一、 產(chǎn)品簡介

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器拴清。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊会通、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像口予，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D涕侈、3D參數(shù)苹威，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測驾凶、3C電子玻璃屏及其精密配件阿魏、光學(xué)加工、微納材料及制造氛灸、汽車零部件耘泰、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天逐茄、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中嘀醋≌庞颍可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面讲侵，從納米到微米級別工件的粗糙度蚪录、平整度、微觀幾何輪廓耸壮、曲率等粤街，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準笑驶。

二职颜、 產(chǎn)品功能

1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面嫌变，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量吨艇，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能腾啥。

2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能东涡、批量測量、自動聚焦倘待、自動調(diào)亮度等自動化功能软啼。

3) 測量中提供拼接測量功能。

4) 分析中提供調(diào)整位置延柠、糾正、濾波锣披、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能贞间，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能雹仿；糾正包括空間濾波增热、修描、尖峰去噪等功能胧辽；濾波包括去除外形嗤矾、標準濾波、過濾頻譜等功能悄锈；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能拒牡。

5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析菌渐、結(jié)構(gòu)分析随去、頻率分析亮钩、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度扔泵、ISO25178面粗糙度巢驶、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高闭厕、距離个滓、角度、曲率等特征測量和直線度多吁、圓度形位公差評定等功能尼可；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能讼载；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能轿秧。

6) 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板咨堤，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能菇篡，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

三一喘、 應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品驱还、部件和材料表面的平面度、粗糙度凸克、波紋度议蟆、面形輪廓、表面缺陷萎战、磨損情況咐容、腐蝕情況、孔隙間隙蚂维、臺階高度戳粒、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析侦广。

應(yīng)用范例：

半導(dǎo)體.拋光硅片恼芙、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍寶石玻璃粗糙度成猴、手機金屬殼模具瑕疵龟冻、手機油墨屏高度差

超精密加工.光學(xué)透鏡

精密加工.發(fā)動機葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭

標準樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

四陶份、 性能特色

1陋抵、 高精度、高重復(fù)性

1） 采用光學(xué)干涉技術(shù)武敦、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)钱挺，保證測量精度高惕拍；

2） 獨特的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動辣沧，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲狼棠，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得極高的測量重復(fù)性哀铡；

2杯聚、 一體化操作的測量分析軟件

1） 測量與分析同界面操作，無須切換抒痒，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計幌绍，實現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2） 可視化窗口故响，便于用戶實時觀察掃描過程傀广；

3） 結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程彩届；

4） 幾何分析伪冰、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析樟蠕、頻率分析贮聂、功能分析五大功能模塊齊全；

5） 一鍵分析寨辩、多文件分析吓懈，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析靡狞，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能拷拥；

6） 可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)显瞒。

3祸遮、 精密操縱手柄

集成X、Y怔于、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移畅刑、Z向聚焦姚详、找條紋等測量前工作。

4喇躲、 雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)腮稚，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

六继棉、技術(shù)指標

1.技術(shù)規(guī)格表

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標準在實驗室環(huán)境下測量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得糟袁；

臺階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標準在實驗室環(huán)境下測量4.7μm臺階高標準塊獲得判族。

2．儀器尺寸（長×寬×高）： 主機：900×700×604㎜；

3．儀器主機重量：小于90Kg项戴；

4．使用環(huán)境：無強磁場形帮，無腐蝕氣體

工作溫度：15℃ ~30℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘

相對濕度：5%-95%RH周叮，無凝露

環(huán)境振動：VC-C或更優(yōu)

隔振氣源：0.6Mpa穩(wěn)壓清潔氣源辩撑，除油、除水仿耽，氣管直徑6㎜

七合冀、 產(chǎn)品配置清單

標準配置：

1) 白光干涉測量儀主機

2) 干涉物鏡：10X；

3) 影像系統(tǒng)：1024*1024氓仲；

4) 光學(xué)Zoom：1X水慨；

5) XY位移載物臺：自動位移臺；

6) 品牌計算機敬扛；

7) 系統(tǒng)校準模組现熔；

8) 操縱手柄；

9) 中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件滤躺；

10) 電氣控制柜展霸；

11) 儀器配件箱；

12) 便攜加壓充氣裝置一套屠途；

13) 產(chǎn)品使用說明書莺肌；

14) 產(chǎn)品合格證、保修卡带诊；

可選配置：

1） 干涉物鏡：2.5×辈喜、5×、20×于箩、50×砖伴、100×；

2） 影像系統(tǒng)：2048×2048判嘀；

3） 光學(xué)zoom：0.75X愧汽，0.5X；

4） 自動測量模塊（須硬件支持）；

5） 拼接模塊（須硬件支持）横朋；

6） 真空吸附臺一套(半導(dǎo)體晶圓片專用)仑乌；

八、交貨與驗收

1琴锭、 交貨

1）交貨期：合同生效后60個工作日內(nèi)晰甚。

2）交貨地點：免費快遞到需方指定的交貨地點。

2祠够、 安裝與培訓(xùn)

