【編者按】隨著現(xiàn)代超精密儀器儀表且险，超精密光學(xué)元件已經(jīng)超精密模具的需求量越來越多對于現(xiàn)代機械加工的精密度要求也越來越高。超精密數(shù)控機床的出現(xiàn)，解決了當(dāng)今世界超精密零部件提供了有力的保證稳捆。而我國在超精密機床技術(shù)上不是非常的專業(yè)，要想超精密機床發(fā)展越來越好麦轰，應(yīng)該多多培養(yǎng)這方面的技術(shù)人才乔夯，加大力度研發(fā)并制造。

“超精密機床的研發(fā)和制造技術(shù)是一項前沿性的技術(shù)潘吸，將引領(lǐng)機床的加工精度不斷向著人類未曾涉及的技術(shù)領(lǐng)域深入邁進醇疮。”北京機床研究所所長劉炳業(yè)在近日召開的2014中國機床工具發(fā)展高端論壇上指出卤撬，“超精密機床是發(fā)達國家非常重視并且采取措施加以控制的機床巴移，且它體現(xiàn)著一個國家精度技術(shù)的競爭力”ィ”

劉炳業(yè)強調(diào)瞭驴，在過去的30年里，世界范圍的機床技術(shù)得到了很大程度的發(fā)展翅陪，機床技術(shù)的發(fā)展趨勢也呈現(xiàn)出多元化的特點退钱，但高精度是數(shù)控機床的主流發(fā)展趨勢俄蔗，并且超精密加工的精度比精密加工精度還要高出一個數(shù)量級。

事實上欠诊，超精密加工技術(shù)所涉及的技術(shù)領(lǐng)域非常豐富蛀漆。在北京機床研究所30多年的研究歷程中，針對超精密加工技術(shù)所涉及到的相關(guān)技術(shù)臣疑，劉炳業(yè)系統(tǒng)地總結(jié)出了36個方面的關(guān)鍵前沿研究以及11項領(lǐng)先的核心技術(shù)最岗。其中，關(guān)鍵前沿研究包括設(shè)計朝捆、運動部件般渡、測量分析、工藝技術(shù)芙盘、主機制造技術(shù)和機床應(yīng)用條件技術(shù)六方面內(nèi)容驯用。領(lǐng)先的核心技術(shù)涵蓋：精密超精密主軸關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)、精密超精密直線運動部件關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)儒老、高分辨率運動驅(qū)動技術(shù)蝴乔、機床關(guān)鍵零部件的加工工藝制造技術(shù)、部件抵御外部干擾的特性技術(shù)驮樊、高穩(wěn)定性快速直線運動的結(jié)構(gòu)與制造技術(shù)薇正、多運動軸機床的嵌套結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)，以及針對目標(biāo)零件制造的機床集成制造技術(shù)等內(nèi)容囚衔。

“在機床的精度從微米級到納米級的發(fā)展歷程中挖腰，有三項關(guān)鍵技術(shù)無法回避，這三項技術(shù)也是納米精度機床的研究門檻练湿〕∈保”劉炳業(yè)分析稱，其中一項技術(shù)是無遲滯的軸承技術(shù)谴疾，遲滯現(xiàn)象在機械系統(tǒng)中大量存在强进，遲滯現(xiàn)象不僅嚴(yán)重影響機床溜板的運動定位精度和重復(fù)定位的精度，也影響運動的高分辨率實現(xiàn)昭怕，同時也影響精密零件的加工形狀精度以及表面粗糙度袱族。而靜壓軸承技術(shù)可以很好地解決機械遲滯的現(xiàn)象，并且可以均化幾何誤差裙都，在超精密機床中得到大量應(yīng)用渔舵。靜壓技術(shù)在過去的十年時間里取得了重大進展，自補償?shù)姆答伡夹g(shù)更為成熟牧俩。以流量控制的節(jié)流技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提升脉鼻，使超精密機床加工的材料硬度不斷提高。

而另二項關(guān)鍵技術(shù)分別是高分辨率驅(qū)動技術(shù)和機械系統(tǒng)中的微振動處理技術(shù)查新。納米級分辨率是近十幾年來超精密機床性能的特征體現(xiàn)迷守，運動的影響因素很多。同時刹勃，大量的實驗研究發(fā)現(xiàn)趁尼，10納米量級的振動信號存在于許多機械執(zhí)行機構(gòu)中埃碱，對于機械靈敏度的執(zhí)行與測定造成干擾，這種振動被稱為微振動酥泞⊙獾睿“對微振動的機理深入研究，并尋求解決途徑是超精密機床通往納米精度的必經(jīng)之路芝囤∷蒲祝”劉炳業(yè)說道。

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