成功研制14納米刻蝕機等高端設(shè)備——

 如今，濃縮在小小芯片上的集成電路成為社會發(fā)展的重要支撐舒憾。電腦镀钓、手機、家電镀迂、汽車丁溅、機器人等各種產(chǎn)品都離不開集成電路。沒有集成電路產(chǎn)業(yè)的支撐探遵，信息社會就失去了根基窟赏，集成電路因此被喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。

我國作為全球最大的半導(dǎo)體市場箱季，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長棕健。長期以來，發(fā)達(dá)國家對出口到中國的制造裝備雳雄、材料以及工藝技術(shù)進(jìn)行嚴(yán)格審查和限制秕肚。想要擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高技術(shù)芯片，就必須發(fā)展我國自己的集成電路產(chǎn)業(yè)體系匙久。

2008年袭吗，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項開始啟動實施，其總體目標(biāo)是開展集成電路制造裝備趾马、成套工藝和材料技術(shù)攻關(guān)苏昨，掌握核心技術(shù)，開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品艘尊，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展坪秒。

“專項實施前，我國集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)罚考，完全依賴進(jìn)口煞嫩，產(chǎn)業(yè)鏈嚴(yán)重缺失组弥。”集成電路專項技術(shù)總師葉甜春說逗爹，通過2萬科技工作者9年的艱苦攻關(guān)亡嫌，我國已研制成功14納米刻蝕機、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材掘而、拋光液等上百種材料產(chǎn)品挟冠，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平，通過了大生產(chǎn)線的嚴(yán)格考核袍睡，開始批量應(yīng)用并出口到海外知染，從而實現(xiàn)了從無到有的突破，填補了產(chǎn)業(yè)鏈空白斑胜，使我國集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善控淡。

在這些成果的基礎(chǔ)上，國內(nèi)企業(yè)還應(yīng)用這些高端成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備止潘，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升掺炭，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

該重大專項的實施還使得我國制造工藝與封裝集成由弱漸強凭戴，技術(shù)水平飛速跨越涧狮，國際競爭力大幅提升∧婧ǎ“2008年前刹越，國內(nèi)集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝為130納米，研發(fā)工藝為90納米鹉鉴。專項實施至今妨菩，主流工藝水平提升了5代，55彪选、40厚饱、28納米三代成套工藝研發(fā)成功并實現(xiàn)量產(chǎn)，22剂现、14納米先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)取得突破捕如，形成了自主知識產(chǎn)權(quán)；封裝企業(yè)從低端進(jìn)入高端茁臀，三維高密度集成技術(shù)達(dá)到了國際先進(jìn)水平揩池。”葉甜春說堆因，借助這些工藝制造的智能手機泪桥、智能卡等芯片產(chǎn)品大批量進(jìn)入市場，提高了我國信息產(chǎn)業(yè)的競爭力久窟。

缺乏自主知識產(chǎn)權(quán)一直是制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展的瓶頸問題秩冈，因此培育自主知識產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項組織實施的重中之重本缠。葉甜春說，集成電路專項已申請了2.3萬余項國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利入问，所形成的知識產(chǎn)權(quán)體系使國內(nèi)企業(yè)在國際競爭中的實力和地位發(fā)生了巨大變化丹锹，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

“盡管技術(shù)和材料領(lǐng)域取得了重大突破芬失，但我認(rèn)為該專項最大的進(jìn)展是形成了我國自己的集成電路制造技術(shù)體系楣黍，產(chǎn)業(yè)體系建立起來了，就好比搭建了一個‘金字塔’棱烂，各個層級的技術(shù)和產(chǎn)品都有租漂。以前我們集成電路只有幾塊底座，最多在底座上樹幾個旗桿垢啼，現(xiàn)在裝備材料加上工藝我們都有了窜锯，搭建起自己的‘金字塔’，我們有自信加入國際競爭芭析，這種競爭是體系與體系的競爭∥蛩簦”葉甜春說傀掘。

產(chǎn)業(yè)體系的構(gòu)建過程離不開體制機制的創(chuàng)新。北京市經(jīng)信委主任張伯旭表示拗辜，“下游考核上游圃星，整機考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)烤眉，市場考核產(chǎn)品”的考核制丘苗，保證了科研成果的實用性，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗的高端產(chǎn)品烦盛。

此外梦迂，專項在實施過程中，采取產(chǎn)業(yè)鏈紧邑、創(chuàng)新鏈豫阻、金融鏈有效協(xié)同的新模式∩∪保“專項與重點區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局苍糠，主動引導(dǎo)地方和社會的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動了專項成果產(chǎn)業(yè)化啤誊，扶植企業(yè)做大做強岳瞭，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實力蚊锹⊥ぃ”張伯旭說稚瘾，在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列乏矾，一批骨干企業(yè)開始積極參與國際競爭孟抗，專項支持的企業(yè)在資本市場備受青睞。

葉甜春說钻心，專項已經(jīng)在14納米裝備凄硼、工藝、封裝捷沸、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署摊沉，預(yù)計到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化⊙鞲“十三五”還將重點支持7至5納米工藝和三維存儲器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)用六，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展红狗，形成特色優(yōu)勢

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