1）我公司負責(zé)在用戶現(xiàn)場對設(shè)備行進安裝和調(diào)試压汪；

2）在設(shè)備安裝調(diào)試時對買方技術(shù)人員進行理論、實際操作及維修等的培訓(xùn)古瓤，使用戶技術(shù)人員掌握設(shè)備操作止剖，能熟練使用設(shè)備進行檢定工作，保證設(shè)備正常運行并能排除設(shè)備的一般故障和特殊保養(yǎng)落君。

3穿香、 驗收

1) 驗收標準：以合同及技術(shù)協(xié)議為準。

2) 驗收項目：核對該設(shè)備的主機及附件绎速、工具的數(shù)量及規(guī)格應(yīng)符合合同技術(shù)協(xié)議及設(shè)備使用說明書的要求皮获；核對該設(shè)備的使用說明書等各類資料是否齊全，是否滿足技術(shù)協(xié)議要求抠衬。

3) 在合同驗收和合同執(zhí)行過程中裸岁，如有任何影響設(shè)備的性能的漏項和短缺，如設(shè)備附件锹肾、技術(shù)資料郊啄、使用手冊、專用工具奥泛，備品備件寄菲、服務(wù)及技術(shù)指導(dǎo)等，我公司負責(zé)免費將漏項和短缺補齊虫弓。

4) 驗收合格后起胡，雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》。

5) 產(chǎn)品外觀以實物為準抛伏。

九息沐、售后服務(wù)

1、 設(shè)備質(zhì)保期

1）驗收合格雙方簽定《產(chǎn)品驗收報告》后12個月內(nèi)鳍泥；

2）在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生的故障盛惩，其故障部分質(zhì)保期自修復(fù)之日起順延。

2强挫、 售后服務(wù)內(nèi)容

1）質(zhì)保期內(nèi)：實行“三包”岔霸，用戶所購設(shè)備各部件發(fā)生非人為故障，我司免費更換同種品牌不低于原價位俯渤、規(guī)格呆细、型號的部件。

2）質(zhì)保期后：我公司提供持續(xù)的優(yōu)惠服務(wù)和技術(shù)支持八匠，設(shè)備出現(xiàn)故障需要修理時絮爷，所換零件按成本價收取。軟件隨國家規(guī)程變更免費升級梨树，硬件優(yōu)惠升級坑夯。

3）排故響應(yīng)時間：我司在接到報障信息后，2小時內(nèi)回應(yīng)抡四，我司通過電話柜蜈、傳真及郵件的方式指導(dǎo)買方排除故障；若故障仍不能排除指巡，將在72小時內(nèi)上門調(diào)試維修排故或用戶將儀器發(fā)回本公司維修淑履。

附錄1.依據(jù) ISO/ASME/EUR/GBT等國內(nèi)外標準計算的2D，3D參數(shù)表：

聲明：本網(wǎng)站所收集的部分公開資料來源于互聯(lián)網(wǎng)扛门，轉(zhuǎn)載的目的在于傳遞更多信息及用于網(wǎng)絡(luò)分享，并不代表本站贊同其觀點和對其真實性負責(zé)纵寝，也不構(gòu)成任何其他建議论寨。本站部分作品是由網(wǎng)友自主投稿和發(fā)布、編輯整理上傳爽茴，對此類作品本站僅提供交流平臺葬凳，不為其版權(quán)負責(zé)。如果您發(fā)現(xiàn)網(wǎng)站上所用視頻室奏、圖片火焰、文字如涉及作品版權(quán)問題，請第一時間告知胧沫，我們將根據(jù)您提供的證明材料確認版權(quán)并按國家標準支付稿酬或立即刪除內(nèi)容塘憨，以保證您的權(quán)益！聯(lián)系電話：010-58612588 或 Email:editor@mmsonline.com.cn智础。