2017年4月25日赠叼，中國蘇州——作為市場領(lǐng)先的濕制程領(lǐng)導(dǎo)設(shè)備商擦囊，Manz亞智科技憑借30多年的豐富經(jīng)驗(yàn)及超過3,000臺的設(shè)備銷售實(shí)績，為顯示器及觸控面板產(chǎn)業(yè)提供生產(chǎn)制程全方位解決方案嘴办。為突破目前國內(nèi)顯示器生產(chǎn)制程中的曝光機(jī)及Track Line等關(guān)鍵設(shè)備幾乎被國外廠商所壟斷的局面瞬场，Manz亞智科技宣布與上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司（以下簡稱上海微電子）簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。根據(jù)合作協(xié)議涧郊，未來上海微電子在國內(nèi)提供黃光微影制程解決方案贯被，將結(jié)合其曝光機(jī)與Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備市場底燎。

近年來刃榨，國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)在國家政策的持續(xù)支持下弹砚，已實(shí)現(xiàn)了技術(shù)和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的多種突破双仍，快速掘起成為世界平板顯示產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)。在TFT設(shè)備生產(chǎn)和研發(fā)方面虫棚，雖然國內(nèi)投入巨資開工建設(shè)了多條高世代面板線辽画，然而固定投資資金約60％左右都花在了設(shè)備購買上，而主要制程設(shè)備則從日韓等國家進(jìn)口黔琢，國產(chǎn)設(shè)備研發(fā)之路依舊任重道遠(yuǎn)阀恳。

Manz亞智科技與國內(nèi)著名的半導(dǎo)體設(shè)備制造公司-上海微電子簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，正是共同創(chuàng)新寻癌、實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破并積極響應(yīng)國家號召“以創(chuàng)新引領(lǐng)實(shí)體經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型升級”的具體體現(xiàn)薇榨。雙方將就顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備結(jié)成長期戰(zhàn)略合作關(guān)系，旨在打破國內(nèi)市場上關(guān)鍵設(shè)備需依靠進(jìn)口的局面绪封。未來魏颠，上海微電子的曝光機(jī)將結(jié)合Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備市場份額历扭。目前软苗，Manz G4.5 Track Line 相關(guān)設(shè)備已裝機(jī)于上海微電子研發(fā)廠內(nèi)，包括清洗設(shè)備棺氢、涂布設(shè)備心爷、顯影設(shè)備及自動化軟硬件設(shè)備，將提供客戶做樣品測試及驗(yàn)證肃续。

上海微電子作為國內(nèi)著名的半導(dǎo)體設(shè)備制造商黍檩，主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備始锚、高端智能裝備的開發(fā)刽酱、設(shè)計(jì)畦韭、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)肛跌，其設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道艺配、先進(jìn)封裝、FPD面板衍慎、MEMS转唉、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域稳捆。其研發(fā)生產(chǎn)之曝光機(jī)為ARRAY段黃光微影制程的關(guān)鍵設(shè)備, 分辨率高達(dá)2um以下赠法，并已通過客戶的生產(chǎn)驗(yàn)證。 該曝光機(jī)仍不斷進(jìn)行技術(shù)精進(jìn)與研發(fā)乔夯，目前已達(dá)成1.5um分辨率技術(shù)研發(fā)猴宾。

Manz Track Line 解決方案之關(guān)鍵設(shè)備精密涂布設(shè)備，擁有出色的膜厚均一性≤3%醇疮。
光阻涂布在黃光微影制程中亦是影響 Array 段制程的關(guān)鍵之一漆埋，光阻涂布的均勻性及用量，都關(guān)系著面板良率及生產(chǎn)成本巴移。Manz亞智科技自主研發(fā)的精密涂布設(shè)備采取了狹縫式涂布您窒，能針對不同的流體進(jìn)行涂刀內(nèi)部流道分析及設(shè)計(jì)，并采用直接驅(qū)動的自有注射泵及供液系統(tǒng)瞭驴，有效控制光阻的膜厚均勻度≤3%翻萨。

圖一：Manz Track Line解決方案之關(guān)鍵設(shè)備，精密涂佈機(jī)退钱，擁有出色的膜厚均一性≤3%

上海微電子將曝光機(jī)臺俄蔗、Track Line、長短寸及膜厚量測機(jī)臺整合在一起欠诊，并進(jìn)一步連接各設(shè)備之間的軟硬件蛀漆，優(yōu)化各機(jī)臺的運(yùn)行參數(shù)，結(jié)合定制化光阻切省，為客戶提供完整的最岗、高分辨率、高效率黃光微影制程解決方案朝捆。

通過此次Manz亞智科技與上海微電子的戰(zhàn)略合作般渡，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)的國產(chǎn)化，從研發(fā)芙盘、材料驯用、生產(chǎn)到服務(wù)全部本地化，更將打破目前國內(nèi)關(guān)鍵設(shè)備生產(chǎn)被外商所壟斷的局面儒老。此舉將能快速響應(yīng)面板制造商日新月異的需求蝴乔，提供定制化的服務(wù)记餐，還可以有效地降低設(shè)備購置成本及運(yùn)送成本，未來更好的進(jìn)一步服務(wù)本地客戶薇正。此次合作片酝，也意味著Manz亞智科技未來將把技術(shù)研發(fā)的觸角伸進(jìn)半導(dǎo)體領(lǐng)域。

Manz亞智科技暨顯示器事業(yè)部總經(jīng)理林峻生表示：“身為濕制程領(lǐng)導(dǎo)設(shè)備商挖腰，Manz 亞智科技30多年來不斷致力于技術(shù)突破和創(chuàng)新雕沿。由濕制程技術(shù)跨足到以精密涂布為關(guān)鍵的Track Line解決方案，核心技術(shù)的整合與擴(kuò)充應(yīng)用是我們主要的發(fā)展方向场时。通過與上海微電子的戰(zhàn)略合作對我們而言無疑是一大助力荡西，將結(jié)合雙方資源，掌握顯示器面板黃光微影生產(chǎn)制程的關(guān)鍵技術(shù)與設(shè)備强进，共同打破關(guān)鍵制程設(shè)備需仰賴進(jìn)口的瓶頸舵翘，使設(shè)備國產(chǎn)化、更貼近市場袱族，從而以本地化的服務(wù)及生產(chǎn)成本服驼，更好地服務(wù)本地客戶。這項(xiàng)戰(zhàn)略合作是一個良好的開端玩困，未來在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也將會有更進(jìn)一步的合作附扭∧亮”

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