傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定，評定的時候在一條線上進(jìn)行評定冀远，不能夠完整地反映整個表面的全部信息狞朦，越來越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息舌多，給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像交印，三維評定從整體上對零件表面特征進(jìn)行描述，具有全局性盘秕。

三維表面粗糙度參數(shù)有很多丘梭，今天介紹第一個參數(shù)Sa。

定義

Sa為表面算術(shù)平均高度抢熟，指輪廓表面內(nèi)的點與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值柄叹，在取樣區(qū)域D上，被測量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的z坐標(biāo)距離的算術(shù)平均匾蛆，即表面粗糙度曲面方程z坐標(biāo)絕※值的算術(shù)平均漓客。數(shù)學(xué)表達(dá)式為

應(yīng)用

Sa常用來描述精密加工表面粗糙度，可以有效地檢測整個區(qū)域的高度特征以便控制加工工藝的制定切油。對不同的加工工藝方法蝙斜，其值變化明顯名惩。

晶圓表面粗糙度評定，數(shù)據(jù)由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀測量得出

歷史

2005 年孕荠，在ISO/TC213的新標(biāo)準(zhǔn)草案ISO/TC213N756中對表面三維表征參數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)分類绢片，主要分為功能參數(shù)、幅度參數(shù)岛琼、空間參數(shù)底循、綜合參數(shù)、體積參數(shù)共5大類23個參數(shù)槐瑞，在幅度參數(shù)中就包括Sa熙涤。

2012年4月1日，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織正式頒布《ISO 25178-2-2012 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)--表面結(jié)構(gòu)：區(qū)域--第2部分：術(shù)語困檩、定義和表面結(jié)構(gòu)參數(shù)》祠挫，對Sa進(jìn)行了確認(rèn)。

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