中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例
中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測儀器矫付，其分辨率可達(dá)0.1nm揭斧。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為超精密加工領(lǐng)域一顆璀璨的明珠，在其硅晶圓的制備和晶圓IC的制造過程中崇棠，光學(xué)3D表面輪廓儀都以其強(qiáng)大的表面質(zhì)量檢測功能給這顆明珠增添一份靚麗的色彩求旷。
視頻講述SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體行業(yè)的典型應(yīng)用，測量樣品分別為減薄硅片和激光鐳射槽道燎匪。
▲減薄硅片測量
▲激光鐳射槽道測量
（chotest ）
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