“超精密機(jī)床的研發(fā)和制造技術(shù)是一項(xiàng)前沿性的技術(shù)，將引領(lǐng)機(jī)床的加工精度不斷向著人類未曾涉及的技術(shù)領(lǐng)域深入邁進(jìn)荒叶。超精密機(jī)床技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域已拓展到我們?nèi)粘Ｉ畹脑S多方面矢骚，并正在豐富和改變著我們的生活∶咭冢”北京機(jī)床研究所所長劉炳業(yè)在6月19日召開的2014中國機(jī)床工具發(fā)展高端論壇上指出衷屋，“當(dāng)我們滿眼于制造業(yè)繁雜的加工設(shè)備中，我們應(yīng)該知道有一類機(jī)床很少出現(xiàn)在行業(yè)展覽會(huì)中也控，但其卻是發(fā)達(dá)國家非常重視并且采取措施加以控制的機(jī)床尔粮，這就是超精密機(jī)床，而超精密機(jī)床體現(xiàn)著一個(gè)國家精度技術(shù)的競爭力用省〖っ遥”

高精度是數(shù)控機(jī)床的主流趨勢“在過去的30年里，世界范圍的機(jī)床技術(shù)得到了很大程度的發(fā)展败民，機(jī)床技術(shù)的發(fā)展趨勢也呈現(xiàn)出多元化的特點(diǎn)娩纱，比如高精度的趨勢、高速運(yùn)動(dòng)的趨勢旧晴、多運(yùn)動(dòng)軸的趨勢适固、高可靠性的趨勢、多功能復(fù)合化趨勢遮尚、可重構(gòu)的趨勢誊涯、低能耗環(huán)保的趨勢以及智能化的趨勢等挡毅，但在所有的趨勢中，最能夠體現(xiàn)發(fā)展主流的趨勢應(yīng)該是高精度和智能化的趨勢暴构」虺剩”劉炳業(yè)強(qiáng)調(diào)，高精度是數(shù)控機(jī)床的主流發(fā)展趨勢取逾，并且超精密加工的精度比精密加工精度還要高出一個(gè)數(shù)量級(jí)耗绿。

事實(shí)上，超精密加工技術(shù)所涉及的技術(shù)領(lǐng)域非常豐富砾隅。在北京機(jī)床研究所30多年的研究歷程中误阻，針對(duì)超精密加工技術(shù)所涉及到的相關(guān)技術(shù)，劉炳業(yè)系統(tǒng)地總結(jié)出了36個(gè)方面的關(guān)鍵前沿研究以及11項(xiàng)領(lǐng)先的核心技術(shù)晴埂。其中究反，關(guān)鍵前沿研究包括設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)部件儒洛、測量分析精耐、工藝技術(shù)、主機(jī)制造技術(shù)和機(jī)床應(yīng)用條件技術(shù)六方面內(nèi)容琅锻。領(lǐng)先的核心技術(shù)涵蓋：精密超精密主軸關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)竿饭、精密超精密直線運(yùn)動(dòng)部件關(guān)鍵結(jié)構(gòu)制造技術(shù)、高分辨率運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)肴泥、機(jī)床關(guān)鍵零部件的加工工藝制造技術(shù)不凳、部件抵御外部干擾的特性技術(shù)、高穩(wěn)定性快速直線運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)與制造技術(shù)耻宋、多運(yùn)動(dòng)軸機(jī)床的嵌套結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)断憨，以及針對(duì)目標(biāo)零件制造的機(jī)床集成制造技術(shù)等內(nèi)容。

“在機(jī)床的精度從微米級(jí)到納米級(jí)的發(fā)展歷程中谅囚，有三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)無法回避，這三項(xiàng)技術(shù)也是納米精度機(jī)床的研究門檻淆捆⌒鄯溃”劉炳業(yè)分析稱，其中一項(xiàng)技術(shù)是無遲滯的軸承技術(shù)暑懊，遲滯現(xiàn)象在機(jī)械系統(tǒng)中大量存在康局，遲滯現(xiàn)象不僅嚴(yán)重影響機(jī)床溜板的運(yùn)動(dòng)定位精度和重復(fù)定位的精度，也影響運(yùn)動(dòng)的高分辨率實(shí)現(xiàn)蜒金，同時(shí)也影響精密零件的加工形狀精度以及表面粗糙度蟆盐。而靜壓軸承技術(shù)可以很好地解決機(jī)械遲滯的現(xiàn)象，并且可以均化幾何誤差遭殉，在超精密機(jī)床中得到大量應(yīng)用石挂。靜壓技術(shù)在過去的十年時(shí)間里取得了重大進(jìn)展博助，自補(bǔ)償?shù)姆答伡夹g(shù)更為成熟。以流量控制的節(jié)流技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提升痹愚，使超精密機(jī)床加工的材料硬度不斷提高富岳。

而另二項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)分別是高分辨率驅(qū)動(dòng)技術(shù)和機(jī)械系統(tǒng)中的微振動(dòng)處理技術(shù)。納米級(jí)分辨率是近十幾年來超精密機(jī)床性能的特征體現(xiàn)拯腮，運(yùn)動(dòng)的影響因素很多窖式。同時(shí)，大量的實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)动壤，10納米量級(jí)的振動(dòng)信號(hào)存在于許多機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)中萝喘，對(duì)于機(jī)械靈敏度的執(zhí)行與測定造成干擾，這種振動(dòng)被稱為微振動(dòng)琼懊「篝ぃ“對(duì)微振動(dòng)的機(jī)理深入研究，并尋求解決途徑是超精密機(jī)床通往納米精度的必經(jīng)之路哥钉∥显”劉炳業(yè)說道。

滿足超精密技術(shù)的應(yīng)用需求“我國航天航空遙感峦铲、激光核聚變嗤锯、國防武器系統(tǒng)、天文探測等先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域筑轻，對(duì)大口徑非球面光學(xué)元件的需求日益增加钉栈，但國外部分高尖端光學(xué)加工設(shè)備和技術(shù)對(duì)我國實(shí)行禁運(yùn)。目前具雹，我國大口徑非球面零件加工工藝流程的相關(guān)科研工作已經(jīng)開展滥庭，但成熟度還較低。同時(shí)衔系，自行研制的設(shè)備加工精度與國外水平相比較低胞讯，優(yōu)勢單位的有效聯(lián)合不足，還存在大口徑光學(xué)零件加工和超精密加工技術(shù)的結(jié)合程度較低等問題砾褂≌ɡ裕”中國工程院院士蔣莊德在該論壇上亦提出對(duì)我國超精密加工與測量技術(shù)與裝備的迫切需求。

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