“見一葉而知深秋健民，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀喧撕，在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分蒜座。

大多數(shù)的場景中舟道，只需檢測一個數(shù)十莫金、數(shù)百微米的區(qū)域，即可取得“見微知著”的效果遍沟，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中洽咬，借助中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀的自動拼接功能，就能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域倚务、高精度的測量橙围。

場景一

超光滑的弧形表面

上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和角度檢測着逐，其表面具有超光滑崔赌、高反、凹面弧形特征耸别，針對其凹面弧形的檢測需求健芭，現(xiàn)有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡秀姐，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除慈迈，只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀，能同時滿足無損省有、超高分辨率吩翻、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度锥咸、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法细移，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小搏予、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下弧轧，只需要確定起點和終點隧渠，即可自動掃描，很好重建其超光滑的表面區(qū)域跃览，不見一絲重疊縫隙元八。

場景二

粗糙的特征表面

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖玻桶，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點聪萨，而圓環(huán)外呈高反射率特點假盼，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。

根據(jù)客戶精度要求盘另，可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法惋探，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)巩荧。

場景三

粗糙的有孔洞特征平面

上圖為手機插卡槽處的金屬薄片模塊抗海，需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度，因其表面較為粗糙且指定了測量區(qū)域福耐，可使用高速FVSI算法葫羡，并在拼接測量設定時，使用地圖導航功能昌罩，在掃描時即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量哭懈。

自動拼接功能的使用，并不局限在上述三種案例當中峡迷，光滑或是粗糙银伟、平面或是異形結(jié)構(gòu)，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時绘搞，都可以采用自動拼接彤避，而中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀，可根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換夯辖，無論何種形貌琉预，都可生成“天衣無縫”的3D全景

（劉見橋 中圖儀器）

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