【編者按】歐姆龍已完成世界首發(fā)16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器并且，首次應(yīng)用晶圓級真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā)氢觉。

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　　據(jù)歐姆龍株式會社(本社：日本京都市下京區(qū)幸亭；代表取締役社長：山田義仁)宣布：歐姆龍已完成世界首次※應(yīng)用晶圓級真空封裝技術(shù)的紅外線傳感器的研發(fā)，成功開發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測的16x16單元型非接觸式溫度傳感器症概，并擬于2013年10月開始出售樣品蕾额。

　　近年來，隨著家庭及辦公場所對節(jié)能的意識不斷提高彼城，在節(jié)能的同時還致力于實現(xiàn)舒適生活的智能家居诅蝶，以及為必要的地方提供必要亮度的照明，并可實現(xiàn)節(jié)能與舒適性兩全其美的應(yīng)需環(huán)境照明(Task-Ambient LightingSystem)等的智能辦公室已經(jīng)過研究階段進(jìn)入了驗證實驗的階段募壕。其中调炬，作為掌握人數(shù)及人物所處位置的關(guān)鍵件，人感傳感器的需求正在不斷高漲舱馅。

　　由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測靜止不動的人物缰泡，所以難以檢測人數(shù)及人物所處位置。鑒于這種情況代嗤，歐姆龍開發(fā)了能夠檢測靜止人物棘钞，具有90度廣視野范圍并可實現(xiàn)高精度區(qū)域溫度檢測，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器干毅。

　　MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應(yīng)用MEMS技術(shù)的熱電堆將對象物體發(fā)出的紅外線能源變?yōu)闊崮芤瞬拢⑼ㄟ^兩種金屬接點之間溫差所形成的熱電動勢測量溫度泼返。但由于熱電堆所轉(zhuǎn)換的熱能大多數(shù)都會通過空氣散失，所以在金屬接點之間難以形成較大的溫差督巍，致使熱電動勢變小卫道，無法提高靈敏度。

　　這次单旺，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內(nèi)秒勿。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉(zhuǎn)換的熱能散失在空氣中，使金屬接點之間的溫差變大拔怜，從而可實現(xiàn)更高的靈敏度吹兴。

　　今后將與用于檢測人數(shù)及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結(jié)合在一起，作為組件化的人體傳感器竭力實現(xiàn)商品化盏踢。

　　配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器展品將于7月3日(周三)至5日(周五)施揪，在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013(原Micro Machine / MEMS展覽會)”展出。

　　本項開發(fā)是通過與新能源?產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)NEDO(New Energy and Industrial TechnologyDevelopment Organization)的共同研究業(yè)務(wù)所獲得成果赐杏。

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