OLS5000激光共焦顯微鏡可精確測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍传泊，從而大大提高了生產(chǎn)效率鼠渺。

1.精確成像

捕捉任意表面形貌。

2.快速檢測

獲得可靠數(shù)據(jù)的速度比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍眷细。

3.便捷操作

只需放好樣品按下按鈕即可系冗。

4.適用于大尺寸樣品測量的大行程

測量高達(dá)210毫米的樣品。

高分辨率薪鹦，精確成像

憑借對各種類型樣品進(jìn)行精確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)惯豆。

卓越的橫向分辨率

一致的測量值

LEXT專用物鏡可精確測量采用其他方式測量會發(fā)生畸變的周邊區(qū)域葬籽。

傳統(tǒng)物鏡

LEXT物鏡

新開發(fā)的MEMS掃描振鏡

新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差捻尉，可進(jìn)行精確的X-Y掃描饮茬。

4K掃描技術(shù)

4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號的四倍候钟。

OLS5000顯微鏡可在無需進(jìn)行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及極低的臺階拉狸。

捕獲真實形貌

（奧林巴斯）

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