由于硬質(zhì)合金的硬度高、脆性大、韌性差财调，加工性能差，采用傳統(tǒng)方法難以滿足精密及超精密加工的技術要求煮沸，而且工序多兔触、效率低、成本高腾枣。運用ELID精密鏡面磨削技術加工各種硬質(zhì)合金审炬，一次磨削成形，效果良好跨跨，表面粗糙度普遍達Ra10～20μm潮峦，且效率高、成本低歹叮，對機床精度要求不高跑杭，具有極大的推廣價值和應用前景。 

一、硬質(zhì)合金超精密鏡面磨削實驗 

1. 實驗材料  

實驗材料見表1德谅。

表1 幾種典型硬質(zhì)合金的物理機械性能 

2. 實驗條件及參數(shù) 

在MM7120型臥軸矩臺平面磨床上爹橱，加裝自行設計的ELID平面磨削裝置，對上述牌號硬質(zhì)合金進行ELID超精密鏡面磨削實驗窄做。實驗條件及參數(shù)見下列： 

1) 實驗設備 

a. 改裝的MM7120型平面磨床 
　　b. 自制CIFB砂輪W10愧驱，W5，W1.5 
　　c. 自制HDMD-II型ELID磨削專用 
　　d. 高頻直流脈沖電源 
　　e. 自制HDMY-201型磨削液 

2) 磨削參數(shù) 

a. 主軸轉(zhuǎn)速1440r/min
　　b. 橫向進給速度0.1～3mm/行程 
　　c. 工作臺速度0.05～0.08m/s 
　　d. 磨削深度0.001～0.005mm 

3) 電解參數(shù) 

a. 電壓45～125V 
　　b. 電流0.5～6.5A 
　　c. 電極間隙0.1～0.75A 

3. 實驗結(jié)果 

應用上述設備條件椭盏，通過調(diào)節(jié)電解參數(shù)和磨削參數(shù)组砚，進行ELID超精密鏡面磨削。采用日本KosakaLaboratory Ltd.公司制造的SE-3H型輪廓儀進行表面粗糙度的檢測掏颊，微觀尺寸放大倍數(shù)V=20000～50000糟红，走紙方向放大倍數(shù)H=10，采樣長度Ro0.25～0.3mm锌褒，測量長度L=2.5mm匣夭。磨后工件達到Ra6～17nm的鏡面。檢測結(jié)果見表2勇湃。 

表2 硬質(zhì)合金超精密鏡面磨削測量數(shù)據(jù)  #

二坝总、硬質(zhì)合金超精密鏡面加工機理分析 

ELID精密鏡面磨削中，一方面由于磨粒固著在結(jié)合劑中迅忙，對于單顆粒的固著磨粒而言兆距，在磨削中其有效磨削尺寸只有磨粒尺寸的1/3，磨粒主要以微切削的方式去除材料姆巨，所以這種磨削方式下磨粒造成的破碎區(qū)要小得多乏尿；另一方面，砂輪表面電解生成的氧化膜具有一定的彈性嫩碘，始終保持一定的厚度诺教，而且其中容納和承托著一定數(shù)量的因電解而脫落的磨料，使氧化膜成為一種含有微細磨料具有良好柔性的研磨膜饼瓮。精磨時碗帅，由于進給量很小，氧化膜的厚度遠大于磨料的出刃高度豹爹，使砂輪基體表層磨料在磨削中不與工件直接接觸裆悄。砂輪上覆蓋的這層絕緣氧化膜將代替金屬基砂輪參與真正的磨削過程。當電解作用完全抑制時臂聋，氧化膜對工件進行光磨光稼。所以，ELID磨削實際上是一種磨孩等、研艾君、拋合為一體的復合式精密鏡面加工技術采够，其中磨粒主要是以滑動方式去除工件材料的。 

三冰垄、結(jié)論 

采用ELID磨削技術加工硬質(zhì)合金蹬癌，可得到納米級的高質(zhì)量加工表面，通過控制磨削參數(shù)和電解參數(shù)等條件虹茶，實現(xiàn)高精度逝薪、低成本的精密超精密加工。該方法避免了傳統(tǒng)磨削工藝中砂輪鈍化蝴罪、堵塞引起的加工表面脆性破壞刷航，能取代傳統(tǒng)的研磨拋光工藝，在硬脆材料的精密超精密加工領域中具有重大實用價值驱糜。

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