編者按：中國已經(jīng)是全球集成電路市場的大國线区，但集成電路大量依賴進(jìn)口蒜薇。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強(qiáng)，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去坠袄。

為推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展誉煎，工業(yè)和信息化部、國家發(fā)改委语雇、科技部痛贬、財(cái)政部等部門編制了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，并由國務(wù)院正式批準(zhǔn)公布實(shí)施磨涵。中國電子報(bào)作為工信部主管的具有機(jī)關(guān)報(bào)性質(zhì)的行業(yè)報(bào)驻债，作為集成電路領(lǐng)域最權(quán)威的媒體，特邀請(qǐng)行業(yè)專家和從業(yè)人員解讀《綱要》形葬，暢談中國集成電路發(fā)展大計(jì)合呐。以下是中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)秘書長金存忠為本報(bào)寫來的專稿暮的。

6月24日國務(wù)院正式批準(zhǔn)的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中指出了要突出“芯片設(shè)計(jì)-制造-封測-裝備材料”全產(chǎn)業(yè)鏈的布局。中國已經(jīng)是全球集成電路市場的大國淌实，但集成電路大量依賴進(jìn)口冻辩。要將我國集成電路產(chǎn)業(yè)做大做強(qiáng)，就一定要把我國集成電路裝備制造業(yè)搞上去拆祈。

(一)我國集成電路裝備制造業(yè)現(xiàn)狀

1恨闪、在國家科技重大專項(xiàng)的支持下，一些大規(guī)模集成電路關(guān)鍵裝備通過驗(yàn)收并走進(jìn)了大生產(chǎn)線

極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項(xiàng)目(簡稱02專項(xiàng))放坏，2008年-2013年共安排集成電路裝備研制項(xiàng)目29項(xiàng)咙咽，到2013年底已驗(yàn)收12項(xiàng)，這些裝備也走進(jìn)了12英寸極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)線淤年。

2钧敞、國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展迅速

國產(chǎn)集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備得到了集成電路生產(chǎn)廠商的信任和認(rèn)可，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化蛙陆。其中有集成電路先進(jìn)封裝用勻膠機(jī)笨迂、3微米步進(jìn)式投影光刻機(jī)、用于三維芯片封裝的硅通孔刻蝕機(jī)买鹊、高密度深硅等離子刻蝕機(jī)捍彼、TSV硅通孔物理氣相沉積設(shè)備(PVD)等，這些關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化有力地推進(jìn)了我國集成電路先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展第粟。

3、國產(chǎn)集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備尚未進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化

在02專項(xiàng)的支持下齐皂，12英寸集成電路硅片生產(chǎn)設(shè)備(硅單晶生長爐协颅、多線切割機(jī)、磨片機(jī)仅汰、拋光機(jī))目前的γ機(jī)已通過工藝認(rèn)證簇娩，但尚未進(jìn)入大生產(chǎn)線。

(二)我國集成電路裝備制造業(yè)存在的主要問題

1蝉站、市場占有率低

目前货裳，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線裝備大都依賴進(jìn)口，我國大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線(8-12英寸)中的硅片和晶圓(芯片)制造裝備大都是依賴進(jìn)口的(8英寸以下的生產(chǎn)線是引進(jìn)翻新的二手設(shè)備)捧颅，這不僅嚴(yán)重影響了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展景图，也對(duì)我國電子信息的安全造成重大的隱患。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)我國13家主要集成電路生產(chǎn)單位的統(tǒng)計(jì)碉哑，2013年共銷售集成電路設(shè)備1093臺(tái)挚币，銷售金額10.34億元(其中芯片制造設(shè)備約7億元)，大約是當(dāng)年我國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額的5%左右扣典。

2妆毕、產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程緩慢

“十二五” 期間慎玖，盡管在國家重大專項(xiàng)的支持下，一些關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)入了大生產(chǎn)線笛粘，并經(jīng)過了驗(yàn)收趁怔，但在新建的生產(chǎn)線上，使用單位有較大的風(fēng)險(xiǎn)薪前，在與進(jìn)口設(shè)備的競爭中润努，國產(chǎn)設(shè)備很難擠得上去。特別是對(duì)大規(guī)模集成電路芯片制造設(shè)備國產(chǎn)化缺乏信心序六，使已經(jīng)在生產(chǎn)線上驗(yàn)收的國產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程艱難任连。目前，一些設(shè)備制造單位拒吧，已經(jīng)將集成電路設(shè)備成果應(yīng)用到風(fēng)險(xiǎn)相對(duì)低的LED等其它半導(dǎo)體器件領(lǐng)域划疟。

3、缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才

一些技術(shù)難度大的關(guān)鍵設(shè)備描蹦，由于缺乏“領(lǐng)軍”的高技術(shù)人才苦恶，久攻不下，同時(shí)也影響了集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的推廣仆阶。

(三)我國集成電路裝備制造業(yè)發(fā)展設(shè)想

1筝踢、對(duì)國家投資的集成電路建設(shè)工程項(xiàng)目，要提出集成電路生產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化的要求驯祖，推廣已經(jīng)在集成電路大生產(chǎn)線上驗(yàn)收過的國產(chǎn)設(shè)備彰碑。

2、依托國家科技專項(xiàng)集成電路關(guān)鍵裝備科技項(xiàng)目彪御，對(duì)承擔(dān)項(xiàng)目的單位設(shè)備產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)要提出更高的要求详般，進(jìn)一步推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

3筋顽、鼓勵(lì)和支持積極使用國產(chǎn)集成電路設(shè)備的集成電路生產(chǎn)企業(yè)玷利，對(duì)使用首臺(tái)(套)集成電路關(guān)鍵設(shè)備給予優(yōu)惠政策，以減少承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn)评疗。

4测砂、建設(shè)國產(chǎn)化集成電路示范生產(chǎn)線，推進(jìn)我國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)做強(qiáng)

沒有國產(chǎn)的集成電路生產(chǎn)線百匆，僅依賴進(jìn)口集成電路設(shè)備的集成電路產(chǎn)業(yè)是不可能做強(qiáng)的砌些，只能跟在人家后面跑，并且還要受制于人加匈，所以建設(shè)國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線是當(dāng)務(wù)之急寄症。從目前的市場需要和我國集成電路設(shè)備發(fā)展情況來看，建議在二到三年內(nèi)建設(shè)以下三條集成電路國產(chǎn)化示范生產(chǎn)線：12英寸集成電路硅片生產(chǎn)線;集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線;8英寸90nm集成電路晶圓(芯片)生產(chǎn)線矩动。

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