【編者按】劉炳業(yè)強(qiáng)調(diào)页衙，在過(guò)去的30年里区转，世界范圍的機(jī)床技術(shù)得到了很大程度的發(fā)展疟位，機(jī)床技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)也呈現(xiàn)出多元化的特點(diǎn)瞻润，但高精度是數(shù)控機(jī)床的主流發(fā)展趨勢(shì)，并且超精密加工的精度比精密加工精度還要高出一個(gè)數(shù)量級(jí)甜刻。

“超精密機(jī)床的研發(fā)和制造技術(shù)是一項(xiàng)前沿性的技術(shù)绍撞，將引領(lǐng)機(jī)床的加工精度不斷向著人類未曾涉及的技術(shù)領(lǐng)域深入邁進(jìn)〉迷海”北京機(jī)床研究所所長(zhǎng)劉炳業(yè)在近日召開(kāi)的2014中國(guó)機(jī)床工具發(fā)展高端論壇上指出傻铣，“超精密機(jī)床是發(fā)達(dá)國(guó)家非常重視并且采取措施加以控制的機(jī)床，且它體現(xiàn)著一個(gè)國(guó)家精度技術(shù)的競(jìng)爭(zhēng)力祥绞》侵蓿”

劉炳業(yè)強(qiáng)調(diào)，在過(guò)去的30年里蜕径，世界范圍的機(jī)床技術(shù)得到了很大程度的發(fā)展两踏，機(jī)床技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)也呈現(xiàn)出多元化的特點(diǎn)，但高精度是數(shù)控機(jī)床的主流發(fā)展趨勢(shì)丧荐，并且超精密加工的精度比精密加工精度還要高出一個(gè)數(shù)量級(jí)缆瓣。

事實(shí)上，超精密加工技術(shù)所涉及的技術(shù)領(lǐng)域非常豐富圣辩。在北京機(jī)床研究所30多年的研究歷程中啼厌，針對(duì)超精密加工技術(shù)所涉及到的相關(guān)技術(shù)，劉炳業(yè)系統(tǒng)地總結(jié)出了36個(gè)方面的關(guān)鍵前沿研究以及11項(xiàng)領(lǐng)先的核心技術(shù)匆罗。其中终于，關(guān)鍵前沿研究包括設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)部件记辖、測(cè)量分析禁脏、工藝技術(shù)、主機(jī)制造技術(shù)和機(jī)床應(yīng)用條件技術(shù)六方面內(nèi)容苗圃。領(lǐng)先的核心技術(shù)涵蓋：精密超精密主軸關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)谣泄、精密超精密直線運(yùn)動(dòng)部件關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)、高分辨率運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)惫饲、機(jī)床關(guān)鍵零部件的加工工藝制造技術(shù)褂圣、部件抵御外部干擾的特性技術(shù)、高穩(wěn)定性快速直線運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)與制造技術(shù)裤础、多運(yùn)動(dòng)軸機(jī)床的嵌套結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)懊悯，以及針對(duì)目標(biāo)零件制造的機(jī)床集成制造技術(shù)等內(nèi)容。

“在機(jī)床的精度從微米級(jí)到納米級(jí)的發(fā)展歷程中梦皮，有三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)無(wú)法回避炭分，這三項(xiàng)技術(shù)也是納米精度機(jī)床的研究門(mén)檻桃焕。”劉炳業(yè)分析稱捧毛，其中一項(xiàng)技術(shù)是無(wú)遲滯的軸承技術(shù)观堂，遲滯現(xiàn)象在機(jī)械系統(tǒng)中大量存在，遲滯現(xiàn)象不僅嚴(yán)重影響機(jī)床溜板的運(yùn)動(dòng)定位精度和重復(fù)定位的精度呀忧，也影響運(yùn)動(dòng)的高分辨率實(shí)現(xiàn)型将，同時(shí)也影響精密零件的加工形狀精度以及表面粗糙度。而靜壓軸承技術(shù)可以很好地解決機(jī)械遲滯的現(xiàn)象荐虐，并且可以均化幾何誤差，在超精密機(jī)床中得到大量應(yīng)用丸凭。靜壓技術(shù)在過(guò)去的十年時(shí)間里取得了重大進(jìn)展福扬，自補(bǔ)償?shù)姆答伡夹g(shù)更為成熟。以流量控制的節(jié)流技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提升惜犀，使超精密機(jī)床加工的材料硬度不斷提高铛碑。

而另二項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)分別是高分辨率驅(qū)動(dòng)技術(shù)和機(jī)械系統(tǒng)中的微振動(dòng)處理技術(shù)。納米級(jí)分辨率是近十幾年來(lái)超精密機(jī)床性能的特征體現(xiàn)势纺，運(yùn)動(dòng)的影響因素很多赦锰。同時(shí)，大量的實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)演茂，10納米量級(jí)的振動(dòng)信號(hào)存在于許多機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)中灼址，對(duì)于機(jī)械靈敏度的執(zhí)行與測(cè)定造成干擾，這種振動(dòng)被稱為微振動(dòng)件银》艚危“對(duì)微振動(dòng)的機(jī)理深入研究，并尋求解決途徑是超精密機(jī)床通往納米精度的必經(jīng)之路郊片《燃”劉炳業(yè)說(shuō)道。

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