引言

光學(xué)，一門古老又現(xiàn)代的學(xué)科威彰，伽利略借助光學(xué)望遠(yuǎn)鏡粪薛，研究了天體運(yùn)動(dòng)；生物學(xué)家借助光學(xué)顯微鏡寇钉，觀察到了細(xì)胞結(jié)構(gòu)刀疙；人類借助相機(jī)鏡頭，留住了無數(shù)難忘的瞬間扫倡。光谦秧，無可觸摸，卻又無處不在撵溃，借助光學(xué)疚鲤，我們能直接感受和探索未知的世界，而作為光的載體掸柏，各種光學(xué)器件在其中承擔(dān)著重要的角色虹烈，借助中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，我們可以對(duì)光學(xué)器件進(jìn)行嚴(yán)格的表面質(zhì)量檢測(cè)椒玖。

光學(xué)器件裳岳，例如各種光學(xué)鏡片和玻璃，屬于超精密加工的產(chǎn)物胯夏，因此其表面質(zhì)量等級(jí)都非常高锡疗，會(huì)劃傷表面的接觸式輪廓儀出師未捷身先死，由于其高透明度豆出，一般的非接觸式光學(xué)影像方法也束手無策囊嘲，而中圖儀器利用光學(xué)干涉原理研制而成的SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，能很好解決這兩個(gè)難題吵淌，為光學(xué)鏡片和玻璃的表面質(zhì)量檢測(cè)提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案锯帚。

光學(xué)透鏡檢測(cè)

在可見光領(lǐng)域，球面透鏡是一種基礎(chǔ)的光學(xué)器件被处，其表面粗糙度和曲率半徑都關(guān)系著光的傳播效果楞播，光學(xué)3D表面輪廓儀可以一次完成這兩項(xiàng)參數(shù)的檢測(cè)用押。

上圖為某型號(hào)雙膠合透鏡，取透鏡上表面進(jìn)行檢測(cè)靶剑，得其粗糙度小于1nm蜻拨，曲率半徑為61.2mm左右，與理論值61.5mm僅差0.3mm左右桩引，考慮到光學(xué)透鏡的加工容許誤差為2%缎讼，因此所測(cè)值與理論相符。

藍(lán)寶石玻璃檢測(cè)

藍(lán)寶石俗稱剛玉坑匠，主要成分是氧化鋁（Al?O?）血崭，由于其優(yōu)良的物理和化學(xué)特性，常用于制成各種光學(xué)元件笛辟，如攝像頭保護(hù)玻璃功氨、表鏡、窗口片手幢、棱鏡等捷凄。一般加工出來的藍(lán)寶石玻璃分為單面拋光和雙面拋光兩種，拋光程度——也就是表面粗糙度直接決定了其表面質(zhì)量等級(jí)围来，下圖為一片單面拋光藍(lán)寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測(cè)圖像及數(shù)據(jù)借睬。

如上圖所示，光面的粗糙度曲線顯示乃衫，光面上分布的凸點(diǎn)只有1nm左右的高度起伏奏宽，其表面粗糙度為0.1nm左右，而糙面的高度起伏則達(dá)到了3.2um额神，表面粗糙度則為500nm左右卸窿。

玻璃屏檢測(cè)

玻璃屏常見于我們?nèi)粘Ｋ玫闹悄墚a(chǎn)品中，例如智能手機(jī)惑膀、智能手表唐肩，還有平板電腦等，為了獲得更好的觸屏體驗(yàn)贼么，需要對(duì)玻璃屏的表面粗糙度和微觀輪廓進(jìn)行檢測(cè)穗掘。以手機(jī)玻璃屏為例，說明光學(xué)3D表面輪廓儀在其中的應(yīng)用介她。

如上圖称啸，選取的測(cè)量區(qū)域發(fā)現(xiàn)了一條寬6um，深6nm的肉眼無法觀測(cè)到的劃痕疾就，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近澜术。

玻璃表面臺(tái)階檢測(cè)

下圖為透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，需要測(cè)膜層的厚度，由于其非透明的特性瘪板，薄膜測(cè)厚儀無法進(jìn)行測(cè)量吴趴，而由于其膜層厚度精度在納米級(jí)別，接觸式的臺(tái)階儀和其它的非接觸式光學(xué)儀器也存在測(cè)量誤差較大的風(fēng)險(xiǎn)侮攀，而以光學(xué)干涉原理為基礎(chǔ)研制成的光學(xué)3D表面輪廓儀，以其亞納米級(jí)別的測(cè)量精度厢拭，則可對(duì)該膜層厚度進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量兰英。

上圖是利用軟件的自動(dòng)面臺(tái)階高檢測(cè)功能對(duì)重建的3D圖像兩臺(tái)階高進(jìn)行檢測(cè)，從數(shù)值可知供鸠，兩臺(tái)階面平均高度差為82nm畦贸，而※大高度差90nm，※小高度差為78nm楞捂。

投之以桃薄坏，報(bào)之以李，中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀作為一款光學(xué)檢測(cè)儀器寨闹，受益于光學(xué)行業(yè)的進(jìn)步與發(fā)展燕瞭，也必將為光學(xué)行業(yè)的進(jìn)一步提升貢獻(xiàn)自己的力量。

3月14-16日欣骏，SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀將亮相2018慕尼黑上海光博會(huì)黎困，歡迎新老客戶蒞臨上海新國(guó)際博覽中心W4館4580，近距離感受其魅力耽晦。

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