(gè)供電部分的放電量實(shí)現(xiàn)均一化是很難辦到的措近。其他公司無(wú)法簡(jiǎn)單模仿”溶弟。該技術(shù)的加工速度為0.08mm/min，能夠在20多個(gè)小時(shí)內(nèi)切割完一塊截面為4英寸見(jiàn)方的SiC錠。

　　SiC作為功率半導(dǎo)體用材料辜御，近年來(lái)需求不斷擴(kuò)大鸭你。SiC晶片加工方面，目前最常見(jiàn)的是使用磨粒線鋸進(jìn)行多線切割的接觸式機(jī)械加工擒权，磨粒線鋸砥粒式線鋸的直徑較大袱巨，為0.2mm左右，切割面的表面粗糙度也比放電線切割加工粗钾独。此外号嵌，SiC硬度較高，需要使用昂貴的金剛石作為磨粒访跛。而此次開(kāi)發(fā)的放電線切割加工技術(shù)的線間距僅為0.6mm左右捣雪，比磨粒線鋸的一般間距(約0.8mm)窄，而且切割下料的寬度也很窄秩漾，因此切割同樣大小的晶錠可得到的晶片數(shù)量(收獲量)也要多出約3成延懂。

　　另外，放電線切割加工使用的金屬線無(wú)需使用特殊材料冯峭。三菱電機(jī)今后將對(duì)該技術(shù)進(jìn)行定量性成本評(píng)估昵壁，估計(jì)該技術(shù)能夠憑借收獲量的增加以及金屬線的低成本化削減加工成本。今后該公司將提高該技術(shù)的加工可靠性和穩(wěn)定性谁汤，并通過(guò)自動(dòng)化來(lái)提高易用性坠地，力爭(zhēng)2015年度推出產(chǎn)品。

聲明：本網(wǎng)站所收集的部分公開(kāi)資料來(lái)源于互聯(lián)網(wǎng)殉俗，轉(zhuǎn)載的目的在于傳遞更多信息及用于網(wǎng)絡(luò)分享圾纤，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，也不構(gòu)成任何其他建議倦逐。本站部分作品是由網(wǎng)友自主投稿和發(fā)布譬正、編輯整理上傳，對(duì)此類(lèi)作品本站僅提供交流平臺(tái)檬姥，不為其版權(quán)負(fù)責(zé)曾我。如果您發(fā)現(xiàn)網(wǎng)站上所用視頻、圖片健民、文字如涉及作品版權(quán)問(wèn)題抒巢，請(qǐng)第一時(shí)間告知，我們將根據(jù)您提供的證明材料確認(rèn)版權(quán)并按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)支付稿酬或立即刪除內(nèi)容荞雏，以保證您的權(quán)益虐秦！聯(lián)系電話：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。