90年代初萨驶，隨著微機械制造技術(shù)和微型機電系統(tǒng)MEMS(Micro Electric Mechanical System)的研究與應(yīng)用谊某，激光加工的新興分支决太，“激光微加工”正在蓬勃的興起蒿庙。激光微加工一般是指特征尺寸小于100μm的加工搓陈，是微機械制造的一種主要加工技術(shù)。
　　激光加工的實質(zhì)是激光將能量傳遞給被加工材料砖蕾，被加工材料發(fā)生物理或化學(xué)變化北捣，使其達到加工的目的。激光微細加工工藝既能加工出較為復(fù)雜的微型結(jié)構(gòu)廷共，且所要求的條件又不像異性刻蝕和LIGA技術(shù)那么苛刻论辈，在實驗室和工廠較容易實現(xiàn)，又由于激光具有高時間及高空間分辨率诸鲸，使之有可能在需要高精密加工的場合(如電子伪您、半導(dǎo)體、通訊等行業(yè))得到進一步推廣和應(yīng)用使驰，所以激光微細加工向普通微機械加工提出了巨大的挑戰(zhàn)订菇。

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