激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一，它以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量型雳。激光干涉儀除了可以用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度以外，如果配合各種折射鏡山害、反射鏡等來(lái)作線性位置纠俭、速度、角度浪慌、真平度冤荆、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作权纤，可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作钓简。

1960年，Maiman研制成功第一臺(tái)紅寶石激光器眉挥，從此朋蚜，激光干涉測(cè)量被廣泛地用于長(zhǎng)度、角度深七、微觀形貌茧滞、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域驾腕，并和微電子技術(shù)毙纫、計(jì)算機(jī)技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀陷今。

1982年港排，G·Binning和Rohere研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡吻毅，1986年獲得諾貝爾獎(jiǎng)筑背，從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進(jìn)的新時(shí)代妆墩。

由于激光具有極好的時(shí)間相干性寸靶，因此，據(jù)此研發(fā)了多種激光干涉儀践付，包括單頻激光干涉儀秦士、雙頻干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀永高、法布里-珀羅干涉儀隧土、X射線干涉儀等。

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中最成功的應(yīng)用之一命爬，利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量曹傀，具有非接觸辐脖、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn)，在不同領(lǐng)域都有極為廣泛的應(yīng)用皆愉，如利用F-P干涉儀和半導(dǎo)體激光二極管測(cè)量大型精密離心靜態(tài)臂長(zhǎng)嗜价；利用電子散斑干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)物體表面微小形變的非接觸式測(cè)量、李永干涉合成孔徑雷達(dá)實(shí)現(xiàn)對(duì)地表變形進(jìn)行測(cè)量幕庐；利用相干梯度敏感干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)靜態(tài)斷裂現(xiàn)象的測(cè)量久锥；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強(qiáng)度分布，從而被用來(lái)制作二維或三維光子晶體翔脱；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測(cè)量奴拦、應(yīng)變與應(yīng)力分析、缺陷或損傷探測(cè)匀铸、振動(dòng)模式可視化及測(cè)量、晶體和蛋白質(zhì)生長(zhǎng)過(guò)程監(jiān)測(cè)才褂、流體中密度場(chǎng)和熱對(duì)流場(chǎng)的觀察與測(cè)量讥认、以及光學(xué)材料與器件的參數(shù)測(cè)量等。

本文簡(jiǎn)要介紹一下激光干涉儀在如下幾個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用情況详贿。

1. 位移傳感器

激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)活益，其特點(diǎn)是測(cè)量精度快、反應(yīng)速度快权惊、易于數(shù)字化測(cè)量漫窑。在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè)抹播，從而形成對(duì)比榴栏，位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對(duì)定位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比，得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果痒拧。

2. 數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用

隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及泌绩，采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測(cè)方法宵蕉。激光干涉儀可用于精密機(jī)床酝静、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測(cè)量、誤差修正和控制羡玛，其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用最多别智。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率稼稿，并能及時(shí)處理數(shù)據(jù)薄榛，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo)渺杉，目前各國(guó)機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀蛇数。雙頻激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)和替代的挪钓。

未來(lái)，激光干涉儀可從光源耳舅、探測(cè)器碌上、信號(hào)處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展浦徊，從測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性条嚼、精確性，以及測(cè)量?jī)x器的便攜性等获隆，不斷改善激光干涉儀的各項(xiàng)性能齿贡。

美國(guó)自動(dòng)精密工程公司API XD激光干涉儀為機(jī)床校準(zhǔn)帶來(lái)前所未有的高效率，全新系統(tǒng)設(shè)計(jì)能滿足顧客更高的要求涌遏，這款產(chǎn)品饮乃，可以測(cè)量線性、直線度基差、俯仰角刀饥、偏擺角、滾動(dòng)角宅蜒，可在兩小時(shí)內(nèi)就能檢測(cè)出一臺(tái)三軸機(jī)床的所有幾何誤差蒙拜，具有同類產(chǎn)品無(wú)法比擬的高效性、高便攜性及多功能的特點(diǎn)捍农。

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