說(shuō)了那么久激光干涉儀偿股，不知道讀者們有沒(méi)有注意到一個(gè)小東西矢匾，激光干涉儀的配套設(shè)備里面始終有一個(gè)身影經(jīng)常出現(xiàn)懂崭，那就是“環(huán)境補(bǔ)償單元”，在以往演示激光干涉儀時(shí)区戚，大部分都是圍繞激光頭和鏡組的架設(shè)進(jìn)行介紹处淘，而“環(huán)境補(bǔ)償單元”這個(gè)小物件就被一帶而過(guò)。所以有些讀者心里會(huì)有疑問(wèn)：激光干涉儀不是直接測(cè)量被檢機(jī)床等設(shè)備的相關(guān)精度參數(shù)的嗎挣堪？還要這個(gè)環(huán)境補(bǔ)償器干嘛呢栈眉？

小編告訴您：激光干涉儀發(fā)射出的激光波長(zhǎng)是系統(tǒng)測(cè)量精度的依據(jù)，但激光波長(zhǎng)會(huì)受到其所通過(guò)的空氣介質(zhì)的折射率影響刑映，影響空氣折射率的因素又包括空氣壓力直呈、溫度及濕度兜诞，盡管這種影響比較小翰鬓，但如果在進(jìn)行高精度測(cè)量時(shí)，是有需要對(duì)空氣折射等環(huán)境影響因素進(jìn)行補(bǔ)償?shù)耐镉俊ｋm然環(huán)境補(bǔ)償單元只有一個(gè)數(shù)據(jù)生成器坟翠，外加一個(gè)空氣溫度探頭和三個(gè)材料溫度探頭，如此小巧的東西卻能為測(cè)量線性的精度更上一層樓腰素，是不是覺(jué)得很奇妙呢聘裁？

以下是環(huán)境補(bǔ)償器對(duì)空氣溫度雪营、材料溫度、空氣濕度以及大氣壓力的補(bǔ)償參數(shù)：

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)

空氣濕度傳感器：±6% RH (0-95)%RH

大氣壓力傳感器：±100Pa

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