作為L(zhǎng)ED芯片生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備-MOCVD，其核心技術(shù)長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷，中晟光電設(shè)備(上海)有限公司凝心聚力础估，攻堅(jiān)克難，順利實(shí)現(xiàn)了大型MOCVD外延設(shè)備研發(fā)索射，生產(chǎn)國(guó)產(chǎn)化牙德，并于2012年12月12日向客戶成功發(fā)運(yùn)國(guó)產(chǎn)首臺(tái)大型MOCVD-ProMaxy外延設(shè)備，充分體現(xiàn)了中國(guó)企業(yè)在高端裝備領(lǐng)域的生產(chǎn)能力和創(chuàng)新水平虎铅，為實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化庭钢，邁出了具有里程碑的關(guān)鍵一步恋鞋。

中晟光電設(shè)備(上海)有限公司坐落于上海浦東張江高科技園區(qū)，是由一批國(guó)內(nèi)外業(yè)界精英讽钻，技術(shù)專家和管理團(tuán)隊(duì)組成的高端研發(fā)赵须，生產(chǎn)，銷售及服務(wù)的高科技綠色新能源企業(yè)扎矾。公司旨在建立以中國(guó)為基地业嗅，實(shí)現(xiàn)LED關(guān)鍵設(shè)備生產(chǎn)及技術(shù)和工藝國(guó)產(chǎn)化，傾力打造具有世界領(lǐng)先地位的新型裝備制造企業(yè)唉侄。中晟公司僅用了10個(gè)月的時(shí)間咒吐，就完成了大型MOCVD高端裝備技術(shù)工藝的開(kāi)發(fā)和整套設(shè)備的優(yōu)化生產(chǎn)，并于2012年12月12向客戶發(fā)運(yùn)首臺(tái)中國(guó)具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD-ProMaxy外延設(shè)備美旧，受到業(yè)界高度贊揚(yáng)渤滞。

四項(xiàng)核心競(jìng)爭(zhēng)力

中晟公司MOCVD-ProMaxy外延設(shè)備各項(xiàng)性能均達(dá)到或超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)贬墩，其中藍(lán)光片波長(zhǎng)均勻性<1.5nm榴嗅，爐內(nèi)片間均勻性<2.5nm，爐間波長(zhǎng)重復(fù)均勻性<2nm;非摻氮化鎵的遷移率607cm2/Vs陶舞，均達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平嗽测。該設(shè)備的高產(chǎn)能(單腔產(chǎn)能2英寸66片，系統(tǒng)產(chǎn)能可達(dá)264片)肿孵，高良品率(至少可提高10%)唠粥，完整可靠的外延生產(chǎn)性能及較低的外延成產(chǎn)成本，使其具有較強(qiáng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力停做，尤其重要的是該大型高端裝備的核心技術(shù)和自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)均為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)晤愧。

與BECKHOFF協(xié)同合作追求更高目標(biāo)

中晟公司孫總提到項(xiàng)目初期選擇與BECKHOFF合作的原因時(shí)說(shuō)到:”BECKHOFF全線控制產(chǎn)品從控制器IPC到驅(qū)動(dòng)器電機(jī)，到EtherCAT總線端子模塊和安全模塊蛉腌，不僅技術(shù)指標(biāo)能保證系統(tǒng)在邏輯控制篇瀑，過(guò)程控制，安全控制及運(yùn)動(dòng)控制中穩(wěn)定的功能瑟顶，它的兼容性及安全性和價(jià)格看剃，及BECKHOFF上海技術(shù)工程師技術(shù)能力的優(yōu)勢(shì)，都讓他們更傾向于使用BECKHOFF的控制系統(tǒng)”鹿腕。

于MOCVD的工藝對(duì)流量和溫度控制精準(zhǔn)秋豌，組分變換迅速及系統(tǒng)緊湊都有很高的要求，ProMaxy系統(tǒng)選用BECKHOFF C5102系列抽屜式工控機(jī)悼锻，通過(guò)EtherCAT總線通訊方式實(shí)現(xiàn)每個(gè)腔300多個(gè)分布式數(shù)字量和模擬量信號(hào)的高速采集和實(shí)時(shí)控制劲旗。以溫度控制為例：應(yīng)用中的EL3164和EL4104-EtherACT模擬量端子模塊 – 其16位控制精度和測(cè)量區(qū)域內(nèi)誤差小于0.3%的特點(diǎn)，在生產(chǎn)中ProMaxy主加熱區(qū)的溫度誤差保證在0.5攝氏度左右透辜，實(shí)現(xiàn)加熱區(qū)區(qū)間均勻性在1攝氏度范圍潭三。系統(tǒng)中集成的BECKHOFF的SafetyOverEtherCAT安全邏輯單元EL6900和安全輸入/出模塊EL1904和EL2904(均為SIL3標(biāo)準(zhǔn))最阿，更實(shí)現(xiàn)了近120個(gè)分布式安全信號(hào)點(diǎn)，200多個(gè)安全邏輯的控制玖项，保證系統(tǒng)高速運(yùn)行的同時(shí)貌砖，各個(gè)復(fù)雜加工環(huán)節(jié)的安全性。在運(yùn)動(dòng)控制方面惜颇，選用BECKHOFF的EtherCAT伺服驅(qū)動(dòng)器AX5203皆刺，實(shí)現(xiàn)雙軸同步精度0.01。

最后彭總補(bǔ)充道：“BECKHOFF的產(chǎn)品在比較其他控制系統(tǒng)設(shè)備提供商凌摄，除了功能和精度上滿足要求外羡蛾，更讓他們滿意的還是BECKHOFF有更好的全方位的客戶支持和完整的解決方案，給我們留下了很好的印象锨亏〕赵梗”現(xiàn)在BECKHOFF中國(guó)擁有銷售和技術(shù)支持/售后/應(yīng)用工程師超過(guò)100名，立志盡可能滿足各地區(qū)客戶產(chǎn)品咨詢器予，技術(shù)支持和售后及產(chǎn)品應(yīng)用要求浪藻，追求能更高效并及時(shí)的對(duì)客戶問(wèn)題進(jìn)行反映和處理。

聲明：本網(wǎng)站所收集的部分公開(kāi)資料來(lái)源于互聯(lián)網(wǎng)乾翔，轉(zhuǎn)載的目的在于傳遞更多信息及用于網(wǎng)絡(luò)分享爱葵，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，也不構(gòu)成任何其他建議反浓。本站部分作品是由網(wǎng)友自主投稿和發(fā)布萌丈、編輯整理上傳，對(duì)此類作品本站僅提供交流平臺(tái)峡哥，不為其版權(quán)負(fù)責(zé)庭走。如果您發(fā)現(xiàn)網(wǎng)站上所用視頻、圖片烙昼、文字如涉及作品版權(quán)問(wèn)題荸凸，請(qǐng)第一時(shí)間告知，我們將根據(jù)您提供的證明材料確認(rèn)版權(quán)并按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)支付稿酬或立即刪除內(nèi)容骤顿，以保證您的權(quán)益及奋！聯(lián)系電話：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn。