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355nm紫外全固態(tài)激光精密切割專用設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目通過驗(yàn)收

【編者按】近日酷窥,由中科院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所科研團(tuán)隊(duì)承擔(dān)的福建省科技重大專項(xiàng)專題“355nm紫外全固態(tài)激光精密切割專用設(shè)備研發(fā)”通過福建省科技廳組織的專題驗(yàn)收。


該項(xiàng)目面向福建省半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,研發(fā)全固態(tài)激光精密切割專用設(shè)備飘缨,已取得以下主要成果:

(1)采用創(chuàng)新性的生長(zhǎng)工藝,實(shí)現(xiàn)新型紫外變頻晶體材料和大尺寸原生三段式Nd:YVO4激光晶體生長(zhǎng)烙欧;

(2)突破飼服電機(jī)很洽、線性導(dǎo)軌、高精度光柵尺等系統(tǒng)集成技術(shù)耙侵,并配合閉環(huán)負(fù)反饋移動(dòng)控制系統(tǒng)川痛,實(shí)現(xiàn)高精度精密平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制;

(3)突破888nm新型半導(dǎo)體泵浦技術(shù)、大斜面倍頻晶體以及倍頻晶體移點(diǎn)等關(guān)鍵核心技術(shù)都炮,研制出高效瘸酒、長(zhǎng)壽命355nm紫外全固態(tài)激光器。

在上述研究成果的基礎(chǔ)上听谓,通過顯微成像钙幼、傳輸變換光學(xué)、系統(tǒng)控制等成套設(shè)備集成創(chuàng)新躬挺,成功研制出355nm紫外全固態(tài)激光LED芯片切割專用設(shè)備捂齐,該設(shè)備具有視頻顯微實(shí)時(shí)監(jiān)控、晶圓自動(dòng)找正和激光自動(dòng)調(diào)焦等功能缩抡,在專題參研單位廈門三安光電科技有限公司LED芯片生產(chǎn)工業(yè)環(huán)境下實(shí)際應(yīng)用奠宜,全面滿足了商用化紫外切割設(shè)備的生產(chǎn)要求。

此次355nm紫外全固態(tài)激光器的研發(fā)成功瞻想,是在福建省紫外激光技術(shù)和晶體材料研發(fā)生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì)基礎(chǔ)上压真,整合省內(nèi)精密數(shù)控設(shè)備制造企業(yè)、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用企業(yè)等創(chuàng)新資源進(jìn)行協(xié)同創(chuàng)新的成果蘑险。該研發(fā)成果將使福建省激光技術(shù)和精密機(jī)床制造的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化水平上一個(gè)新臺(tái)階滴肿,為L(zhǎng)ED照明行業(yè)的升級(jí)奠定良好的技術(shù)基礎(chǔ)。


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