對(duì)比普通激光加工迹淌,超短脈沖和短波長(zhǎng)對(duì)各種材料的上風(fēng)作用日趨顯現(xiàn)泡快。超短脈沖和短波長(zhǎng)的研發(fā)以及在激光加工中的試應(yīng)用磁不,為高品質(zhì)的精細(xì)加工帶來(lái)了希望。本文主要對(duì)激光在精細(xì)加工方面的應(yīng)用進(jìn)行闡述星自。
高品質(zhì)的激光加工憾擒,特別是高精密激光切割機(jī)、鉆孔和表面處理現(xiàn)已成功應(yīng)用于金屬塑崖、陶瓷七冲、玻璃痛倚、半導(dǎo)體及很多高分子材料中。同時(shí)澜躺,激光加工在超短脈沖光譜學(xué)蝉稳、微機(jī)械加工、非線性光學(xué)掘鄙、THz-頻譜研究颠区、材料學(xué)等科研領(lǐng)域的應(yīng)用也日漸廣泛,目前通铲,高精度激光加工向超短脈沖和紫外激光發(fā)展的趨勢(shì)已經(jīng)愈加明顯毕莱。
超快激光產(chǎn)業(yè)加工
ThePhotonicsWest2005曾經(jīng)報(bào)道了皮秒激光器在大規(guī)模生產(chǎn)中的首次應(yīng)用。將功率為1μJ颅夺、脈寬為20ps的連續(xù)脈沖聚焦到薄鋼箔上朋截,在脈沖光束方向上往除一系列同心環(huán)。直徑不同的同心環(huán)形成一個(gè)圓盤吧黄,往除材料的不同圓盤形成一個(gè)錐形孔部服,這個(gè)孔在專業(yè)的高質(zhì)量打印頭中被作為注進(jìn)墨水的噴嘴。
傳統(tǒng)納秒激光器的激光處理熱效應(yīng)比較明顯竖沦,特別是很多具有良好導(dǎo)熱率的材料胎融,如金屬會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的損傷區(qū)域,這些損傷區(qū)域是由熱引起的融化舍屠、再凝固和裂縫所致美怪。隨著超短脈沖激光器的研究和發(fā)展,激光冷加工的處理手段也日趨成熟胸牲,超短脈沖激光器在冷加工方面的上風(fēng)也逐漸被大家認(rèn)可蒸咏。這種上風(fēng)就是超短脈沖激光器能夠使熱量沉積到材料里的過(guò)程比熱量擴(kuò)散到四周區(qū)域的過(guò)程發(fā)生得更快,這樣就會(huì)盡可能地避免熔化狀況蝉蛙,同時(shí)通過(guò)使材料升華和等離子化來(lái)達(dá)到往除材料的目的悬坎。超短激光脈沖的高功率密度也可以對(duì)有非線性吸收現(xiàn)象的透明材料進(jìn)行處理。
飛秒激光器的發(fā)展相當(dāng)迅速傅笨。在過(guò)往的幾年中伸义,盡大多數(shù)超快激光器制造商的留意力都集中在飛秒激光器的研發(fā)土。但是篮啦,飛秒激光器的重復(fù)頻率不高胯恤,一般都只有幾千赫茲,這對(duì)于追求更高工作效率的現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)加工來(lái)說(shuō)十分不利囚企。而與飛秒激光器相比丈咐,重復(fù)頻率達(dá)到幾百千赫茲的皮秒激光器卻可以保證高生產(chǎn)率。因此,飛秒激光器目前主要應(yīng)用于科研領(lǐng)域棵逊,而皮秒激光器則可應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)加工領(lǐng)域伤疙。
由于在材料往除過(guò)程中會(huì)形成高脈沖能量的強(qiáng)等離子體,因此產(chǎn)業(yè)加工對(duì)超快激光提出了更高的要求辆影,即如何設(shè)置激光器的參數(shù)才能獲得更理想的材料往除效果徒像。大量實(shí)驗(yàn)表明,在公道的往除速率下蛙讥,最高精度可以通過(guò)將功率密度設(shè)置為6-10倍的閥值超短激光脈沖下實(shí)現(xiàn)锯蛀。對(duì)金屬而言,這意味著10ps脈沖的能量密度為1J/cm2次慢。假如微機(jī)械加工的激光束被聚焦成典型直徑為10μm的光斑旁涤,那么最佳的脈沖能量應(yīng)該為1μJ。在這種情況下迫像,每個(gè)激光脈沖熔化的材料厚度的典型值為10~100nm,可以加工出精度為0.1μm的微結(jié)構(gòu)辙炒。圖2給出了不同材料對(duì)脈沖功率和重復(fù)頻率的往除率。
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