關(guān)于環(huán)境因素

影響激光干涉儀測量精度的環(huán)境因素主要指：

1、 當(dāng)前測量環(huán)境下的空氣溫度、濕度荠医、大氣壓力褂乍，影響在空氣中傳播的激光波長持隧。

2即硼、 被測工件溫度，影響被測對象的熱膨脹量腕浴。本文不做分析圣谴，將在下篇細(xì)述。

關(guān)于激光干涉儀

激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀阅六，二者都是采用外差干涉原理母赶，而區(qū)別在于計算公式，如下所示：

單頻激光干涉儀芒单，線性測量的計算公式：L＝Nλ／2万杉，其中L為位移，N為干涉條紋數(shù)目抗躺，λ為激光波長奸冶。

雙頻激光干涉儀，線性測量的計算公式：
L=λ20t?fdt

其中L為位移曙辛，t為時間夏植，△f為由于運動而引起的頻移，λ為激光波長移鸣。

激光波長影響分析

結(jié)合激光干涉儀兩個線性測量的公式同時進(jìn)行分析：

1砸捏、 單頻激光干涉儀，若移動半個激光波長隙赁，光電探測器將采集到明暗變化1次垦藏，干涉條紋數(shù)目則N＋1，該項幾乎不會引入誤差伞访。而雙頻激光干涉儀掂骏，△f在時間上積分的結(jié)果相當(dāng)于N，同樣也幾乎不會引入誤差厚掷。

2弟灼、 兩個公式都含有激光波長λ，而λ的精度直接取決于波長的穩(wěn)定度冒黑，通常要高于線性測量精度指標(biāo)一個量級田绑，即≤0.05ppm。所以在標(biāo)準(zhǔn)空氣參數(shù)的環(huán)境條件下抡爹，理論上L的線性測量精度也應(yīng)該為0.05ppm掩驱，然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會受到環(huán)境因素的影響，參見表1冬竟，所以實際應(yīng)用中L的線性測量精度標(biāo)為0.5ppm不無道理欧穴。

表1 激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素對波長的影響

綜上，對環(huán)境因素進(jìn)行綜合考量悟津，※壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差山椎。

所以吸坐，暫且可以得出下面的結(jié)論：

1、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素文荚；

2鳍擎、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質(zhì)區(qū)別；

3衬械、 若不考慮被測對象因素的影響，激光干涉儀在線性測量過程中哺裳，誤差主要來源是由環(huán)境因素導(dǎo)致的辙霎。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元，由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）坛饥、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成淋憋，可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度吴澜、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測桃序。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元在出廠前，會依照相關(guān)計量標(biāo)準(zhǔn)對各環(huán)境參量進(jìn)行精準(zhǔn)校準(zhǔn)烂瘫，通常情況下建議24個月校準(zhǔn)一次媒熊。

在使用EC20環(huán)境補(bǔ)償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下坟比，建議將環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置芦鳍。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象葛账，小編將會作為激光干涉儀的測量關(guān)鍵點進(jìn)行細(xì)述柠衅，欲知詳情，關(guān)注“中圖儀器”微信公眾號籍琳，且聽下回分解 菲宴。

（張珂）

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