海德漢推出HSP1.0全新ASIC芯片
敞開式直線光柵尺廣泛應用于半導體設備敷主、自動貼片機和測量機企鄙，以及所有需要極高測量精度的應用。高質量掃描信號不容或缺薄塘。為此掠恢，海德漢推出HSP 1.0全新信號處理ASIC芯片，歡迎觀看演示悠垛。平行排列兩套測量基準线定。直線光柵尺讀數(shù)頭的滑座在測量基準上運動。LIP 6000只用作準確的參考基準确买。兩個LIDA 48讀數(shù)頭并排安裝在頂部的光柵尺帶上斤讥，檢查測量值。在比較測量中湾趾，滑座在整個測量基準上運動芭商。同時，兩個LIDA讀數(shù)頭都在頂部光柵尺上遇到典型的污染情況：
?一條短氣泡帶
?一段絲線
?指印
?一滴環(huán)氧樹脂膠
當LIDA讀數(shù)頭移過光柵尺時搀缠，信號幅值和位置值與LIP 6000參考基準的記錄值和顯示值不同铛楣。只需簡單比較，也能發(fā)現(xiàn)配HSP 1.0的LIDA讀數(shù)頭的信號明顯比較光滑艺普。線性誤差補償后簸州，可以直接比較測量結果，使用HSP 1.0后歧譬，波峰間的信號幅值幾乎穩(wěn)定在1伏岸浑，實際上減少位置誤差達一半。可以說慷郎，海德漢編碼器提供穩(wěn)定的掃描信號救咙，無需對其信號進行穩(wěn)定處理。盡管如此寨今，測量基準或掃描掩膜的污染影響這些掃描信號馅酪。HSP 1.0信號處理ASIC芯片特別有效地降低污染的影響。確保持續(xù)穩(wěn)定的測量信號幾乎不受噪音或細分誤差的因素叼榄∪槲辏可靠性、精度和功能性不受污染影響硼货，依然保持高水平诉德。
（海德漢）
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