與國外半導(dǎo)體裝備巨頭相比诉植，國內(nèi)廠商仍存較大差距祥国，當(dāng)前國內(nèi)高端制造裝備大多仍需依賴進(jìn)口。專家表示蘑砖，國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)亟須努力突破核心技術(shù)初瓜，加大資本投入，構(gòu)建完善生態(tài)鏈體系永僚。

　　國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)迅速崛起

　　據(jù)中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春介紹否北，近年來國內(nèi)外市場需求為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)提供了歷史性發(fā)展機(jī)遇。目前一批極大規(guī)模集成電路制造裝備伙二、集成電路先進(jìn)封裝工藝制造裝備叹匹、高亮度發(fā)光二極管制造裝備開發(fā)成功，國產(chǎn)裝備實(shí)現(xiàn)從無到有崔三、從低端裝備到高端裝備的突破挺寒，一些裝備開始與國際領(lǐng)先廠商競爭。

　　中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長金存忠表示软旁，“十二五”期間國家出臺支持發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的諸多政策珊煌，國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”明確提出，“十二五”期間將重點(diǎn)進(jìn)行45—22納米關(guān)鍵制造裝備攻關(guān)等扛肩，使裝備和材料占國內(nèi)市場的份額分別達(dá)到10%和20%刻撒，并開拓國際市場。

　　記者從日前舉行的“2013年中國半導(dǎo)體制造裝備戰(zhàn)略峰會(huì)暨半導(dǎo)體設(shè)備市場年會(huì)”上獲悉耿导，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)17家半導(dǎo)體設(shè)備制造商統(tǒng)計(jì)疫赎，2012年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入為36.8億元人民幣，預(yù)計(jì)2013年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入為42億元人民幣碎节。

　　與國際巨頭相比仍存較大差距

　　隨著國家啟動(dòng)專項(xiàng)的支持和推進(jìn)捧搞，一些關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備已從2000年落后國外先進(jìn)水平5代，縮短為現(xiàn)在的1-2代狮荔，已有部分設(shè)備可以在大生產(chǎn)線上替代國外設(shè)備胎撇。但僅僅有幾種設(shè)備國產(chǎn)化還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，國內(nèi)仍然沒有整線制造的能力殖氏。許多國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵零部件也仍不具備國產(chǎn)化能力晚树，依然需要進(jìn)口，這也使得國產(chǎn)設(shè)備的完全自主仍然面臨挑戰(zhàn)雅采。

　　《電子工業(yè)專用設(shè)備》執(zhí)行編輯黃剛表示爵憎，我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展始于模仿，設(shè)備本體的設(shè)計(jì)與制造和與之配套的工藝技術(shù)脫節(jié)比較嚴(yán)重婚瓜，戰(zhàn)略模式宝鼓、商業(yè)模式婶签、創(chuàng)新能力與國際巨頭相比仍存較大差距，而且設(shè)備供應(yīng)商缺乏對產(chǎn)品應(yīng)用趨勢和發(fā)展方向的深入了解乾爆。即使某些設(shè)備供應(yīng)商的研發(fā)團(tuán)隊(duì)具有國際前沿技術(shù)研發(fā)能力彪壳，開發(fā)出高端設(shè)備，卻苦于沒有機(jī)會(huì)進(jìn)入應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行驗(yàn)證舆伺，導(dǎo)致無法在工藝驗(yàn)證及批量生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)問題暴赡、改進(jìn)設(shè)備，最終高端設(shè)備無法實(shí)現(xiàn)批量銷售阀洛、缺乏市場競爭力蒂茶。

