禪宗有看山看水的參禪三重境巍碍，講的是人對(duì)客觀事物的認(rèn)識(shí)由淺及深乃至很大程度明悟的過(guò)程境愕。今天就由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀為大家?guī)?lái)關(guān)于超精密加工后的微結(jié)構(gòu)的探索與發(fā)現(xiàn)坏表，帶領(lǐng)大家踏上一場(chǎng)“參禪三重境”的視覺(jué)之旅舔远。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀

一重境：看山是山弓席，看水是水

我們選取了一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過(guò)的塑料薄片，初看下面的這張塑料片陌贾，想必讀者一看再看转是，也無(wú)法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“這只是一張普通的塑料片”是各位讀者所能得到的初步認(rèn)識(shí)现辑，此乃一重境母掀。

二重境：看山不是山，看水不是水

既然肉眼不可辨扳耘，那么將這張普通的塑料片放到顯微鏡下一探究竟焰哮。一面布滿了點(diǎn)狀顆粒贤泥，另一面則被條狀溝槽所填滿，構(gòu)成了塑料片表面的微觀世界仆加，但只知其平面外形卻不知其三維形態(tài)练缴，知其一不知其二，可謂二重境唁奢。

三重境：看山仍是山霎挟，看水仍是水

為一窺真容，使用中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)這張塑料片上下表面進(jìn)行掃描麻掸，點(diǎn)顆粒和溝槽輪廓一覽無(wú)余酥夭。

點(diǎn)顆粒是凸點(diǎn)，而溝槽則是弧形波脊奋，進(jìn)一步使用儀器的輪廓分析功能對(duì)凸點(diǎn)和弧形波進(jìn)行測(cè)量熬北，得到它們的尺寸數(shù)據(jù)。

單個(gè)凸點(diǎn)截面直徑約42μm诚隙、高3.8um讶隐、夾角160°，分布周期97μm久又；單個(gè)弧形波高約1.6μm巫延、寬約35μm，周期35μm地消。掌握了全部的輪廓數(shù)據(jù)炉峰，對(duì)這有著微結(jié)構(gòu)的塑料片，我們有了多方面而精準(zhǔn)的認(rèn)識(shí)犯建，稱(chēng)得上“看山還是山该捎，看水還是水”。

超精密加工张相，是在傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí)枝扭，代表著先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展方向，也代表著一個(gè)國(guó)家制造業(yè)的卓越水準(zhǔn)蝗腻，超精密的加工水準(zhǔn)必須匹配超高性能的檢測(cè)儀器孵钱，以白光干涉為原理研制而成的SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，就像一雙能夠明察秋毫的眼鏡拓币，幫助我們?cè)诔芗庸さ奈⒂^世界里昏滔，具備“看山還是山，看水還是水”的本領(lǐng)

（劉見(jiàn)橋 中圖儀器）

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