螺紋綜合測量機(jī) 采用接觸式掃描原理，螺紋中徑的測量不確定度要達(dá)到（2.5+L/200）um，一臺結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的精密測量儀器，是如何達(dá)到這一測量精度的呢壁顶？其重要技術(shù)之一，就是通過T型高精密氣浮軸承系統(tǒng)驅(qū)動測針與被測螺紋進(jìn)行接觸掃描（T型氣浮導(dǎo)軌運(yùn)動平臺包含垂直軸Z和水平軸X氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)）溜歪，這是實(shí)現(xiàn)螺紋軸向輪廓精準(zhǔn)掃描的基礎(chǔ)若专。

氣浮導(dǎo)軌實(shí)物

螺紋綜合測量機(jī)采用無磨損、超低摩擦力的高精度T型氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)痹愚，保證系統(tǒng)穩(wěn)定富岳、可靠地工作蛔糯。創(chuàng)新設(shè)計的氣浮軸承正負(fù)壓控制系統(tǒng)拯腮，自主研發(fā)的超精密花崗巖導(dǎo)軌加工、氣浮軸承加工工藝蚁飒，為氣浮軸承系統(tǒng)提供非常高的氣膜剛性动壤，導(dǎo)軌無磨損、超低摩擦力淮逻，實(shí)現(xiàn)了測量系統(tǒng)的重復(fù)定位精度高琼懊、使用壽命長、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)爬早。

正交的（X軸和Z軸）氣浮系統(tǒng)示意圖

高精度氣浮系統(tǒng)可達(dá)到如下測量精度：

- 行走線性精度1um掩纺；

- 重復(fù)定位精度0.3um；

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