電子顯微鏡的主要組成部分是：

電子源是一個釋放自由電子的陰極暴赡，一個環(huán)狀的陽極加速電子。陰極和陽極之間的電壓差必須非常高阀洛，一般在數(shù)千伏到3百萬伏之間蒂茶。

電子透鏡用來聚焦電子。一般使用的是磁透鏡调拳，有時也有使用靜電透鏡的小梢。電子透鏡的作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡的作用是一樣的。光學(xué)透鏡的焦點是固定的杀肩，而電子透鏡的焦點可以被調(diào)節(jié)挤奢，因此電子顯微鏡不象光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動的透鏡系統(tǒng)。

真空裝置洞难。真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)舆吮，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向。

樣品架队贱。樣品可以穩(wěn)定地放在樣本架上色冀。此外往往還有可以用來改變樣品（如移動、轉(zhuǎn)動柱嫌、加熱锋恬、降溫、拉長等）的裝置编丘。

探測器与学，用來收集電子的信號或次級信號。

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