　　和國外相比，目前國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)投入不足调拳，規(guī)模過小慢沉。我國集成電路產(chǎn)業(yè)還遠(yuǎn)未達(dá)到可以支撐自我良性發(fā)展的規(guī)模。據(jù)計(jì)算滥氏，解決中國芯片進(jìn)口量30%备洽，需要150萬片/月12吋折算產(chǎn)能，而現(xiàn)有產(chǎn)能僅為8吋產(chǎn)能40萬片/月妈踊，12吋產(chǎn)能6萬片/月了嚎。另外，國內(nèi)半導(dǎo)體裝備企業(yè)差異化競爭力和創(chuàng)新能力存在不足廊营。企業(yè)缺乏差異化的產(chǎn)品規(guī)劃歪泳，產(chǎn)品碎片化、同質(zhì)化嚴(yán)重露筒，無力開展系統(tǒng)性的研發(fā)工作等呐伞。

　　盛美半導(dǎo)體董事長兼首席執(zhí)行官王暉認(rèn)為，在全球半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域慎式，激烈競爭造成產(chǎn)業(yè)的集中和壟斷伶氢，設(shè)備市場進(jìn)入門檻極高。每種設(shè)備有兩到三個(gè)壟斷的設(shè)備公司瘪吏，各有幾十億到百億美元的年產(chǎn)值癣防。而中國的芯片生產(chǎn)的技術(shù)和規(guī)模有限，國際設(shè)備市場95%不在中國掌眠，國內(nèi)市場目前又不足以支撐一個(gè)完全內(nèi)銷的設(shè)備行業(yè)蕾盯。

　　另外，由于從設(shè)備開發(fā)孤批、引入市場取涕、到實(shí)現(xiàn)收支平衡的周期較長，需要大量資金的支撐谒绍，而風(fēng)險(xiǎn)投資一般很難持續(xù)投入和支持痛恃。

　　憑借技術(shù)創(chuàng)新實(shí)施產(chǎn)業(yè)突圍

　　為推動(dòng)中國集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)入“黃金發(fā)展時(shí)期”颓腮，葉甜春表示，一是面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展未奋，以局部關(guān)鍵技術(shù)突破為主向全局性、系統(tǒng)性妖职、集成性重大創(chuàng)新轉(zhuǎn)變冻绊，組織創(chuàng)新研發(fā)聯(lián)盟，重點(diǎn)提升企業(yè)創(chuàng)新能力歇懂。二是要從“跟隨戰(zhàn)略”轉(zhuǎn)向“創(chuàng)新跨越”瓷忙，在若干核心技術(shù)領(lǐng)域形成具有特色的創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新產(chǎn)品。
      中晟光電董事長陳愛華認(rèn)為晃尖，國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備企業(yè)要準(zhǔn)確把握和確定市場與客戶的關(guān)鍵需求泵网；創(chuàng)新與經(jīng)濟(jì)效益相結(jié)合，開發(fā)既具有核心競爭力撑蚌，又能滿足客戶最關(guān)鍵需求的產(chǎn)品上遥；國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備市場化初期也是最關(guān)鍵的時(shí)期，亟須產(chǎn)業(yè)鏈之間相互支持與合作争涌。

　　“國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展要遵循產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律粉楚。”尹志堯表示亮垫，面對國際集成電路產(chǎn)業(yè)“超級壟斷”和國內(nèi)“春秋戰(zhàn)國”的勢態(tài)模软，本土半導(dǎo)體設(shè)備公司要有政府的政策扶持，要有資本運(yùn)作的機(jī)制和一定的資金投入饮潦，以及高端人才組成的領(lǐng)軍團(tuán)隊(duì)等燃异。

　　而對于當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)知識產(chǎn)權(quán)壁壘很高，國外企業(yè)用知識產(chǎn)權(quán)作武器阻止新公司進(jìn)入市場的不利局面继蜡，國內(nèi)企業(yè)必須對現(xiàn)有的專利進(jìn)行全面分析回俐，必須有自己獨(dú)立的知識產(chǎn)權(quán)，也必須尊重他人的知識產(chǎn)權(quán)稀并。

　　此外鲫剿，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商必須有打入國際市場的部署和渠道，要和海外客戶建立良好關(guān)系宽剪，實(shí)行雙贏策略锭鸣。

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